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原子精度制造新原理和新方法
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作者 张振宇 李琳 +16 位作者 巨阳 陈云飞 许剑锋 闫永达 徐飞飞 周天丰 段辉高 黄志权 徐凯臣 朱吴乐 彭小强 邓辉 司伟 王吉 王金石 吕鹏 冯俊元 《中国科学基金》 CSSCI CSCD 北大核心 2024年第1期146-158,共13页
目前航空航天、核物理、微电子、光电子和半导体等国家战略领域高性能装备的性能需求日渐严苛,核心零部件的制造精度必须迈进原子级水平,亟需研究原子精度的高性能制造新原理和新方法。本文归纳并提出了目前迫切需求的原子级表面精度、... 目前航空航天、核物理、微电子、光电子和半导体等国家战略领域高性能装备的性能需求日渐严苛,核心零部件的制造精度必须迈进原子级水平,亟需研究原子精度的高性能制造新原理和新方法。本文归纳并提出了目前迫切需求的原子级表面精度、原子级结构精度、原子级损伤控制以及原子级特征尺寸结构创成四大原子精度制造核心能力,从能场辅助原子级切削、多能场辅助原子有序排布、表面能弱化原子精度材料去除以及超光学衍射极限的原子精度制造四大方向进行系统梳理,介绍了面向不同应用场景的原子精度制造新原理和新方法的研究现状,并概述了各类方法的优势和缺点,从中提炼出多能场耦合条件下的能量和原子间相互作用机理这一关键科学问题,并从四大方向上对未来我国原子级制造的基础研究提出了建议。 展开更多
关键词 原子精度制造 原子级切削 原子有序排布 表面能弱化加工 超光学衍射极限加工
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