提升探针式台阶仪计量性能的研究与应用 被引量：1

1

作者 朱小平 王蔚晨 +1 位作者 杜华 高思田 《计量技术》 2007年第3期39-41,共3页

以传统机械扫描式台阶仪的测量原理及结构特点为基础,分析此类台阶仪影响计量性能的主要原因,提出提升台阶仪计量性能的有效方法,通过实际应用和比对测试,验证该方法的正确性和实用性。

关键词 轮廓曲线 台阶仪 台阶高度

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一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法 被引量：1

2

作者 胡维 张大成 贺学锋 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期424-427,共4页

在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算... 在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算出弹性模量.采用低压化学气相淀积方法制备多晶硅双支梁.应用该方法测量得到多晶硅的弹性模量值为163GPa,残余应力为20.8MPa. 展开更多

关键词 MEMS 弹性模量 双支梁 台阶仪 TN407

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微压力接触式台阶仪测量误差校正技术研究

3

作者 袁会敬 宋忠华 秦旭磊 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2012年第4期53-55,共3页

微压力接触式台阶仪是一种二维形貌检测仪,针对汽车金属缸垫等薄片型金属板冲压零件的表面尺寸测量研制而成。本文从工作原理出发,分析了影响系统精度的三个原因:测量臂旋转误差,光学系统畸变,工件倾斜影响。通过软件校正和参数补偿,提... 微压力接触式台阶仪是一种二维形貌检测仪,针对汽车金属缸垫等薄片型金属板冲压零件的表面尺寸测量研制而成。本文从工作原理出发,分析了影响系统精度的三个原因:测量臂旋转误差,光学系统畸变,工件倾斜影响。通过软件校正和参数补偿,提高了系统测量精度。实际测试证明,误差校正能够提高仪器测试精度,仪器最小分辨率能达到2μm,测量重复精度达到了5μm。 展开更多

关键词 台阶仪 光学畸变 误差校正 重复精度

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台阶仪法测量纳米薄膜厚度方法研究

4

作者 申俊华 高一鸣 许娟 《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2021年第8期0222-0223,共2页

纳米薄膜是一种新型的材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好发展前景。膜厚的精确测量至观重要,本文使用台阶仪对纳米薄膜厚度的测量方法进行研究。

关键词 纳米薄膜 台阶仪 厚度

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接触式台阶测量仪常见故障的调修 被引量：2

5

作者 韩志国 李锁印 +1 位作者 赵革艳 赵新宇 《电子工业专用设备》 2015年第11期43-46,共4页

介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进... 介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进行了应用,效果良好,希望能为该类仪器的操作人员和仪器维修人员提供借鉴。 展开更多

关键词 接触式台阶测量仪 软故障 探针 测力

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LSI 薄膜台阶测量仪的研制

6

作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期268-273,共6页

本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满... 本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。 展开更多

关键词 台阶测量仪 触针 片簧支承 模糊控制 薄膜台阶

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TY—1型台阶测量仪

7

作者 薛实福 李庆祥 《LSI制造与测试》 1996年第6期37-39,42,共4页

关键词 台阶测量仪 集成电路 LSI VLSI

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台阶仪

8

作者 孙洪强 徐宇新（审核） 《导航与控制》 2005年第4期46-47,共2页

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针... 台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来， 展开更多

关键词 台阶仪 表面形貌 调幅信号 位移信号 测量仪器 测量原理 上下运动 表面轮廓 运动情况 测量电桥

原文传递

基于LVDT的台阶信号拾取方法研究

9

作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 于水 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第7期37-38,46,共3页

大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点... 大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点残余电压的影响 ,并消除测量机构本身固有的二次项误差 ,提高了仪器的测量精度。实验表明 ,该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ,重复测量精度为± 0 0 1 5 μm . 展开更多

关键词 台阶测量仪 集成电路 LVDT传感器 信号拾取方法

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智能化的微细台阶测量系统

10

作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期389-390,共2页

智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大... 智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、... 展开更多

关键词 微细台阶 智能化 测量系统 测量原理 台阶测量仪 工作台 测量精度 测量软件 半导体生产工艺 触针

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微细台阶测量中的非线性误差及消除

11

作者 王云庆 李庆样 周兆英 《机电工程》 CAS 1996年第1期29-30,共2页

为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表... 为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表面的真实反映。 展开更多

关键词 非线性误差 台阶测量仪

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Cr薄膜的沉积与湿法刻蚀工艺研究 被引量：9

12

作者 李兆泽 徐超 +2 位作者 吴学忠 万红 李圣怡 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1437-1440,共4页

通过台阶仪和扫描电镜、原子力显微镜测试观察了PVD方法制作Cr薄膜的溅射速率和表面形貌,实验分析了相关工艺参数对溅射速率的影响情况,并对薄膜的湿法刻蚀工艺进行了初步研究.同时给出了Cr膜与其腐蚀后的电阻图形的显微镜照片.

