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可变包含角单色器的双轴平行度误差分析和测试 被引量：1
1
作者 余小江 王秋平 +1 位作者 陈锵 徐彭寿 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期416-419,共4页
估算了可变包含角单色器的两个旋转轴之间的不平行度对波长的调整精度和分辨率的影响,以及采用平行光管测量两个旋转轴的不平行度大小和调整的方法。
关键词 变包含角单色器 误差分析 平行光管 平行度测量
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变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测 被引量：15
2
作者 卢启鹏 马磊 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1548-1553,共6页
针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先,介绍了... 针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先,介绍了单色器波长扫描原理,给出角度与波长的关系;接着,理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系;最后,介绍了该方法的检测原理、装置及检测步骤。利用该方法完成了VAPGM平面镜(PM)和平面光栅(PG)转角精度的检测,结果分别为0.19″,0.22″,满足单色器技术指标要求。在电离室在线检测了标定后的单色器系统的分辨率,测试结果好于10000,进一步验证了该检测方法的有效性。 展开更多
关键词 同步辐射 变包含角单色器 波长扫描机构 转角精度 多角棱镜
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变包含角平面光栅单色器光斑横移分析 被引量：1
3
作者 吴坤 薛松 +3 位作者 卢启鹏 彭忠琦 陈家华 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期321-325,共5页
介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要... 介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要求完成单色器结构设计、加工、组装,对单色器出射光斑横向角漂移重复精度进行了测试,结果为0.7″。 展开更多
关键词 变包含角平面光栅单色器 光斑漂移 ANSYS 数值模拟
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前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响 被引量：1
4
作者 宋源 卢启鹏 +1 位作者 彭忠琦 龚学鹏 《中国光学》 EI CAS 2014年第1期105-111,共7页
针对变包含角平面光栅单色器前置平面镜(PM)受热负载而导致的单色器分辨率降低问题,提出优化聚焦常数(C ff)补偿分辨率的方法。首先,计算不同C ff值时PM的热功率吸收谱,在此基础上对镜面热负载进行热-结构耦合分析,得到不同热负载时PM... 针对变包含角平面光栅单色器前置平面镜(PM)受热负载而导致的单色器分辨率降低问题,提出优化聚焦常数(C ff)补偿分辨率的方法。首先,计算不同C ff值时PM的热功率吸收谱,在此基础上对镜面热负载进行热-结构耦合分析,得到不同热负载时PM表面热变形的变化量;然后,结合理想分辨率公式和光线追迹软件求出加热负载的单色器分辨率;最后,优化C ff实现分辨率的补偿。研究结果表明,以软X射线谱学显微光束线站为例,当出射光能量为1 000 eV时,将C ff由1.8优化至1.84,单色器分辨率即可与无热负载时的相同,该优化方法可有效补偿单色器分辨率的降低。 展开更多
关键词 变包含角平面光栅单色器 热负载 聚焦常数 分辨率 斜率误差
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变包含角平面光栅单色器及其关键技术 被引量：3
5
作者 陈家华 薛松 +5 位作者 卢启鹏 彭忠琦 邰仁忠 王勇 陈明 吴坤 《中国科学：物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2011年第1期6-11,共6页
分析设计并研制了上海光源软X射线谱学显微光束线站的变包含角平面光栅单色器,经过精密加工调试,保证了扫描系统的转角重复精度;采用多孔腔内部通道水冷方法,控制了镜子表面热变形;完成真空箱体大尺寸方法兰加工与密封,达到了单色器工... 分析设计并研制了上海光源软X射线谱学显微光束线站的变包含角平面光栅单色器,经过精密加工调试,保证了扫描系统的转角重复精度;采用多孔腔内部通道水冷方法,控制了镜子表面热变形;完成真空箱体大尺寸方法兰加工与密封,达到了单色器工作所需的超高真空.通过上述关键部件的精确掌控,确保了单色器主要性能——光子能量范围、能量分辨率和能量重复性,均优于设计指标. 展开更多
关键词 同步辐射 变包含角平面光栅单色器 关键技术
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变包含角平面光栅单色器的性能检测 被引量：2
6
作者 马磊 卢启鹏 彭忠琦 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期589-592,共4页
针对高分辨变包含角平面光栅单色器(VAPGM)工作在超高真空环境下需具有极高的精度,本文基于自准直法,研究了VAPGM波长扫描机构转角精度、光斑水平漂移重复精度以及光栅切换机构重复精度的检测方法。利用该方法完成了VAPGM的离线检测,其... 针对高分辨变包含角平面光栅单色器(VAPGM)工作在超高真空环境下需具有极高的精度,本文基于自准直法,研究了VAPGM波长扫描机构转角精度、光斑水平漂移重复精度以及光栅切换机构重复精度的检测方法。利用该方法完成了VAPGM的离线检测,其中,波长扫描机构平面镜(PM)和平面光栅(PG)的转角精度检测结果分别为0.19″、0.22″,满足设计指标0.43″。并且,光斑水平漂移重复精度以及光栅切换机构重复精度的检测结果也均达到了理论设计指标,表明了检测方法的有效性。 展开更多
关键词 同步辐射 变包含角平面光栅单色器(VAPGM) 转角精度 光斑水平漂移 光栅切换
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