期刊文献+
共找到54篇文章
< 1 2 3 >
每页显示 20 50 100
穿甲弹斜侵彻钛合金靶板试验与数值模拟研究
1
作者 李钊 孙旭光 周中锋 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2023年第23期159-166,共8页
为研究穿甲弹斜侵彻钛合金靶板的极限跳飞角度及相关影响因素。开展了7.62 mm穿甲燃烧弹的弹道冲击试验,获取了弹体斜侵彻不同厚度、不同倾斜角度钛合金靶体的极限跳飞角度;同时利用有限元软件LS-DYNA对穿甲弹斜侵彻钛合金靶体进行数值... 为研究穿甲弹斜侵彻钛合金靶板的极限跳飞角度及相关影响因素。开展了7.62 mm穿甲燃烧弹的弹道冲击试验,获取了弹体斜侵彻不同厚度、不同倾斜角度钛合金靶体的极限跳飞角度;同时利用有限元软件LS-DYNA对穿甲弹斜侵彻钛合金靶体进行数值模拟仿真,并与试验数据对比验证模型的有效性;随后讨论了靶板倾角与靶体厚度等因素对弹道性能的影响规律。结果表明:靶板倾角的增大有效降低了穿甲弹的穿甲能力,弹体贯穿后的剩余速度及姿态变化角随靶板倾角的增加而分别呈现非线性下降与上升的趋势;钛合金靶板的极限跳飞角度对靶板厚度敏感,极限跳飞角度随靶板厚度的增加而非线性下降。 展开更多
关键词 爆炸力学 斜侵彻 合金靶 数值仿真
下载PDF
惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材研究 被引量:15
2
作者 王赞海 王星明 +3 位作者 储茂友 郭奋 赵鑫 沈剑韵 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期688-691,共4页
用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250~1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti... 用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250~1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材. 展开更多
关键词 溅射 W/Ti合金靶 扩散阻挡层 热压
下载PDF
铝铜合金靶材的微观结构对溅射沉积性能的影响 被引量:8
3
作者 李洪宾 江轩 王欣平 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期442-445,共4页
磁控溅射中高沉积速率有利于获得高纯度薄膜,节省镀膜时间;高沉积效率的靶材可制备出更多数目的晶圆。通过建立平面靶的溅射模型研究了Al-Cu合金靶的晶粒取向和晶粒尺寸对溅射速率、沉积速率和沉积效率的影响。实验结果显示,溅射速率与... 磁控溅射中高沉积速率有利于获得高纯度薄膜,节省镀膜时间;高沉积效率的靶材可制备出更多数目的晶圆。通过建立平面靶的溅射模型研究了Al-Cu合金靶的晶粒取向和晶粒尺寸对溅射速率、沉积速率和沉积效率的影响。实验结果显示,溅射速率与靶材的原子密排度成正比关系,靶材的原子密排度受晶粒取向和晶粒尺寸的影响,有特定的变化范围,因此溅射速率也只在一个范围内变化。沉积速率和沉积效率受靶材表面空间内原子密排方向分布的影响,原子密排方向分布则由靶材的晶粒取向和晶粒尺寸决定。 展开更多
关键词 铝铜合金靶 微观结构 沉积速率 沉积效率
下载PDF
弹丸侵彻铝合金靶过程中炸药的动态响应 被引量:5
4
作者 乔相信 于锋 李广 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期31-35,共5页
