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双频激光干涉仪技术现状与发展 被引量：50
1
作者 所睿 范志军 +1 位作者 李岩 张书练 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期251-253,共3页
文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。
关键词 双频激光干涉仪 外差干涉 分辨率 发展趋势
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双频激光干涉测角中角锥镜的不对称性对测角精度影响的分析 被引量：4
2
作者 何川 林家明 +2 位作者 邹桂兰 任建荣 沙定国 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期289-290,292,共3页
对双频激光干涉测角中反射镜组内两角锥镜的不对称性进行了分析,包括两反射角锥镜的制造工艺误差——两反射角锥镜的厚度偏差,以及安装偏差——两反射角锥镜前表面不平行度。推导出了由于该类误差带来的测角影响,建立了精确的角度测量... 对双频激光干涉测角中反射镜组内两角锥镜的不对称性进行了分析,包括两反射角锥镜的制造工艺误差——两反射角锥镜的厚度偏差,以及安装偏差——两反射角锥镜前表面不平行度。推导出了由于该类误差带来的测角影响,建立了精确的角度测量模型。 展开更多
关键词 双频激光干涉 正弦测角 光学角锥镜 不对称性
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基于双频激光干涉的坐标测量机测量不确定度检定系统 被引量：5
3
作者 祝连庆 陈青山 +1 位作者 董明利 张舒 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期108-109,119,共3页
分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中测量数据的处理方法和测量不确定度的表达式。该系统利用高精度的直线静导轨和动导轨的组合可快速方便地... 分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中测量数据的处理方法和测量不确定度的表达式。该系统利用高精度的直线静导轨和动导轨的组合可快速方便地实现三坐标测量机单轴和测量空间内测量不确定度的检定。 展开更多
关键词 坐标测量机 双频激光干涉仪 测量不确定度 检 定
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高测速双频激光干涉仪 被引量：23
4
作者 高赛 殷纯永 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第3期238-239,246,共3页
现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到 10 0 0 mm/ s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此研制了一种基于 5 MHz频差双反射膜激光器的高测速干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度进行了... 现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到 10 0 0 mm/ s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此研制了一种基于 5 MHz频差双反射膜激光器的高测速干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度进行了验证。实验证明 ,该种干涉仪可以对速度为 10 0 0 mm/ 展开更多
关键词 双频激光干涉仪 高测速 外差 位移 速度
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双纵模双频激光干涉仪的非线性对测量精度的影响 被引量：5
5
作者 杨春生 张涛 +1 位作者 成俊康 刘国栋 《吉林大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期561-564,共4页
对具有特殊后续电信号处理系统的双纵模双频激光干涉仪的非线性误差进行了研究。根据理论分析推导出了存在非线性时输出信号的表达式,并据此给出了非线性误差的表现形式是使混频输出信号产生漂移起伏,主要影响因素是偏振分光镜分光偏振... 对具有特殊后续电信号处理系统的双纵模双频激光干涉仪的非线性误差进行了研究。根据理论分析推导出了存在非线性时输出信号的表达式,并据此给出了非线性误差的表现形式是使混频输出信号产生漂移起伏,主要影响因素是偏振分光镜分光偏振度及光路调整理想程度。根据分光偏振度可计算信号最大漂移幅度及其带来的测量误差,计算出的漂移幅度值与实际观测值相近,该值可作为判断光路调整精度的一个标准,也是确定后续信号处理环节(细分辨向计数)中最大细分数的依据。 展开更多
关键词 仪器仪表技术 纵模 双频激光干涉仪 非线性 漂移 分光偏振度
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高测速双频激光干涉仪及其性能检测 被引量：6
6
作者 闫聚群 吴健 +1 位作者 高赛 殷纯永 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期5-7,19,共4页
新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达15... 新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580mm s。通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980mm s,外触发计数频率达11kHz。 展开更多
