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半导体设备通讯标准GEM的应用
被引量：
8
1
作者
王戟
王兵
《机电工程》
CAS
2008年第7期34-36,54,共4页
SECS/GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS/GEM标准的构成,提出了使用SECS/GEM标准接口解决半导体设备自动化的问题。详细叙述了GEM的通信状态模型、控制状态模型和设备处理状态模型,以及GEM...
SECS/GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS/GEM标准的构成,提出了使用SECS/GEM标准接口解决半导体设备自动化的问题。详细叙述了GEM的通信状态模型、控制状态模型和设备处理状态模型,以及GEM的程序设计。并给出了GEM中事件数据收集的设计的实例。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面宽,在我国半导体芯片工业中应用前景广阔。
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关键词
半导体
设备
半导体设备通讯标准
通用
设备
模型
自动化
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职称材料
一种基于SECS/GEM协议的设备端通讯接口SDK的设计
2
作者
隋明远
张春雷
+1 位作者
周维
周庆懿
《机械》
2024年第4期59-66,共8页
SECS/GEM通讯是应用于半导体制造设备和半导体工厂MES之间的通讯标准,半导体设备接入工厂的半导体MES,需要半导体设备按照SECS/GEM相关标准协议的要求实现通讯。为此,基于对SECS/GEM标准协议的研究分析,应用面向对象的设计方法,自上而...
SECS/GEM通讯是应用于半导体制造设备和半导体工厂MES之间的通讯标准,半导体设备接入工厂的半导体MES,需要半导体设备按照SECS/GEM相关标准协议的要求实现通讯。为此,基于对SECS/GEM标准协议的研究分析,应用面向对象的设计方法,自上而下地进行软件设计和开发,提出一种整合了半导体设备通讯标准SECS/GEM的SDK,供设备端应用程序进行二次开发,为设备增添该通讯能力。SDK对SECS/GEM诸协议标准进行分层和实现、以动态链接库的形式进行封装、提供高级接口,并设计配置文件,将设备的本身特性进行分离,可以在不同类型的设备上进行部署。通过测试,验证了SDK可以满足SECS/GEM通讯要求,实现了标准中所述的各项能力,其可以应用于各类半导体制造设备的SECS/GEM通讯开发,实现与半导体工厂的MES互联。
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关键词
SECS/GEM
半导体设备通讯标准
工厂自动化
网络
通讯
智能制造
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职称材料
GEM通讯协议在减薄设备中的应用
3
作者
周丹
谢贵久
+1 位作者
张文斌
刘宇光
《电子工业专用设备》
2024年第2期63-67,共5页
SECS/GEM标准是用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。通过介绍了SECS/GEM系统的构成,详细叙述了GEM的通讯状态模型,控制状态模型和设备状态模型,结合减薄的实际应用需求,列举了状态数据,事件发送和报警收集等功能...
SECS/GEM标准是用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。通过介绍了SECS/GEM系统的构成,详细叙述了GEM的通讯状态模型,控制状态模型和设备状态模型,结合减薄的实际应用需求,列举了状态数据,事件发送和报警收集等功能的实现;表明GEM通信标准在减薄设备中有很好应用。
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关键词
半导体设备通讯标准
设备
状态模型
事件数据收集
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职称材料
一种SECS/GEM协议的实现方法
被引量：
3
4
作者
陈小飞
谢政华
汪昌来
《软件》
2019年第10期103-106,共4页
为实现半导体设备接入工厂信息化管理平台,提出一种半导体设备通讯标准SECS/GEM协议的实现方法。通过对协议的整体分析,将各层协议的通讯状态合并,并在动态链接库中实现状态间的转换,应用程序通过调用动态链接库的方式实现与设备本身特...