为研究弹丸侵彻硬质目标时装药的应力变化规律,运用LS-DYNA动力分析软件对弹丸侵彻铝合金靶过程中装药的压力变化及塑性变形情况进行了数值计算。分析了观测点的压力变化及单元变形情况。结果表明,在侵彻过程中,装药头部主要受到高强度... 为研究弹丸侵彻硬质目标时装药的应力变化规律,运用LS-DYNA动力分析软件对弹丸侵彻铝合金靶过程中装药的压力变化及塑性变形情况进行了数值计算。分析了观测点的压力变化及单元变形情况。结果表明,在侵彻过程中,装药头部主要受到高强度压缩作用而引起塑性变形并发生点火。随着弹丸速度的提高,尾部装药由拉伸、压缩载荷交替作用逐渐过渡到拉伸载荷起主要作用,且其边缘部分主要受到剪切载荷破坏,导致装药受损;而装药中部受力较低,损伤较轻。试验结果验证了计算的合理性。 展开更多
关键词 爆炸力学 弹丸 侵彻 装药 合金靶 动态响应 数值计算
下载PDF
半导体工业用镍铂合金靶材的制备及结构研究 被引量:4
5
作者 王一晴 闻明 +1 位作者 郭俊梅 管伟明 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期27-31,共5页
采用熔炼、均匀化退火处理及温轧技术制备出NiPt合金靶材。采用金相、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段对NiPt合金在制备过程中的结构变化进行了研究。同时也研究了靶材结构与靶材溅射后表面形貌之间的关联性。研究表明,均匀化处理... 采用熔炼、均匀化退火处理及温轧技术制备出NiPt合金靶材。采用金相、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段对NiPt合金在制备过程中的结构变化进行了研究。同时也研究了靶材结构与靶材溅射后表面形貌之间的关联性。研究表明,均匀化处理对NiPt合金获得择优取向具有明显影响,合金经过铸造、均匀化、轧制等工艺,其硬度分别为292、218、439,可分别形成(200)织构、(311)织构、(200)+(220)织构。靶材微观结构与溅射后表面形貌均匀性具有关联性。 展开更多
关键词 金属材料 NiPt合金靶 均匀化退火 轧制 择优取向 磁控溅射
下载PDF
中子辐照后~6Li-Al合金靶片中氚的测量方法研究 被引量:2
6
作者 程贵钧 曹小华 +4 位作者 杨本福 龙兴贵 张祖华 颜登云 王维笃 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2004年第1期25-28,共4页
建立了流气式系统捕集和化学转移法测量6Li Al合金靶片在中子辐照过程中的渗漏氚和辐照后靶片中总氚量的方法。渗漏氚的捕集方法是:在流气式系统中,用含少量氢的惰性载气将渗漏氚载带出来,经高温催化氧化后被乙二醇鼓泡器捕集;靶片中的... 建立了流气式系统捕集和化学转移法测量6Li Al合金靶片在中子辐照过程中的渗漏氚和辐照后靶片中总氚量的方法。渗漏氚的捕集方法是:在流气式系统中,用含少量氢的惰性载气将渗漏氚载带出来,经高温催化氧化后被乙二醇鼓泡器捕集;靶片中的氚转移法是用NaOH溶液将合金靶片溶解,气相中的氚采用渗漏氚的捕集方法捕集,液相中的氚则蒸馏到馏分中。最后用液体闪烁计数器分别测量乙二醇鼓泡器和馏分中的氚量。测量结果与理论氚产量基本相符。 展开更多
关键词 中子辐照 ^6Li—Al合金靶 化学转移法 流气式系统 液体闪烁计数器
下载PDF
三元合金靶择优溅射稳定态的表面化学成分 被引量:2
7
作者 张竹林 张莱 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期242-245,共4页
