关于半导体检测分析设备ICP-MS的日常维护 被引量：1

1

作者 徐继平 王学武 王喆 《电子工业专用设备》 2004年第4期59-60,共2页

介绍了半导体检测设备ICP-MS在半导体工业中的发展及几个重要组成部件的功用,着重介绍了该设备各主要部件的维护。

关键词 半导体检测分析设备 ICP-MS 日常维护 电感耦合等离子体 质谱 蠕动泵 雾化器

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北京华大泰思特半导体检测技术有限公司成立

2

《电子设计应用》 2004年第8期59-59,共1页

关键词 北京华大泰国特半导体检测技术有限公司 集成电路 资本服务 技术服务

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用于人体的半导体检测仪

3

《吉林医学情报》 1989年第3期7-9,共3页

关键词 半导体检测仪 温度检测仪 压力检测仪 诊断仪器

全文增补中

用半导体激光检测胸部等形状

4

作者 唐明慧 《国外科技消息》 1992年第5期16-17,共2页

关键词 光切断当 胸部检测 半导体激光检测装置

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半导体激光综合检测装置

5

《国外传感技术》 2004年第6期240-240,共1页

光输出-电流，电压-电流，远场图(FFP)，振荡频谱等半导体激光要求检验的诸特性，只需用一台本装置就能满足要求。893型系列产品对应于2μm的半导体激光，由于能将检验数据和特性曲线予以输出，绘制在软磁盘或打印机、绘图器上，

关键词 半导体激光综合检测装置 特征 893型系列 驱动电流

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大视场白光干涉测量系统及性能研究

6

作者 刘涛 王智彬 +9 位作者 胡佳琪 何耀楠 景炜昌 陈恩静 周文龙 于国明 杨宁 赵迪 张国锋 杨树明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期129-141,共13页

基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组,优选配置0.5倍适配镜,对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较,构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试,通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。... 基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组,优选配置0.5倍适配镜,对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较,构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试,通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。实验结果表明:通过光谱滤波获得了较为理想的白光干涉轴向响应曲线;系统的水平最大视场达到了14 mm;高度为2.04μm和20.43μm的标准台阶样品的测量结果分别为2.05μm和20.47μm,10次测量重复精度(标准差)分别为12 nm和16 nm。对粗糙度样板、微机电系统传感结构和半导体晶圆膜层进行了实测,表明所研制的系统装置在三维光学无损精密检测领域的应用具有可行性。 展开更多

关键词 白光干涉 三维测量 大视场 滤波 半导体检测

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基于YOLOv8的晶圆背损伤缺陷自动识别方法

7

作者 马世超 余丹 《人工智能与机器人研究》 2024年第1期72-80,共9页

在半导体制造过程中,针对晶圆背损伤缺陷目标较小且粘连程度过高导致识别困难的问题,本研究在提取粘连目标轮廓包围盒的基础上,结合深度学习方法,提出了一种基于YOLOv8的晶圆背损伤缺陷自动识别方法。首先对采集图片进行图像预处理提取... 在半导体制造过程中,针对晶圆背损伤缺陷目标较小且粘连程度过高导致识别困难的问题,本研究在提取粘连目标轮廓包围盒的基础上,结合深度学习方法,提出了一种基于YOLOv8的晶圆背损伤缺陷自动识别方法。首先对采集图片进行图像预处理提取出所有感兴趣目标的连通域,结合连通域轮廓的包围盒信息将原始图片切片为局部图片,为缺陷目标准确计数奠定基础;其次采用迁移学习的策略,将局部图片数据集输入带有预训练权重的YOLOv8目标检测网络,采用输出的模型文件对局部图片中的目标识别;最终结合包围盒的信息对局部图片中的识别点位补偿,从而实现对于原始图片中的晶圆背损伤缺陷识别定位。实验结果表明,该方法识别准确率能够达到96.81%,与传统算法相比具有更好的识别精度。 展开更多

