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研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响 被引量：20
1
作者 王建彬 朱永伟 +2 位作者 王加顺 徐俊 左敦稳 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1099-1104,1120,共7页
研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素。本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究,采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量,运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件... 研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素。本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究,采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量,运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件亚表面损伤层深度的影响。结果表明,金刚石磨料粒径分别为W 50和W 14的游离磨料研磨加工蓝宝石晶片的亚表面损伤层深度分别为48.85μm和7.02μm,而相同粒径固结磨料加工的亚表面损伤层深度分别为5.47μm和3.25μm。固结磨料研磨后的工件表面粗糙度也优于相同粒径的游离磨料加工的工件。固结磨料研磨方式对于蓝宝石单晶表面研磨质量的改善和亚表面损伤层深度的降低具有显著的效果。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 固结磨料 游离磨料 亚表面损伤层深度 表面粗糙度
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单晶蓝宝石高效超精密加工技术研究 被引量：1
2
作者 何艳 苑泽伟 +1 位作者 王坤 李树荣 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2018年第2期136-139,共4页
针对光电子器件、集成电路等应用领域对单晶蓝宝石高质量的表面需求,而单晶蓝宝石自身的硬度和良好的化学稳定性给抛光带来较大的困难。文章在分析、对比直接采用2μm金刚石磨料化学机械抛光蓝宝石基片效果的基础上,提出机械研磨与化学... 针对光电子器件、集成电路等应用领域对单晶蓝宝石高质量的表面需求,而单晶蓝宝石自身的硬度和良好的化学稳定性给抛光带来较大的困难。文章在分析、对比直接采用2μm金刚石磨料化学机械抛光蓝宝石基片效果的基础上,提出机械研磨与化学机械抛光相结合的工艺抛光蓝宝石。结果表明,采用10μm的碳化硼磨料机械研磨蓝宝石,材料去除率为8.03μm/h,表面粗糙度Ra由1.18μm迅速降至22.326 nm;采用粒径为2μm和0.5μm的金刚石磨料化学机械抛光蓝宝石晶片,有效的去除机械抛光带来的损伤,最后表面粗糙度Ra可达0.55 nm。此抛光工艺能满足蓝宝石晶体高效、超光滑、低损伤的抛光要求。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 机械研磨 化学机械抛光
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单晶蓝宝石在高温测量中的应用 被引量：1
3
作者 黄学洪 欧阳小燕 胡耀祖 《国外建材科技》 2001年第3期35-38,共4页
将单晶蓝宝石棒制成黑体放入被测温度场,把其代表温度的热辐射能量耦合到低温光纤远传,经光电转换变成电信号送入计算机处理和显示温度。这种方法利用了蓝宝石耐高温的性质,能测量1300～1800℃的高温,并且克服了在此温度区域用传统的辐... 将单晶蓝宝石棒制成黑体放入被测温度场,把其代表温度的热辐射能量耦合到低温光纤远传,经光电转换变成电信号送入计算机处理和显示温度。这种方法利用了蓝宝石耐高温的性质,能测量1300～1800℃的高温,并且克服了在此温度区域用传统的辐射测温方法时受被测物体表面发射率的影响这一主要测量误差来源。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 高温 辐射 发射率 测量