基于多元素靶溅射的Andersen-Sigmund关系式,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比,就可以很容易地计算出... 基于多元素靶溅射的Andersen-Sigmund关系式,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比,就可以很容易地计算出三元合金靶稳定态表面化学成分,至少对于用2keV氩离子轰击的Ag-Pd-Au三元合金靶系来说,其计算结果都与实验值一致。所分析的实验数据是在常温下取得的,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析,其结论很可能是多元合金靶溅射的一般规律。此外,由Galdikas等最近所提出的所谓择优溅射中的“基体效应”理论是无实验依据的。 展开更多
关键词 三元合金靶 择优溅射 表面结合能 Andersen-Sigmund关系式 离子溅射 稳定态 表面化学成分
下载PDF
热处理对射频反应性溅射Cd-Sn合金靶沉积的Cd_2SnO_4薄膜电学和光学性质的影响
8
作者 彭栋梁 蒋生蕊 王万录 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期289-294,共6页
射频反应性溅射Cd-Sn合金靶沉积的Cd_2SnO_4(简称CTO)薄膜是n型缺陷简并半导体,并以氧空位作为施主态,载流子浓度高达4.46×10^(26)m^(-3)。从热处理前后CTO膜的透射谱中观察到明显的Burstein移动。光致发光谱的测量表明,晶态CTO膜... 射频反应性溅射Cd-Sn合金靶沉积的Cd_2SnO_4(简称CTO)薄膜是n型缺陷简并半导体,并以氧空位作为施主态,载流子浓度高达4.46×10^(26)m^(-3)。从热处理前后CTO膜的透射谱中观察到明显的Burstein移动。光致发光谱的测量表明,晶态CTO膜的本征跃迁能隙约为2.156eV,并由CTO膜的电学和光学测量数据计算出热处理前后的光隙能E_(opt)为2.35eV—2.64eV和传导电子的有效质量m_e~*为0.22m_e—0.5m_e。 展开更多
关键词 Cd-Sn合金靶 热处理 薄膜 电学
下载PDF
合金靶片辐照性能初探
9
作者 陈炜 兰长春 杨锐 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期563-566,共4页
为评估靶片制造工艺的可行性,将一些靶片放入反应堆中进行辐照考验。通过对靶片辐照前后性能,诸如外观、尺寸等的检测,初步确认,目前的靶片制作工艺可保证包壳层和芯体层结合良好,辐照不会对放射性气体的包容和靶片的操作产生不利影响。
关键词 合金靶 堆内辐照 性能变化
下载PDF
微观组织对Ti6321钛合金靶板爆炸断裂失效的影响 被引量:2
10
作者 宁子轩 王琳 +5 位作者 程兴旺 程焕武 周哲 张斌斌 王芳 陈东萍 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期1506-1515,共10页
通过不同热处理工艺获得不同组织的Ti6321钛合金靶板,研究微观组织对Ti6321钛合金靶板在爆炸加载过程中变形和断裂行为的影响。结合光学显微镜和扫描电子显微镜,对爆炸回收后的靶板进行微观断口和失效分析。结果表明:等轴组织靶板具有... 通过不同热处理工艺获得不同组织的Ti6321钛合金靶板,研究微观组织对Ti6321钛合金靶板在爆炸加载过程中变形和断裂行为的影响。结合光学显微镜和扫描电子显微镜,对爆炸回收后的靶板进行微观断口和失效分析。结果表明:等轴组织靶板具有较高的抗变形能力,魏氏组织靶板具有较高的抗层裂破坏能力和较低的厚度减薄率,断裂模式包括塑性变形及中心颈缩环、沿颈缩环部分断裂、沿颈缩环全部断裂和中心完全撕裂;在200 g TNT爆炸加载下,双态组织靶板发生拉伸和剪切断裂;在300 g TNT爆炸加载下,等轴组织靶板发生拉伸、剪切断裂和层裂,双态组织靶板发生剪切断裂和层裂,断口均为韧性断裂;魏氏组织靶板在两种TNT药量加载下均产生剪切断裂,断口为韧性和脆性的混合型断裂,靶板的层裂和剪切断裂均为绝热剪切失效。 展开更多