关键词 半导体检测 目标识别 包围盒 YOLOv8 迁移学习

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超声显微成像技术在工业产品及材料检测中的应用

8

作者 任俊波 王学权 +2 位作者 罗建东 李骥 童靖垒 《科技创新导报》 2021年第24期51-53,共3页

本文描述了超声显微成像技术的发展历史,检测系统的构成及检测原理,介绍了超声显微成像技术的特点和局限性,根据其特点分析了适用于超声显微成像技术的工业产品及材料。对超声显微成像技术在国内工业产品及材料的应用情况进行了简要介绍... 本文描述了超声显微成像技术的发展历史,检测系统的构成及检测原理,介绍了超声显微成像技术的特点和局限性,根据其特点分析了适用于超声显微成像技术的工业产品及材料。对超声显微成像技术在国内工业产品及材料的应用情况进行了简要介绍,包括半导体电子元件检测、薄型工件检测、多层复合材料检测、涂层检测等。超声显微成像技术适用于厚度较小,需要较高检测灵敏度的工业产品、薄型工件及复合材料检测。由于采用较高的检测频率,能够发现材料表面或内部存在的微小缺陷,检测灵敏度达到微米级,对于面积型缺陷如结合不良、微小裂纹等特别敏感。 展开更多

关键词 超声显微成像技术 半导体检测 薄型工件检测 多层复合材料检测

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半导体一维检测仪的应用

9

作者 邓满国 郑健 《中华放射肿瘤学杂志》 CSCD 北大核心 2001年第4期242-242,共1页

关键词 放射治疗 半导体一维检测仪 设备 质量保证

原文传递

快速晶圆检测系统AMI-3000

10

《电子元器件应用》 2003年第9期64-64,共1页

关键词 尼康公司 半导体检测技术 晶圆检测 AMI-3000

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维修检测设备与使用(4)

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《汽车与驾驶维修（汽车版）》 2003年第4期41-44,共4页

1.FVEA-324H汽车尾气分析仪 （1）原理 FVEA-324H（图23）汽车尾气分析仪是采用不分光红外法（即NDIR）的测量原理,利用先进的半导体检测器及大屏幕液晶数字显示技术,测量汽车尾气中的CO和HC的浓度值。所谓不分光红外法,即是利用某些待... 1.FVEA-324H汽车尾气分析仪 （1）原理 FVEA-324H（图23）汽车尾气分析仪是采用不分光红外法（即NDIR）的测量原理,利用先进的半导体检测器及大屏幕液晶数字显示技术,测量汽车尾气中的CO和HC的浓度值。所谓不分光红外法,即是利用某些待测气体对红外光波有特定的吸收峰,从而将其从混合气体中区分出来的方法。如CO、CO₂和HC等气体分别对4.6μm、4.2μm和3.4～3.5μm的红外光有特定的吸收峰,用一束红外光透过充满待测气体的气室。 展开更多

关键词 尾气分析仪 汽车尾气 红外光 汽车排气管 红外法 仪器测量 半导体检测器 测试模式 怠速 混合气体

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基于法兰式光纤传感技术的高压组合电器HF气体在线检测 被引量：13

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作者 张施令 姚强 李新田 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期402-409,共8页

SF6气体具有优异的绝缘和灭弧性能,因而广泛应用于高压气体绝缘组合电器(GIS)的生产和使用中,但GIS设备运行状态下的放电和过热故障将导致SF6气体分解生成氟化氢(HF)等多种典型特征气体,因此通过检测高压GIS中HF气体体积分数可有效判断... SF6气体具有优异的绝缘和灭弧性能,因而广泛应用于高压气体绝缘组合电器(GIS)的生产和使用中,但GIS设备运行状态下的放电和过热故障将导致SF6气体分解生成氟化氢(HF)等多种典型特征气体,因此通过检测高压GIS中HF气体体积分数可有效判断其运行状态。通过提出一种基于可调谐半导体激光吸收光谱检测(TDLAS)和法兰式光纤传感技术的高压组合电器HF气体在线检测方法,即将法兰式光纤传感结构固定安装在GIS管道中,实现了HF气体浓度高精度在线监测。实验数据表明,法兰式光纤传感在线监测装置能够实现对HF气体的有效测量。研究结果表明:盆式绝缘子表面最大场强为11.85kV/mm,低于SF6气体绝缘条件下20kV/mm的场强控制要求,因此盆式绝缘子附近电场不影响光纤传感器运行;在1m光程情况下,HF气体体积分数检出限可达5×10–5以下。研究结果可为高压组合电器SF6气体分解产物在线检测提供一种较为新颖的方案,从而实现对高压GIS内部HF气体的实时在线检测。 展开更多

关键词 气体绝缘组合电器 过热故障 HF气体 半导体激光气体检测 光纤传感 在线检测

原文传递

基于TDLAS检测技术的甲烷体积分数场重建研究 被引量：7

13

作者 张旭 曹树亚 +4 位作者 郭腾霄 董力强 杨柳 原博 丁学全 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期577-582,共6页