关键词 计量学 双频激光干涉仪 高测速 外触发频率
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双频激光干涉仪高精度测量大型工件内外径系统的研制 被引量：3
7
作者 冯其波 梁晋文 田芊 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期145-150,共6页
本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果。测量... 本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果。测量１０００ｍｍ直径时测量系统的误差＜１０μｍ。 展开更多
关键词 双频激光干涉仪 高精度测量 大型工件
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一种双频激光干涉信号探测器的设计 被引量：3
8
作者 乐燕芬 时颖 句爱松 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期759-762,共4页
为了获取高精密双频激光干涉测量中的干涉信号,完成了一种新的光电探测器电路设计。该探测器利用AD645设计了精密低噪声光电转换前置放大器,保证微弱干涉光信号的有效接收;增益可调的主放大器设计保证输出信号足够的动态范围,适应不同... 为了获取高精密双频激光干涉测量中的干涉信号,完成了一种新的光电探测器电路设计。该探测器利用AD645设计了精密低噪声光电转换前置放大器,保证微弱干涉光信号的有效接收;增益可调的主放大器设计保证输出信号足够的动态范围,适应不同类型的干涉信号处理电路,双二次型带通滤波器有效抑制了噪声与温漂。结果表明,研制的光电探测器能完成微弱干涉信号的接收处理,信噪比高、频率稳定、结构简单易实现,可应用于高精密比相计等激光干涉仪信号处理装置。 展开更多
关键词 光电子学 双频激光干涉仪 光电信号探测器 低噪声 增益可调
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高测速双纵模双频激光干涉仪系统的研究 被引量：3
9
作者 吴燕华 董璐 张涛 《工具技术》 2010年第7期97-100,共4页
以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干... 以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干涉仪系统光路框图和信号处理框图,并给出了振荡器频率选择的基本公式。所研制系统纵模间隔约728MHz,计数器选用最大允许计数频率10MHz的82c54,振荡器为频率为723MHz的JE0723型介质振荡器。在3m激光测长机上的实验证实:系统分辨率为0.32μm时,最大允许测量速度可达1300mm/s,能满足各种高速运动设备的检测及标定需求。 展开更多
关键词 高测速 双纵模 双频激光干涉仪 振荡器 计数频率
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双频激光干涉在数控机床定位误差补偿系统中的应用 被引量：7
10
作者 钟伟弘 田美丽 《机床与液压》 北大核心 2003年第3期103-104,共2页
本文阐述了双频激光干涉仪的测量原理、精度和测量方法 ,并在计算机控制的误差补偿系统中 ,应用双频激光干涉仪对数控机床的定位误差进行补偿 ,实验结果表明
关键词 双频激光干涉仪 数控机床 定位误差 误差补偿
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双频激光干涉仪的原理与应用（一） 被引量：13
11
作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 1996年第4期44-46,共3页
双频激光干涉仪的原理与应用（一）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统．大大提高了抗干扰能力... 双频激光干涉仪的原理与应用（一）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统．大大提高了抗干扰能力，特别适合现场条件下使用。仪器与不... 展开更多
关键词 干涉仪 双频激光干涉仪
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基于双频激光干涉仪的重型数控机床定位精度测量 被引量：2
12
作者 王胜 何强 +1 位作者 卫江 李莎 《机械制造与自动化》 2013年第2期83-84,共2页
采用激光干涉仪对重型数控机床纵向上两段位置定位精度进行测量,得到目标位置点的定位精度和重复定位精度,并对试验值进行了分析,为探索利用虚拟检测方法得到全程精度值打下一定的基础。
关键词 双频激光干涉仪 重型数控车床 定位精度 测量
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双频激光干涉仪的原理与应用（二） 被引量：4
13
作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 1996年第5期43-45,共3页
双频激光干涉仪的原理与应用（二）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途，与传统的检测方法相比，具有以下特点：①可检测项目多。双频激光干涉仪与不... 双频激光干涉仪的原理与应用（二）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途，与传统的检测方法相比，具有以下特点：①可检测项目多。双频激光干涉仪与不同的附件组合，可测量距离、直线度、... 展开更多
关键词 干涉仪 双频激光干涉仪
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双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践 被引量：3
14