关键词 Ti6321钛合金靶 微观组织 爆炸 变形 断裂行为
下载PDF
尖头刚性钨弹贯穿铝合金靶的数值模拟分析 被引量:2
11
作者 许瑞淮 聂国华 黄志强 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第S1期140-143,共4页
对具有圆锥形头部的刚性杆式钨弹侵彻和贯穿薄铝靶板进行了有限元数值模拟分析。弹和靶采用两种尺寸:第一种尺寸与实验的弹和靶尺寸相同;第二种尺寸考虑了弹头部锥角的微小变化对其贯穿靶的影响。同时,计及了弹和靶之间的摩擦效应。通... 对具有圆锥形头部的刚性杆式钨弹侵彻和贯穿薄铝靶板进行了有限元数值模拟分析。弹和靶采用两种尺寸:第一种尺寸与实验的弹和靶尺寸相同;第二种尺寸考虑了弹头部锥角的微小变化对其贯穿靶的影响。同时,计及了弹和靶之间的摩擦效应。通过数值模拟,获得了弹体贯穿靶后剩余速度、弹的速度时程曲线和弹头部锥角的变化对其贯穿靶威力的影响。计算结果表明,在同样条件下,弹贯穿靶后剩余速度与已有的结果相吻合,说明本文计算模型是有效和精确的。弹和靶之间的摩擦将降低弹的剩余速度。并且,弹的锥角变小,其侵彻、贯穿靶的威力将有所提高。 展开更多
关键词 锥形头部刚性弹 贯穿 合金靶 摩擦系数 剩余速度 数值模拟
下载PDF
磁控溅射用W-Ti合金靶材的研究进展 被引量:1
12
作者 杨亚飞 姚草根 +2 位作者 吕宏军 李启军 崔子振 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期10-16,共7页
W-Ti合金靶材可作为原材料,通过磁控溅射技术,制备W-Ti、W-Ti-N、W-Ti-O等功能薄膜,应用于集成电路、薄膜太阳能电池等领域。本文介绍了W-Ti合金靶材的性能指标、各种制备技术和应用领域,提出高纯度、全致密、少富Ti相、小粒径、大尺寸... W-Ti合金靶材可作为原材料,通过磁控溅射技术,制备W-Ti、W-Ti-N、W-Ti-O等功能薄膜,应用于集成电路、薄膜太阳能电池等领域。本文介绍了W-Ti合金靶材的性能指标、各种制备技术和应用领域,提出高纯度、全致密、少富Ti相、小粒径、大尺寸、低成本是W-Ti合金靶材的重要方向。 展开更多
关键词 W-Ti合金靶 集成电路 致密度
下载PDF
刚性卵形弹丸对半无限厚铝合金靶的穿深方程 被引量:2
13
作者 马铭辉 王晓东 +3 位作者 蒋招绣 余毅磊 李烨 高光发 《弹道学报》 CSCD 北大核心 2021年第2期85-90,共6页
基于圆柱形空腔膨胀模型,将靶板变形所做的塑性功等效为刚性弹在整个侵彻过程所消耗的动能,对用于计算刚性卵形弹侵彻半无限厚铝合金靶板的侵深公式进行了推导。利用MTS万能试验机对2A12T4、6061T6、7075T6共3种铝合金材料进行了室温下... 基于圆柱形空腔膨胀模型,将靶板变形所做的塑性功等效为刚性弹在整个侵彻过程所消耗的动能,对用于计算刚性卵形弹侵彻半无限厚铝合金靶板的侵深公式进行了推导。利用MTS万能试验机对2A12T4、6061T6、7075T6共3种铝合金材料进行了室温下的静态力学性能实验,得到了它们的真实应力-应变曲线,并将各参数代入侵深方程进行计算。通过12.7 mm穿燃弹侵彻3种铝合金靶板的末端弹道试验,得到了不同速度下3种铝合金靶板的侵彻深度,并与理论结果进行了对比验证。结果表明:该理论模型与试验结果吻合良好,推导得到的穿深方程较为可靠。同时,靶板材料的应力-应变数据的可靠性对模型预测的准确性有较大的影响。 展开更多