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单晶蓝宝石的延性研磨加工 被引量：10
4
作者 戴欣平 赵萍 文东辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1316-1324,共9页
为实现单晶蓝宝石的延性研磨加工,采用纳米压痕和划痕法测试并分析了单晶蓝宝石(0001)面的微纳力学特性,建立了单颗圆锥状磨粒的压入模型并计算了延性研磨加工的受力临界条件,分析了金刚石磨粒嵌入合成锡研磨盘表面的效果。对单晶蓝宝... 为实现单晶蓝宝石的延性研磨加工,采用纳米压痕和划痕法测试并分析了单晶蓝宝石(0001)面的微纳力学特性,建立了单颗圆锥状磨粒的压入模型并计算了延性研磨加工的受力临界条件,分析了金刚石磨粒嵌入合成锡研磨盘表面的效果。对单晶蓝宝石进行了延性研磨加工试验,采用NT9800白光干涉仪、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等方法分析了单晶蓝宝石的延性研磨表面特征。试验结果表明:采用纳米压痕和划痕法可以为单晶蓝宝石的延性研磨加工提供工艺参数,单晶蓝宝石的延性堆积的极限深度为100nm,金刚石磨粒的嵌入及在适当载荷下可以实现蓝宝石的延性研磨加工,实验条件下的最佳载荷为21kPa,延性研磨后单晶蓝宝石表面划痕深度的分布情况较好,分散性小,研磨后的表面发生了位错滑移变形。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 金刚石磨粒 延性研磨 纳米压痕法 纳米划痕法
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固结磨料研磨单晶蓝宝石亚表面损伤的预测 被引量：6
5
作者 王建彬 马睿 +3 位作者 江本赤 王刚 李军 朱永伟 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期345-351,共7页
目的为了准确预测工件亚表面损伤,合理确定材料去除量,优化固结磨料研磨单晶蓝宝石的工艺参数。方法针对固结磨料研磨特点和单晶蓝宝石特性,采用离散元模拟技术,建立单晶蓝宝石材料的离散元模型,仿真固结磨料对材料研磨的动态过程,分析... 目的为了准确预测工件亚表面损伤,合理确定材料去除量,优化固结磨料研磨单晶蓝宝石的工艺参数。方法针对固结磨料研磨特点和单晶蓝宝石特性,采用离散元模拟技术,建立单晶蓝宝石材料的离散元模型,仿真固结磨料对材料研磨的动态过程,分析载荷作用下材料单元颗粒间裂纹的产生和扩展规律,研究磨粒切入深度对亚表面损伤的影响,预测固结磨料研磨单晶蓝宝石亚表面裂纹的数量和深度,并借助化学腐蚀法验证预测结果。结果采用粒度分别为W14、W28、W50、W65的金刚石固结磨料垫,其对应的研磨单晶蓝宝石亚表面损伤层深度预测值分别为3.75、5.28、7.62、10.92μm,预测的裂纹数量分别为199、236、526、981条,对应的实验实测值分别为3.79、5.88、8.76、11.44μm。固结磨料垫中的磨料粒径越大,单晶蓝宝石亚表面损伤层的深度越大,裂纹数量越密集。对比发现腐蚀实验的实测值和理论预测值基本一致,验证了预测结果模型的正确性。结论采用离散元法可以快速有效地预测固结磨料研磨单晶蓝宝石亚表面损伤层的裂纹数量和深度,为研磨工艺参数的优化和后续抛光工艺参数的制定提供指导。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 亚表面损伤 离散元法 固结磨料 研磨 化学腐蚀法
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采用多糖结合剂磨具的单晶蓝宝石加工 被引量：1
6
作者 吴喆 朱衍飞 +4 位作者 陈俊鹏 朱自超 刘志峰 袁巨龙 姚蔚峰 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI CSCD 2020年第3期360-369,共10页
