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MEMS汽车胎压敏感芯片设计、参数拓展与应用研究 被引量：3
1
作者 郭源生 郭宏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第2期106-108,共3页
基于MEMS工艺技术,采用了单岛膜结构及其数学模型,设计并在4～6英寸（1英寸=2.54 cm）硅片上制作了汽车轮胎压力专用传感器IC芯片;并经过结构转化、参数指标拓展,以及测试条件改变,扩大芯片功能和应用范围,使得量程繁多、品种繁杂的芯片... 基于MEMS工艺技术,采用了单岛膜结构及其数学模型,设计并在4～6英寸（1英寸=2.54 cm）硅片上制作了汽车轮胎压力专用传感器IC芯片;并经过结构转化、参数指标拓展,以及测试条件改变,扩大芯片功能和应用范围,使得量程繁多、品种繁杂的芯片,转化为宽泛量程与功能兼顾的芯片,达到批量生产的目的。 展开更多
关键词 MEMS工艺技术 单岛膜结构 轮胎压力 指标拓展 IC芯片
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基于MEMS工艺技术的无线网络压力传感器芯片设计及应用研究 被引量：1
2
作者 郭源生 刘忠立 《电子技术应用》 北大核心 2010年第7期13-16,共4页
运用单岛膜E型硅杯结构设计及其应力分析数学模型以及半导体MEMS工艺技术,在8英寸硅片上设计并制作出了用于无线网络压力传感器节点的敏感元件IC芯片;通过结构转化与表面钝化处理、芯片厚度加工工艺控制,拓展各个参数性能指标,改变测试... 运用单岛膜E型硅杯结构设计及其应力分析数学模型以及半导体MEMS工艺技术,在8英寸硅片上设计并制作出了用于无线网络压力传感器节点的敏感元件IC芯片;通过结构转化与表面钝化处理、芯片厚度加工工艺控制,拓展各个参数性能指标,改变测试方法和条件,实现扩大芯片功能和应用范围的目的,使得量程、品种繁杂的芯片,转化为量程宽泛与功能强大的敏感元件,提高了批量化生产能力,拓展了芯片在物联网中的应用。 展开更多
关键词 单岛膜结构 工艺控制 量程拓展 敏感元件 IC芯片
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汽车轮胎压力传感器芯片与应用
3
作者 郭源生 郭宏 《电子产品世界》 2008年第2期52-52,54,56,共3页
运用硅平面工艺和MEMS微机械加工工艺技术,设计采用了单岛膜结构及其数学模型,开发汽车轮胎压力监测专用传感器IC芯片,用于TPMS系统;本文提出了汽车轮胎压力传感器芯片新的设计数学模型、方法和结构,测试分析其参数性能指标,经过结构转... 运用硅平面工艺和MEMS微机械加工工艺技术,设计采用了单岛膜结构及其数学模型,开发汽车轮胎压力监测专用传感器IC芯片,用于TPMS系统;本文提出了汽车轮胎压力传感器芯片新的设计数学模型、方法和结构,测试分析其参数性能指标,经过结构转化及应用研究表明拓展功能和应用范围的必要性和可行性。 展开更多
关键词 MEMS 单岛膜结构 数学模型 轮胎压力
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