为了实现对甲烷体积分数场的2维分布重建,基于可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)检测技术,以甲烷为目标气体,采用直接吸收的测量方式,探测了甲烷氮气混合气的吸收光谱信号,通过代数重建算法对甲烷体积分数进行了模拟重建和实验研究,模拟... 为了实现对甲烷体积分数场的2维分布重建,基于可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)检测技术,以甲烷为目标气体,采用直接吸收的测量方式,探测了甲烷氮气混合气的吸收光谱信号,通过代数重建算法对甲烷体积分数进行了模拟重建和实验研究,模拟重建采用了6×6共36个方格的正方形重建区域,假定一个方形区域内具有空穴的体积分数分布,模拟24条光束从4个方向穿过重建区域,获取了模拟光线下的投影值。结果表明,经过重复实验统计均方根误差在2.58%,对模拟投影信号加入不同信噪比(5%,10%,20%)的高斯白噪声之后再进行重建,均方根误差分别在4.17%~9.30%之间;实验研究采取面源泄露式扩散方式,并通过在中心附近放置石英柱的方式人为制造体积分数空穴,形成非均匀体积分数场,通过对放置障碍物前后的重建结果对比,能够看到在空穴位置有明显的体积分数下降。TDLAS技术与计算机断层重建技术在气体体积分数场的局部分布检测上有可行性,具备作为有毒有害气体云团体积分数分布检测手段的潜力。 展开更多

关键词 光谱学 2维分布重建 代数重建算法 可调谐半导体激光吸收光谱检测技术

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迭代学习在运动台控制系统中的应用研究 被引量：2

14

作者 朱喜 张文涛 +1 位作者 杜浩 熊显名 《现代电子技术》 2023年第13期97-102,共6页

为了满足晶圆缺陷检测设备运动台对运动轨迹的精确跟踪需求,在重复作业的系统中常采用迭代学习控制,缩短运动台运动的稳定时间,提高半导体检测设备的产率。针对普通的全局PD迭代算法的局限性可能造成系统在特定环节的劣化,实际应用中迭... 为了满足晶圆缺陷检测设备运动台对运动轨迹的精确跟踪需求,在重复作业的系统中常采用迭代学习控制,缩短运动台运动的稳定时间,提高半导体检测设备的产率。针对普通的全局PD迭代算法的局限性可能造成系统在特定环节的劣化,实际应用中迭代时间长、次数多,滤波器型迭代学习应用中被控对象模型难以获得等问题,通过拟合实测传递函数,提出基于模型迭代学习的一种前馈控制算法。给出被控对象建模方法,提出改良后的滤波器型迭代学习控制,有效缩短迭代次数,降低运动台的跟踪误差和运动台稳定时间。实验结果表明,改进滤波器型迭代学习控制算法可以减小原来的轴运动的稳定时间30%左右,轴粗动时位置误差的均方根减小了原来的25%,改善了半导体检测设备运动台的轨迹跟踪性能,可以提高半导体检测设备的产率。 展开更多

关键词 迭代学习 控制系统 被控对象建模 半导体检测 前馈控制 运动轨迹跟踪

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时间双光路红外线气体分析仪的稳态信号传递方程及若干设计问题的探讨

15

作者 周昌震 曹俊杰 《仪器仪表学报》 EI CAS 1982年第4期345-351,共7页

采用半导体检测器的时间双光路红外气体分析仪是近年来国内研制生产的新型红外仪器。它体积小、结构简单、易于维护和生产,有发展前途。本文导出了这类仪器的稳态信号传递方程和零点调节方程,并以此为基础,具体地讨论了仪器的设计问题,... 采用半导体检测器的时间双光路红外气体分析仪是近年来国内研制生产的新型红外仪器。它体积小、结构简单、易于维护和生产,有发展前途。本文导出了这类仪器的稳态信号传递方程和零点调节方程,并以此为基础,具体地讨论了仪器的设计问题,给出了确定一些工艺指标的理论原则。 展开更多