提出了一种用于单晶蓝宝石绿色加工的新型多糖结合剂磨具。设计了磨具的配方和制备工艺,研究了微波处理对多糖凝胶性能的影响。制作了磨具试样并对单晶蓝宝石进行了加工试验。研究发现,随着交联多糖比例的增加,多糖凝胶的结晶度降低。... 提出了一种用于单晶蓝宝石绿色加工的新型多糖结合剂磨具。设计了磨具的配方和制备工艺,研究了微波处理对多糖凝胶性能的影响。制作了磨具试样并对单晶蓝宝石进行了加工试验。研究发现,随着交联多糖比例的增加,多糖凝胶的结晶度降低。含有交联多糖的磨具试样具有较高的表面硬度。加工试验结果表明,采用这种新型磨具,蓝宝石晶片的表面质量得到了显著的改善。当磨具砂结比为2∶1时,材料去除率可达0.68μm/min,提高磨具砂结比可获得较好的自锐性能,但材料去除能力降低,磨具磨耗增大。初步验证了多糖材料作为磨具结合剂的有效性。 展开更多
关键词 多糖结合剂 微波处理 单晶蓝宝石 绿色加工
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基于预胶化多糖结合剂磨具的单晶蓝宝石加工试验研究 被引量：1
7
作者 吴喆 朱衍飞 +2 位作者 陈俊鹏 郑梦龙 刘志峰 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2019年第12期9-15,共7页
针对单晶蓝宝石加工用磨具所使用树脂结合剂环境友好性差的问题,提出使用预胶化多糖材料作为结合剂的单晶蓝宝石绿色加工磨具。分析了纤维素增强相对预胶化多糖凝胶特性的影响。设计了预胶化多糖结合剂磨具配方与制作工艺,制作了磨具试... 针对单晶蓝宝石加工用磨具所使用树脂结合剂环境友好性差的问题,提出使用预胶化多糖材料作为结合剂的单晶蓝宝石绿色加工磨具。分析了纤维素增强相对预胶化多糖凝胶特性的影响。设计了预胶化多糖结合剂磨具配方与制作工艺,制作了磨具试样并分析了其机械特性。基于所制作磨具进行了单晶蓝宝石研磨片的表面加工试验。试验结果表明:纤维素可实现预胶化多糖凝胶的物理增强。使用“常温干燥+置换干燥+热风干燥”混合干燥工艺的磨具试样具有最佳的机械特性。随着砂结比增大,磨具机械强度整体呈现先增大、后减小的趋势。砂结比为4∶1的磨具具有最高的单位载荷工件温升,有利于固相反应的进行,表现出相对最优的加工特性:经过10 min加工,单晶蓝宝石表面粗糙度Rq值下降了84.25%,材料去除率为0.1μm/min。 展开更多
关键词 多糖结合剂 单晶蓝宝石 表面加工 固相反应 绿色制造
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单晶蓝宝石基片抛光工艺研究进展 被引量：3
8
作者 陈刚 肖强 《工具技术》 2018年第3期3-9,共7页
对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削(ELID)、化学机械抛光(CMP)、固结软磨料抛光、磁流变抛光(MRF)、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足... 对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削(ELID)、化学机械抛光(CMP)、固结软磨料抛光、磁流变抛光(MRF)、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足以及最新研究成果存在的关键问题。其中游离磨料磨削、在线电解修整磨削、金刚石砂轮磨削的材料去除速率较高,化学机械抛光是抛光大面积基片的唯一方法,磁流变抛光后的基片表面不存在亚表面损伤。根据单晶蓝宝石基片的应用需求和目前抛光方法的不足,对后续研究的方向进行了预测。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 游离磨料磨削 化学机械抛光 磁流变抛光 ELID磨削 超声振动辅助磨削
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各项异性对单晶蓝宝石精密研磨的作用规律 被引量：5
9
作者 沈锋 《科技信息》 2010年第24期142-142,145,共2页
沿晶格的不同方向,原子排列的周期性和疏密程度不尽相同,由此导致晶体在不同方向的物理化学特性也不同,这就是晶体的各向异性。各向异性作为晶体的一个重要特性具有相当重要的研究价值。本文依据现代工业对蓝宝石晶圆的加工要求,系统对... 沿晶格的不同方向,原子排列的周期性和疏密程度不尽相同,由此导致晶体在不同方向的物理化学特性也不同,这就是晶体的各向异性。各向异性作为晶体的一个重要特性具有相当重要的研究价值。本文依据现代工业对蓝宝石晶圆的加工要求,系统对单晶蓝宝石4个面同时开展了单面机械研磨的试验研究,综合各工艺参数对研磨质量的影响,系统分析各向异性对研磨的影响。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 各向异性 精密研磨 材料去除率 表面粗糙度