关键词 合金靶 刚性弹 侵彻 穿深方程 空腔膨胀
下载PDF
不同Al含量的Ti/Al合金靶对磁控溅射离子镀TiAlN薄膜力学性能的影响 被引量:1
14
作者 程玺儒 赵广彬 《西华大学学报(自然科学版)》 CAS 2017年第5期97-101,共5页
采用不同Al含量的Ti/Al合金靶材在硬质合金刀具上沉积TiAlN薄膜,研究靶材中不同的Al含量对TiAlN薄膜表面粗糙度、硬度以及膜基结合力等性能的影响,通过显微硬度仪、划痕仪、金相显微镜和XRD等仪器分别对薄膜的硬度、结合力、组织结构等... 采用不同Al含量的Ti/Al合金靶材在硬质合金刀具上沉积TiAlN薄膜,研究靶材中不同的Al含量对TiAlN薄膜表面粗糙度、硬度以及膜基结合力等性能的影响,通过显微硬度仪、划痕仪、金相显微镜和XRD等仪器分别对薄膜的硬度、结合力、组织结构等主要性能进行测试分析。实验结果表明:随着Ti/Al合金靶中Al含量的增加,TiAlN薄膜的硬度先增加后减小,膜基结合力逐渐增加;当Al在Ti/Al合金靶材中所占的比值为2:3时,TiAlN薄膜的硬度、耐磨性等综合力学性能最佳。 展开更多
关键词 Ti/Al合金靶JAIN薄膜 磁控溅射离子镀 力学性能
下载PDF
大规模集成电路用高纯铜及铜合金靶材研究与应用现状 被引量:9
15
作者 高岩 贺昕 刘晓 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第A02期111-113,121,共4页
随着大规模集成电路制程向高密集度的方向发展,器件的特征尺寸不断缩小,集成度越来越高。在90nm后随着布线的宽度变窄,高纯铜及铜合金靶材的应用成为一个研究热点。本文通过多个专利及相关文献的检索,总结了高纯铜及铜合金靶材的分类,... 随着大规模集成电路制程向高密集度的方向发展,器件的特征尺寸不断缩小,集成度越来越高。在90nm后随着布线的宽度变窄,高纯铜及铜合金靶材的应用成为一个研究热点。本文通过多个专利及相关文献的检索,总结了高纯铜及铜合金靶材的分类,分析了高纯铜的纯度、合金元素的种类以及分布对高纯铜靶材溅射性能的影响,展望了今后大规模集成电路靶材的发展趋势。 展开更多
关键词 集成电路 互连线 高纯 合金靶 溅射
下载PDF
溅射稳定态合金靶表面的化学成分
16
作者 张竹林 张秉楚 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 2001年第2期27-29,共3页
基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学... 基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学成分 ,计算结果与实验值一致。因为文中所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析。 展开更多
关键词 择优溅射 表面结合能 Andersen-Sigmund关系式 稳定态合金靶 化学成分
下载PDF
冰弹超高速撞击铝合金靶板的损伤形貌分析
17
作者 陈海波 《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期311-315,470,共5页
