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题名基于MEMS开关的可调实时延时器设计
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作者
史泽民
高旭东
吴倩楠
李孟委
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机构
中北大学仪器与电子学院
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出处
《微电子学》
CAS
北大核心
2023年第1期128-133,共6页
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基金
装备发展部新品资助项目(2019NW0010)
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文摘
为了有效解决相控阵雷达/天线瞬时带宽小、孔径效应严重、功耗大等问题,将射频MEMS开关引入实时可调延时器结构中,设计了一种基于射频MEMS开关的实时可调延时器。通过MEMS双掷开关选择具有不同电长度的延时路径,在DC~20 GHz内实现了5位的射频信号延时。利用HFSS三维电磁仿真软件对延时单元的几何参数进行仿真优化,得到5个可切换延时状态的延时量,分别为64.76 ps,101.46 ps,137.97 ps,174.61 ps,210.98 ps,延时步进为36.5 ps,整体面积约为5 mm^(2)。与其他实时可调延时器相比,该实时可调延时器具有多可控位数、大延时带宽积、高集成度等优点。
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关键词
微机电系统开关
可调实时延时器
实时延时线
群时延
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Keywords
MEMS switch
adjustable true-time delayer
true-time delay line
group delay
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分类号
TN389
[电子电信—物理电子学]
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