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基于气-液-固机理的单晶蓝宝石纤维的制备与表征
10
作者 罗志远 马清 +3 位作者 占旭 刘仁辰 嵇世山 高尚 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期228-231,236,共5页
单晶蓝宝石(α-Al2O3)纤维作为强韧化关键基础材料,在陶瓷、金属、高分子基等复合材料领域具有广泛的应用前景。以SiO2粉体和金属铝棒为原料、氩气为保护气、氧化锆(ZrO2)陶瓷为承烧板,利用气相-液相-固相(VLS)沉积反应机理制备单晶α-A... 单晶蓝宝石(α-Al2O3)纤维作为强韧化关键基础材料,在陶瓷、金属、高分子基等复合材料领域具有广泛的应用前景。以SiO2粉体和金属铝棒为原料、氩气为保护气、氧化锆(ZrO2)陶瓷为承烧板,利用气相-液相-固相(VLS)沉积反应机理制备单晶α-Al2O3纤维。通过X射线衍射、扫描电子显微镜、场发射透射电子显微镜、能量色散谱仪等表征技术分别对单晶α-Al2O3纤维纯化前后的相结构、微观形貌和组成进行表征。结果表明:单晶α-Al2O3纤维表面光滑,粗细均匀;纤维平均直径为0.5~1μm;纯化前后的单晶α-Al2O3纤维均为单晶α相,主要由(104)、(110)和(006)晶面组成,纯化后纤维中无杂质相。在此基础上,进一步探讨了单晶α-Al2O3纤维的生长机理和生长过程,为单晶α-Al2O3纤维大规模可控制备及应用奠定实验基础。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 纤维 气相-液相-固相沉积反应 铝棒
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基于金刚石微粉的单晶蓝宝石CMP工艺研究
11
作者 何艳 苑泽伟 +1 位作者 王坤 李树荣 《机械设计与制造》 北大核心 2017年第S1期95-97,101,共4页
单晶蓝宝石具有高的机械和光学性能,已被广泛应用于光电子、通讯、国防等领域。以提高加工后单晶蓝宝石表面质量和缩短加工时间为最终目标,采用化学机械抛光的方法抛光蓝宝石,得到了一种可行有效的抛光单晶蓝宝石的加工工艺路线。试验... 单晶蓝宝石具有高的机械和光学性能,已被广泛应用于光电子、通讯、国防等领域。以提高加工后单晶蓝宝石表面质量和缩短加工时间为最终目标,采用化学机械抛光的方法抛光蓝宝石,得到了一种可行有效的抛光单晶蓝宝石的加工工艺路线。试验结果表明,采用6μm金刚石磨料粗抛蓝宝石晶片1.5 h,表面粗糙度值由220.05 nm快速降到7.88 nm;然后采用3μm金刚石磨料精抛蓝宝石晶片3 h,可以获得Ra约为2.82 nm(测量区域700μm×530μm)的表面粗糙度值。此抛光工艺能满足蓝宝石衬底高效、低损伤的抛光要求。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 化学机械抛光 金刚石磨料 工艺
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应对未来战争的“光学盾牌”——超大尺寸蓝宝石单晶板材 被引量：1
12
作者 王晓亮 赵鹏 +4 位作者 庄宏岩 丁岩帅 李清连 孙军 黄存新 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第9期1730-1732,共3页
蓝宝石单晶具有优良的力学性能和光学性能,是目前透明装甲的优选材料。导模法能够制备出形状和尺寸都接近目标要求的晶体,可以大幅度降低晶体的生产成本。我们通过自主设计的晶体生长设备,优化晶体生长工艺和热场,成功制备了尺寸为480 m... 蓝宝石单晶具有优良的力学性能和光学性能,是目前透明装甲的优选材料。导模法能够制备出形状和尺寸都接近目标要求的晶体,可以大幅度降低晶体的生产成本。我们通过自主设计的晶体生长设备,优化晶体生长工艺和热场,成功制备了尺寸为480 mm×1200 mm×12 mm的蓝宝石单晶板材,晶坯形状规则,加工去掉表面气泡层后在20 mW He-Ne激光照射下检测,整体无散射。 展开更多
关键词 蓝宝石单晶板材 导模法 超大尺寸 透明装甲
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蓝宝石单晶精密磨削表面形貌的分形行为研究 被引量：7
13