作者 吴世俊 樊洁 +1 位作者 黄志阳 郝翔 《计量与测试技术》 2016年第11期30-31,共2页
本文针对双频激光干涉仪在进行各种机床、风洞运动机构等竖直轴位置精度校准时,光路调整复杂,工作效率较低,测量精度难以保证等问题,在充分分析了光路调整工作原理的基础上,设计加工了一种竖直轴专用光路调整台,并成功应用于实践,缩短... 本文针对双频激光干涉仪在进行各种机床、风洞运动机构等竖直轴位置精度校准时,光路调整复杂,工作效率较低,测量精度难以保证等问题,在充分分析了光路调整工作原理的基础上,设计加工了一种竖直轴专用光路调整台,并成功应用于实践,缩短了光路调整时间,极大提高了工作效率。 展开更多
关键词 双频激光干涉仪 校准 光路 调整
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丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿 被引量：4
15
作者 齐向东 滕丽华 于海利 《中国光学与应用光学》 2010年第3期279-284,共6页
提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构,推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计算式,实现了丝杠测试过程中阿贝误差的实时修正,通过修正使不满足阿贝原则的测量系统获得了较高的测量精度。另外该方法还通过调... 提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构,推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计算式,实现了丝杠测试过程中阿贝误差的实时修正,通过修正使不满足阿贝原则的测量系统获得了较高的测量精度。另外该方法还通过调整参考镜角锥棱镜消除了测量过程中丝杠轴向窜动引起的测量误差。实验结果表明,采用提出的方法在300 mm的丝杠行程内修正的最大阿贝误差为1.39μm,补偿后最大残差仅为0.48μm,有效地提高了丝杠测量精度。 展开更多
关键词 光栅刻划机 丝杠 双频激光干涉仪 阿贝误差
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双频激光干涉仪的原理与应用（四） 被引量：2
16
作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 1996年第7期41-45,共5页
双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一... 双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装... 展开更多
关键词 干涉仪 双频激光干涉仪
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双频激光干涉仪中的数字相位计设计 被引量：2
17
作者 胡玲 潘征宇 +1 位作者 洪扁 赵栋 《光学仪器》 2014年第3期258-262,278,共6页
基于Altera公司FPGA芯片,提出了一种基于双频激光干涉仪系统中数字相位计的实现方法。该相位计用于测量系统中被测信号和参考信号之间的相位差角度,间接测量激光干涉仪的光程差信息。被测信号经过光电接收器以及A/D模数转换成数字信号送... 基于Altera公司FPGA芯片,提出了一种基于双频激光干涉仪系统中数字相位计的实现方法。该相位计用于测量系统中被测信号和参考信号之间的相位差角度,间接测量激光干涉仪的光程差信息。被测信号经过光电接收器以及A/D模数转换成数字信号送到FPGA芯片中,与FPGA内建的查找表参考信号做正交相关法解调运算,得到一组X-Y值,再利用CORDIC算法计算arctan函数获取相位差,最后计算出干涉仪的光程差,算法的全过程使用FPGA硬件实现。实验结果表明,该相位计使双频激光干涉仪的相位差测量精度在0.01°以内。 展开更多
关键词 数字相位计 双频激光干涉仪 FPGA CORDIC算法
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基于双频激光干涉原理的大尺寸直径测量的研究 被引量：4
18
作者 樊凤杰 孟宗 《计量技术》 2008年第2期37-39,共3页
提出了一种基于双频激光干涉原理的大尺寸直径测量的新方法,采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位固定在被测工件直径两端点上的光电接收器,同时使用双频激光干涉仪测量两个光电接收器中心间的距离,通过几何计算得到被测直径尺寸... 提出了一种基于双频激光干涉原理的大尺寸直径测量的新方法,采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位固定在被测工件直径两端点上的光电接收器,同时使用双频激光干涉仪测量两个光电接收器中心间的距离,通过几何计算得到被测直径尺寸。实验表明,该方法有较高的测量准确度,测量系统的相对误差小于5×10-6。 展开更多
关键词 直径测量 双频激光干涉仪 激光准直仪 瞄准定位
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双频激光干涉仪在天文望远镜测试中的应用 被引量：1
19
作者 马品仲 《工具技术》 北大核心 1994年第11期38-41,共4页
本文介绍了双频激光干涉仪的特性及其在天文望远镜测试中的应用。
关键词 双频激光干涉仪 天文望远镜 测试
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发挥双频激光干涉仪功能开出高质量的实验 被引量：1
20
作者 汪洁 《实验室研究与探索》 CAS 2005年第10期79-80,共2页
双频激光干涉仪是现代精密测量中最精密的测量仪器之一。文章介绍了双频激光干涉仪的实验内容和方法,以及在实验教学中激发学生兴趣和求知欲,提高学生综合能力的实践经验。
关键词 双频激光干涉仪 实验教学
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