关键词 稳态信号 气体分析仪 半导体检测器 吸收谱带 中心波长 光学深度 浓度测量 透过率 光谱范围 响应率

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原子吸收光谱仪器与技术的发展与展望 被引量：8

16

作者 何华焜 邓勃 何嘉耀 《现代科学仪器》 2006年第5期20-27,共8页

对AAS仪器的关键部件光源、分光系统与光电检测器件以及实验室研发的CS-AAS仪器装置,近年来取得的进步进行了评述,结合2004年由德国Analytik jena AG公司在世界上首次推出ContrAA 300型顺序扫描连续光源火焰原子吸收光谱商品仪器,对CS-... 对AAS仪器的关键部件光源、分光系统与光电检测器件以及实验室研发的CS-AAS仪器装置,近年来取得的进步进行了评述,结合2004年由德国Analytik jena AG公司在世界上首次推出ContrAA 300型顺序扫描连续光源火焰原子吸收光谱商品仪器,对CS-AAS仪器装置的发展现状与未来作了分析讨论。此外,还对二极管激光器光源进入AAS领域后引起的变化和各种小型、微型原子化器的出现所兴起小型专用AAS实验仪器装置,以及一次测量背景校正技术的商品化等等作了介绍。 展开更多

关键词 连续光源 半导体图像检测器件 二极管激光器 微型原子化器 连续光源-原子吸收光谱仪 一次测量(同时测量)背景校正技术

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射线式浓度计

17

《中国环境监测》 CAS CSSCI CSCD 北大核心 1992年第6期158-163,共6页

19.1X—射线概述:图19—1左上方是产生X—射线的装置,灯丝发射的电子被高电压加速后,轰击由Mo、W、Cu等制作的阴极靶,于是产生波长为0.1—100（?）的X—射线。 图19—2是以Mo为阴极靶时,随所加高压的变化X—射线的波长分布情况。当两极... 19.1X—射线概述:图19—1左上方是产生X—射线的装置,灯丝发射的电子被高电压加速后,轰击由Mo、W、Cu等制作的阴极靶,于是产生波长为0.1—100（?）的X—射线。 图19—2是以Mo为阴极靶时,随所加高压的变化X—射线的波长分布情况。当两极间电压高达18KV时,将产生白色X—射线（连续X—射线）。此时,波长入（?）,普朗克常数h(=6.55×10^-27,ev/s),光速C(3×10¹⁰cm/s),电子电荷e,放电电压V（kv）之间存在下式关系: 展开更多

关键词 线式 浓度计 放射线 阴极靶 荧光分析法 分光晶体 半导体检测器 原子序数 透过式 校准曲线

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宇宙、行星化学近年的研究动向与未来展望

18

作者 田中刚 吴永功 《世界地质》 CAS CSCD 1989年第2期79-82,共4页

一、近年来宇宙化学的进展最近十几年来发生了促使宇宙化学取得迅速进展的一些事件: 其一,是包括分析仪器在内的技术进步。伴随电子探针显微分析仪(EPMA)的广泛使用,放射性分析,特别是半导体检测器的普及而出现的非破坏性分析的实用化,... 一、近年来宇宙化学的进展最近十几年来发生了促使宇宙化学取得迅速进展的一些事件: 其一,是包括分析仪器在内的技术进步。伴随电子探针显微分析仪(EPMA)的广泛使用,放射性分析,特别是半导体检测器的普及而出现的非破坏性分析的实用化,质量分析的高精度化,齐备的实验室等等。带动这些事情的是从1969年开始的月岩样品的研究。当EDMA可将含量几十ppm的碱金属元素予以定量时。 展开更多

关键词 宇宙化学 行星化学 放射性分析 半导体检测器 碱金属元素 非破坏性分析 高精度化 同位素异常 研究动向 正异常

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迎接新世纪纳米工艺学：纳米加工系统

19

作者 郭志安 《国外科技动态》 2000年第12期17-18,共2页

关键词 纳米加工系统 应用 半导体检测 DNA测序

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高灵敏度超导电磁波传感器

20

作者 李春鸿 《稀土信息》 1993年第4期13-13,共1页

据《M&E》1992年第4期报导,三洋电机公司开发出达到实用化程度的高灵敏度高频领域超导电磁波传感器。他们是采用特制的YBaCuO—BiO体系超导体制备的。它对电磁波有特殊的响应特性(约瑟夫逊效应)。它比过去的半导体检测器(GaAs/Au)... 据《M&E》1992年第4期报导,三洋电机公司开发出达到实用化程度的高灵敏度高频领域超导电磁波传感器。他们是采用特制的YBaCuO—BiO体系超导体制备的。它对电磁波有特殊的响应特性(约瑟夫逊效应)。它比过去的半导体检测器(GaAs/Au)灵敏度高10倍以上,噪声小于1/1000以下,频率特性好(～18THz),工作温度有了很大提高(小于80K)。这种传感器不需要液氮,只要有蓄电池就能操作。 展开更多

关键词 约瑟夫逊效应 半导体检测器 实用化程度 三洋电机 频率特性 它比 工作温度 响应特性 量子效应 高阻抗

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