作者 王秋燕 梁志强 +4 位作者 王西彬 赵文祥 焦黎 吴勇波 周天丰 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第19期174-181,共8页
如何合理有效地评价光学晶体微结构表面质量,是目前光学元件精密制造与应用领域面临的重要问题。基于分形理论,采用三维和二维盒计数方法对蓝宝石单晶磨削表面形貌进行了分析,结果表明磨削表面的三维分形维数Ds与表面粗糙度呈反比关系,... 如何合理有效地评价光学晶体微结构表面质量,是目前光学元件精密制造与应用领域面临的重要问题。基于分形理论,采用三维和二维盒计数方法对蓝宝石单晶磨削表面形貌进行了分析,结果表明磨削表面的三维分形维数Ds与表面粗糙度呈反比关系,而且三维分形维数越高表面纹理越精细,三维分形维数越低表面缺陷越多。磨削表面截面轮廓的二维分形维数DL分布规律可以反映材料去除方式的变化。当二维分形维数DL沿磨削方向呈强对称分布时,该磨削表面为延性域去除;若呈弱对称性或不规则分布,则该磨削表面为脆性域去除。研究证实了分形方法不仅可用于综合表征蓝宝石磨削表面形貌,还可用于揭示蓝宝石磨削表面的材料去除机理。 展开更多
关键词 分形 蓝宝石单晶 磨削表面 材料去除方式
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温梯法生长掺碳强韧化蓝宝石单晶的研究 被引量：4
14
作者 胡克艳 徐军 +3 位作者 唐慧丽 李红军 邹宇琦 杨秋红 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期307-311,共5页
研究了温梯法生长不同浓度石墨碳掺杂蓝宝石单晶的室温力学性能。实验发现在蓝宝石单晶中,掺入适量石墨碳可以显著提高晶体常温断裂强度和断裂韧性,而不损害晶体的可见和近红外透过性能。当其掺入的石墨浓度为5×10-3时,蓝宝石单晶... 研究了温梯法生长不同浓度石墨碳掺杂蓝宝石单晶的室温力学性能。实验发现在蓝宝石单晶中,掺入适量石墨碳可以显著提高晶体常温断裂强度和断裂韧性,而不损害晶体的可见和近红外透过性能。当其掺入的石墨浓度为5×10-3时,蓝宝石单晶的断裂强度和断裂韧性平均分别提高到752 MPa和2.81 MPa.m1/2,而其可见和近红外透过率依然达80%。掺杂的石墨碳在蓝宝石晶体中部分作为晶格间隙离子,对蓝宝石单晶的开裂具有钉扎作用,达到提高蓝宝石单晶常温力学性能的效果。但是过量石墨碳的掺杂会引起掺质的组分偏析,晶体中出现碳包裹物,从而导致晶体力学性能和光学性能的下降。 展开更多
关键词 蓝宝石单晶 强韧化 掺碳 温梯法
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化学腐蚀法研究蓝宝石单晶中的位错缺陷 被引量：11
15
作者 吕海涛 张维连 +1 位作者 左燕 步云英 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期48-51,共4页
采用化学腐蚀-金相显微镜法和SEM法观察了CZ法生长的直径50mm的蓝宝石单晶中的位错缺陷.发现位错分布状况为中心较低、边缘较高,密度大约为104～10 5cm-2.在不同温度不同的试剂以及不同的腐蚀时间进行对比结果发现,用KOH腐蚀剂在290℃... 采用化学腐蚀-金相显微镜法和SEM法观察了CZ法生长的直径50mm的蓝宝石单晶中的位错缺陷.发现位错分布状况为中心较低、边缘较高,密度大约为104～10 5cm-2.在不同温度不同的试剂以及不同的腐蚀时间进行对比结果发现,用KOH腐蚀剂在290℃下腐蚀15min时,显示的位错最为清晰、准确,效果最佳. 展开更多
关键词 化学腐蚀 蓝宝石单晶 位错缺陷 KOH腐蚀剂 金相显微镜
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泡生法生长蓝宝石单晶的热场改进与模拟优化 被引量：23
16
作者 汪传勇 左然 +1 位作者 Andrey Smirnov Kirill Mazaev 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期83-87,共5页