为实现半导体设备接入工厂信息化管理平台,提出一种半导体设备通讯标准SECS/GEM协议的实现方法。通过对协议的整体分析,将各层协议的通讯状态合并,并在动态链接库中实现状态间的转换,应用程序通过调用动态链接库的方式实现与设备本身特性相关的协议。详述了动态链接库的实现方法,实测结果验证了方法的有效性,具有良好的实用性和可移植性,适应于各种半导体设备的联网实现。
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关键词
SECS/GEM
半导体设备通讯标准
半导体
协议
设备
联网
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职称材料
题名
半导体设备通讯标准GEM的应用
被引量：
8
1
作者
王戟
王兵
机构
浙江工业大学信息学院
出处
《机电工程》
CAS
2008年第7期34-36,54,共4页
文摘
SECS/GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS/GEM标准的构成,提出了使用SECS/GEM标准接口解决半导体设备自动化的问题。详细叙述了GEM的通信状态模型、控制状态模型和设备处理状态模型,以及GEM的程序设计。并给出了GEM中事件数据收集的设计的实例。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面宽,在我国半导体芯片工业中应用前景广阔。
关键词
半导体
设备
半导体设备通讯标准
通用
设备
模型
自动化
Keywords
semiconductor equipment
semiconductor equipment communication standard （SECS）
generic equipment model（GEM）
automation
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种基于SECS/GEM协议的设备端通讯接口SDK的设计
2
作者
隋明远
张春雷
周维
周庆懿
机构
四川大学机械工程学院
成都乐创自动化技术有限公司
出处
《机械》
2024年第4期59-66,共8页
文摘
SECS/GEM通讯是应用于半导体制造设备和半导体工厂MES之间的通讯标准,半导体设备接入工厂的半导体MES,需要半导体设备按照SECS/GEM相关标准协议的要求实现通讯。为此,基于对SECS/GEM标准协议的研究分析,应用面向对象的设计方法,自上而下地进行软件设计和开发,提出一种整合了半导体设备通讯标准SECS/GEM的SDK,供设备端应用程序进行二次开发,为设备增添该通讯能力。SDK对SECS/GEM诸协议标准进行分层和实现、以动态链接库的形式进行封装、提供高级接口,并设计配置文件,将设备的本身特性进行分离,可以在不同类型的设备上进行部署。通过测试,验证了SDK可以满足SECS/GEM通讯要求,实现了标准中所述的各项能力,其可以应用于各类半导体制造设备的SECS/GEM通讯开发,实现与半导体工厂的MES互联。
关键词
SECS/GEM
半导体设备通讯标准
工厂自动化
网络
通讯
智能制造
Keywords
SECS/GEM
semiconductor equipment communication standard
factory automation
network communication
intelligent manufacturing
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
GEM通讯协议在减薄设备中的应用
3
作者
周丹
谢贵久
张文斌
刘宇光
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
北京中电科电子装备有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2024年第2期63-67,共5页
文摘
SECS/GEM标准是用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。通过介绍了SECS/GEM系统的构成,详细叙述了GEM的通讯状态模型,控制状态模型和设备状态模型,结合减薄的实际应用需求,列举了状态数据,事件发送和报警收集等功能的实现;表明GEM通信标准在减薄设备中有很好应用。
关键词
半导体设备通讯标准
设备
状态模型
事件数据收集
Keywords
Semiconductor equipment communication standards(SECS)
Device state model
Event data collection
分类号
TN605 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
一种SECS/GEM协议的实现方法
被引量：
3
4
作者
陈小飞
谢政华
汪昌来
机构
安徽大华半导体科技有限公司
出处
《软件》
2019年第10期103-106,共4页
基金
安徽省战略性新兴产业集聚发展基地专项资金支持项目(2016293)
文摘
为实现半导体设备接入工厂信息化管理平台,提出一种半导体设备通讯标准SECS/GEM协议的实现方法。通过对协议的整体分析,将各层协议的通讯状态合并,并在动态链接库中实现状态间的转换,应用程序通过调用动态链接库的方式实现与设备本身特性相关的协议。详述了动态链接库的实现方法,实测结果验证了方法的有效性,具有良好的实用性和可移植性,适应于各种半导体设备的联网实现。
关键词
SECS/GEM
半导体设备通讯标准
半导体
协议
设备
联网
Keywords
SECS/GEM
Semiconductor equipment communication standard
Semiconductor protocol
Equipment networking
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体设备通讯标准GEM的应用
王戟
王兵
《机电工程》
CAS
2008
8
下载PDF
职称材料
2
一种基于SECS/GEM协议的设备端通讯接口SDK的设计
隋明远
张春雷
周维
周庆懿
《机械》
2024
0
下载PDF
职称材料
3
GEM通讯协议在减薄设备中的应用
周丹
谢贵久
张文斌
刘宇光
《电子工业专用设备》
2024
0
下载PDF
职称材料
4
一种SECS/GEM协议的实现方法
陈小飞
谢政华
汪昌来
《软件》
2019
3
下载PDF
职称材料
已选择
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