关键词 PVD 薄膜 湿法刻蚀 台阶仪 扫描电镜 原子力显微镜

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纳米厚度非透明介质薄膜的测量 被引量：2

13

作者 缪建伟 崔明启 +1 位作者 唐鄂生 修立松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第1期21-25,共5页

本文叙述了用椭偏仪多次入射选择最佳法测量纳米厚度非透明薄膜原理及方法，给出了由此方法测量得到的数据和用迭代法（下降法）计算得到的膜厚结果，并与台阶仪测试结果进行了比较。

关键词 椭偏仪 台阶仪 纳米厚度 介质薄膜

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PECVD氮化硅薄膜制备工艺研究 被引量：3

14

作者 李伟东 吴学忠 李圣怡 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期396-398,共3页

通过原子力显微镜和台阶仪观察测试PECVD氮化硅薄膜的表面形貌及其在HF缓冲液中的被腐蚀速率,研究了用SiH4和NH3作反应气体时,影响PECVD氮化硅薄膜均匀性、致密性、淀积速率、被腐蚀速率的几个关键因素,并对一些常用的工艺参数进行了总结.

关键词 氮化硅 薄膜 等离子体增强化学气相淀积(PECVD) 原子力显微镜(AFM) 台阶仪

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接触式台阶测量仪弹性支承机构的仿真设计

15

作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 王云庆 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第8期18-20,共3页

为合理设计接触式台阶测量仪 ,建立了它的简化数学模型 ,经理论计算 ,结果与理论值有较大误差。通过有限元分析软件、采用 8节点 6面体单元计算模型对机构进行数字仿真和分析。触针允许最大测量力为 8.2 6 7N,测量力变化率为 33.8N /m ... 为合理设计接触式台阶测量仪 ,建立了它的简化数学模型 ,经理论计算 ,结果与理论值有较大误差。通过有限元分析软件、采用 8节点 6面体单元计算模型对机构进行数字仿真和分析。触针允许最大测量力为 8.2 6 7N,测量力变化率为 33.8N /m ,片簧回转中心偏移量约为 1μm 。 展开更多

关键词 台阶仪 接触测量 弹性支承

原文传递

用热壁外延法在CaAs(100)上生长ZnSe薄膜

16

作者 王杰 劳浦东 +2 位作者 王迅 沈孝良 姚文华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第4期240-244,共5页

用封闭和开口两种热壁外延法在GaAs(100)衬底上生长ZnSe薄膜。着重讨论了这两种方法对所生长薄膜质量的影响。α台阶仪的测量、X-射线衍射结果和Raman光谱的分析等一致表明,当实验偏离严格热壁外延技术时,所长薄膜的质量明显下降。在源... 用封闭和开口两种热壁外延法在GaAs(100)衬底上生长ZnSe薄膜。着重讨论了这两种方法对所生长薄膜质量的影响。α台阶仪的测量、X-射线衍射结果和Raman光谱的分析等一致表明,当实验偏离严格热壁外延技术时,所长薄膜的质量明显下降。在源温Tso=700℃、壁温Tw=550℃、衬底温度Tsu=320℃时,用封闭(严格)的热壁外延法成功地长出质量较佳的ZnSe(100)单晶薄膜。XPS测量分析表明此单晶薄膜中Zn和Se的成分比为1:1。 展开更多

关键词 热壁外延 ZnSe薄膜 CaAs 薄膜晶体 衬底温度 薄膜质量 台阶仪 热蒸发 成分比 外延生长过程

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十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验 被引量：1

17

作者 于水 白立芬 +1 位作者 李庆祥 王云庆 《实验技术与管理》 CAS 2000年第1期19-21,共3页

台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活... 台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。 展开更多

关键词 十字片簧 弹性支承 测量机构 台阶测量仪

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十字片簧弹性支承机构的设计

18

作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 于水 薛实福 《机械设计》 CSCD 北大核心 2001年第3期18-19,30,共3页

首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采... 首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采用Algor有限元软件分别对变截面片簧进行仿真实验 ,最大、最小应力之比由直片簧的 3 1.4降低为7.7,扭转刚度为 0 .0 6N·m ,测量力变化率为 3 6.6N/m 。 展开更多

关键词 台阶测量仪 弹性支承 有限元 集成电路 十字片簧

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