在泡生法蓝宝石单晶生长中,单晶炉内的热场对晶体质量至关重要。本文首先对单晶炉的顶部热屏、环形加热器和炉底保温进行了改进,然后结合计算机数值模拟,对热场改进前、后晶体的轴向和径向温度梯度、晶体表面温度分布、加热器功率等进... 在泡生法蓝宝石单晶生长中,单晶炉内的热场对晶体质量至关重要。本文首先对单晶炉的顶部热屏、环形加热器和炉底保温进行了改进,然后结合计算机数值模拟,对热场改进前、后晶体的轴向和径向温度梯度、晶体表面温度分布、加热器功率等进行分析对比。结果表明:改进后的倾斜热屏增强了单晶炉内的辐射传热,对已生长出的晶体起到了后热作用,降低了晶体内的热应力;对加热器和底部钼保温层的改进,减小了加热器与坩埚间的热阻,增强了炉内的保温作用,使加热功率降低了约8%。 展开更多
关键词 泡生法 蓝宝石单晶 热场优化 数值模拟
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SAPMAC法生长大尺寸蓝宝石单晶工艺研究 被引量：3
17
作者 姚泰 左洪波 +4 位作者 孟松鹤 韩杰才 张明福 李常青 许承海 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期794-796,共3页
采用冷心放肩微量提拉法（SAPMAC法）在真空条件下，选择〈1010〉方向的籽晶成功生长了尺寸为φ220×200mm的大尺寸蓝宝石晶体，生长时结晶区温度梯度为0．5—1．0℃／mm，生长速度为0．1-2mm／h．对生成晶体的透射率进行了检测，... 采用冷心放肩微量提拉法（SAPMAC法）在真空条件下，选择〈1010〉方向的籽晶成功生长了尺寸为φ220×200mm的大尺寸蓝宝石晶体，生长时结晶区温度梯度为0．5—1．0℃／mm，生长速度为0．1-2mm／h．对生成晶体的透射率进行了检测，测试结果表明在2500—4000cm^-1范围内，1mm厚度蓝宝石晶片的透过率达85％以上． 展开更多
关键词 冷心放肩微量提拉法 蓝宝石单晶 透过率
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气体湍流对泡生法生长蓝宝石单晶温场的影响 被引量：2
18
作者 李金权 苏小平 +4 位作者 那木吉拉图 黎建明 张峰翊 李楠 杨海 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期236-239,247,共5页
本文采用专业晶体生长模拟软件CrysVUn对泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶进行了计算机模拟。分析了气体压力对泡生法生长蓝宝石单晶的温场、气体速度场的影响。结果发现在气压P≥105Pa时,特别是在引晶初期,容易出现籽晶根部熔化,这在实验中... 本文采用专业晶体生长模拟软件CrysVUn对泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶进行了计算机模拟。分析了气体压力对泡生法生长蓝宝石单晶的温场、气体速度场的影响。结果发现在气压P≥105Pa时,特别是在引晶初期,容易出现籽晶根部熔化,这在实验中得到了很好的验证,并提出了三种解决方案。 展开更多
关键词 气体对流 温场 蓝宝石单晶 数值模拟
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泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的等径控制方法 被引量：4
19
作者 邵伟 杨军良 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期253-257,共5页
在泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的过程中,为了获得高质量的晶体,精确等径控制至关重要。本文根据晶体的重量变化率来控制热场,实现晶体等径生长。设计了应用在线整定多项式权值的广义最小方差(OAPW_GMV)控制方法,并建立了系统模型。该方... 在泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的过程中,为了获得高质量的晶体,精确等径控制至关重要。本文根据晶体的重量变化率来控制热场,实现晶体等径生长。设计了应用在线整定多项式权值的广义最小方差(OAPW_GMV)控制方法,并建立了系统模型。该方法的主要思想是根据在线估计的被控对象参数及OAPW_GMV的输出,调整多项式的权值,实现炉内的热场控制。仿真和实验结果表明该控制方法实现了蓝宝石单晶的精确等径控制,有效地提高了蓝宝石单晶的质量。 展开更多
关键词 泡生法 大尺寸蓝宝石单晶 GMV控制 等径生长
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