针对铝合金靶板受冰弹丸超高速撞击时所产生的类8字形和类椭圆形损伤形貌,采用试验与理论分析相结合的方法,利用弹性力学理论对损伤形貌的生成机理进行分析研究。以靶板撞击点为原点建立力学模型,分析在弹丸撞击靶板瞬间,靶板撞击点处... 针对铝合金靶板受冰弹丸超高速撞击时所产生的类8字形和类椭圆形损伤形貌,采用试验与理论分析相结合的方法,利用弹性力学理论对损伤形貌的生成机理进行分析研究。以靶板撞击点为原点建立力学模型,分析在弹丸撞击靶板瞬间,靶板撞击点处各方向上的应力分布情况。分析结果表明:在靶板撞击点处各方向上的应力分布不均匀,呈类8字形分布;当撞击产生的应力超过材料的屈服极限后材料开始塑性变形,从而导致靶板产生类8字形的鼓包;当撞击产生的应力超过材料的断裂极限后材料开始撕裂,撕裂后的损伤区域总体上呈现类椭圆形。这说明靶板撞击区的类8字形和类椭圆形损伤形貌是由材料的弹性效应导致的。 展开更多
关键词 冰弹丸 超高速撞击 合金靶 8字形 椭圆形
原文传递
从废镍铂合金靶材中回收铂镍的研究 被引量:2
18
作者 廖秋玲 姜东 +1 位作者 郑远东 张帆 《中国资源综合利用》 2015年第6期21-23,共3页
针对镍铂二次资源回收工艺中的原料成分,探讨了镍铂合金靶材废料的湿法冶金分离回收技术,以及合金废料的氧化浸出处理及离子交换镍铂分离回收技术。通过单因素实验,确定了最佳工艺条件及工艺流程,实现了镍、铂的有效分离,分离提纯后得... 针对镍铂二次资源回收工艺中的原料成分,探讨了镍铂合金靶材废料的湿法冶金分离回收技术,以及合金废料的氧化浸出处理及离子交换镍铂分离回收技术。通过单因素实验,确定了最佳工艺条件及工艺流程,实现了镍、铂的有效分离,分离提纯后得到符合国标质量要求的海绵铂和镍化合物晶体产品,铂回收率达99%,镍回收率97%。 展开更多
关键词 废镍铂合金靶 氧化浸出 离子交换 海绵铂 镍化合物晶体
下载PDF
常压与热压烧结工艺对合金靶材结构与性能的影响
19
作者 刘春轩 梁啟文 +5 位作者 伍小波 曹柳絮 张扬 罗任 张杰 谢屹 《材料科学》 CAS 2022年第1期7-24,共18页
全文综述了国内外常压与热压烧结靶材制备技术的进展,并分析总结靶材制备中烧结工艺对合金靶材制备及其性能的影响。分析了不同温度下开孔/闭孔率的变化,高温变形晶粒择优取向、温度与气氛变化对密度的影响,压力变化所引起的电阻变化机... 全文综述了国内外常压与热压烧结靶材制备技术的进展,并分析总结靶材制备中烧结工艺对合金靶材制备及其性能的影响。分析了不同温度下开孔/闭孔率的变化,高温变形晶粒择优取向、温度与气氛变化对密度的影响,压力变化所引起的电阻变化机制,原子挥发/化合物分解/第二相析出与晶粒尺寸长大对气孔移动,电子传输截面变化及晶界散射效应的影响,湿化粉与气化粉烧结性能的变化,烧结热力学与动力学机理与技术瓶颈;展望了靶材制备发展方向。 展开更多
关键词 合金靶 热压烧结 常压烧结 微观结构 性能
下载PDF
Cr20Ni80高电阻电热合金靶的切削加工
20
作者 田军萍 《金属加工(冷加工)》 2008年第12期35-36,共2页
1.前言 Cr20Ni80高电阻电热合金靶是真空磁控溅射镀膜生产线中使用的一种镀膜靶材。Cr20Ni80高电阻电热合金属难切削材料,机械加工难度很大,各生产线为了确保镀膜玻璃的质量均一直从国外进口。为了降低镀膜成本,缩短加工周期,国内... 1.前言 Cr20Ni80高电阻电热合金靶是真空磁控溅射镀膜生产线中使用的一种镀膜靶材。Cr20Ni80高电阻电热合金属难切削材料,机械加工难度很大,各生产线为了确保镀膜玻璃的质量均一直从国外进口。为了降低镀膜成本,缩短加工周期,国内各靶材使用企业提出了国产化的要求,其重点是解决Cr20Ni80高电阻电热合金的切削加工难题。 展开更多
关键词 CR20NI80 电热合金 切削加工 高电阻 合金靶 磁控溅射镀膜 难切削材料 加工难度
下载PDF
上一页 1 2 3 下一页 到第
使用帮助 返回顶部