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同步辐射X射线衍射技术在残余应力分析中的应用
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作者 罗军 李楠 +1 位作者 王曦 刘昌奎 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期120-129,共10页
残余应力贯穿于材料及构件的设计、生产、加工、制造、服役和失效的全生命周期,是影响材料及构件加工精度、尺寸稳定性及疲劳强度的关键因素,如何准确无损表征残余应力具有重要意义。与传统实验室X射线衍射方法相比,同步辐射X射线衍射... 残余应力贯穿于材料及构件的设计、生产、加工、制造、服役和失效的全生命周期,是影响材料及构件加工精度、尺寸稳定性及疲劳强度的关键因素,如何准确无损表征残余应力具有重要意义。与传统实验室X射线衍射方法相比,同步辐射X射线衍射技术在亮度、准直、时间分辨率、空间分辨率、穿透深度等方面具有显著优势,是一种无损原位精确表征工程材料和关键构件残余应力有效的方法之一。本文围绕同步辐射X射线衍射技术在材料残余应力中的研究进展,重点阐述增材制造过程中高温合金的残余应力分析、激光喷丸技术对钛合金残余应力的影响、焊接铝合金残余应力评价、热处理参数对结构钢残余应力的影响以及陶瓷涂层的残余应力研究。最后,分析同步辐射X射线衍射技术在工业应用方面的不足,并展望未来的研究及发展方向,包括发展原位测试环境及装置、同步辐射X射线衍射技术与其他无损检测方法相结合等。 展开更多
关键词 同步辐射x射线衍射 残余应力 工程材料 关键构件
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同步辐射微束X射线荧光CT的计算机模拟 被引量:4
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作者 邓彪 余笑寒 徐洪杰 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期5-11,共7页
同步辐射微束X射线荧光CT是一种能无损、高空间分辨和高灵敏地探测样品内部元素含量和分布的新技术,是在建的上海光源(SSRF)硬X射线微聚焦及应用光束线站可开展的实验方法之一。本文简要介绍了同步辐射微束X射线荧光CT的基本原理和实验... 同步辐射微束X射线荧光CT是一种能无损、高空间分辨和高灵敏地探测样品内部元素含量和分布的新技术,是在建的上海光源(SSRF)硬X射线微聚焦及应用光束线站可开展的实验方法之一。本文简要介绍了同步辐射微束X射线荧光CT的基本原理和实验技术发展,对同步辐射微束X射线荧光CT实验进行了计算机模拟,用滤波反投影算法(FBP)、代数重构算法(ART)和加吸收修正的FBP算法重构了模拟样品的图像。对各种重构方法得到的图像质量进行了分析和比较,讨论了其适用性。 展开更多
关键词 x射线荧光CT 计算机模拟 同步辐射 图像重构
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同步辐射硬X射线微束技术 被引量:3
3
作者 邓彪 余笑寒 徐洪杰 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期397-402,共6页
同步辐射硬X射线微束(微探针)技术是目前很多学科领域的主流分析技术,本文介绍了同步辐射硬X射线的各种微束技术以及微束的应用研究情况,阐述了各种微束技术的基本聚焦原理,并对其优势和不足以及发展状况作了简要的概述。
关键词 x射线 同步辐射 聚焦
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翼状胬肉组织微量元素的同步辐射微束X射线荧光分析法研究 被引量:1
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作者 彭立 谢青 +3 位作者 蔡枫 余笑寒 李爱国 杨科 《眼科新进展》 CAS 北大核心 2011年第12期1126-1129,共4页
目的应用同步辐射微束X射线荧光分析法测定翼状胬肉组织、自体同侧正常结膜组织中钙、铁、铜、锌、铅等微量元素的分布及其差异。方法 8例(10眼)原发性翼状胬肉患者,行翼状胬肉切除+自体角膜缘干细胞移植术。应用同步辐射微束X射线荧光... 目的应用同步辐射微束X射线荧光分析法测定翼状胬肉组织、自体同侧正常结膜组织中钙、铁、铜、锌、铅等微量元素的分布及其差异。方法 8例(10眼)原发性翼状胬肉患者,行翼状胬肉切除+自体角膜缘干细胞移植术。应用同步辐射微束X射线荧光分析法测定翼状胬肉组织、自体同侧正常结膜组织中钙、铁、铜、锌、铅等微量元素的相对含量及差异。结果翼状胬肉组织和自体同侧正常结膜组织中存在钙、铁、铜、锌、铅等微量元素,检出率均为100%。正常结膜组织中钙、铜、铅等微量元素的含量分别为8545.50±903.65、1605.25±524.30、5171.02±712.04,均高于自体同侧翼状胬肉组织(4226.50±647.19、1004.10±135.55、3971.23±183.88),差异均有统计学意义(t值分别为26.92、7.69、11.32,均为P<0.05)。正常结膜组织中铁、锌元素的含量(17653.67±10851.02、9703.88±3286.05)均低于自体同侧翼状胬肉组织(49198.48±21297.67、14907.71±1820.60),差异均有统计学意义(t值分别为8.56、9.60,均为P<0.05)。翼状胬肉组织微量元素分布在头部聚集较多,结膜组织微量元素分布呈分散性。结论翼状胬肉组织中,微量元素钙、铜、铅元素较自体同侧正常结膜组织减少;锌、铁元素较自体同侧正常结膜组织增加。在翼状胬肉组织中微量元素分布呈一定规律性,正常结膜组织微量元素分布呈分散性。 展开更多
关键词 同步辐射x射线荧光 翼状胬肉
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同步辐射微束X射线荧光分析及其在生物医学中的应用 被引量:6
5
作者 吴应荣 潘巨祥 《广东微量元素科学》 CAS 1998年第10期1-5,共5页
介绍了同步辐射微束 X 射线荧光分析的特点、主要的仪器设备和方法。介绍了在头发和病变组织中微量元素成分的扫描分析,细胞元素谱及其在外界物理、化学条件下的变化分析等。展示了同步辐射微束 X 射线荧光分析在生物医学研究中的广阔... 介绍了同步辐射微束 X 射线荧光分析的特点、主要的仪器设备和方法。介绍了在头发和病变组织中微量元素成分的扫描分析,细胞元素谱及其在外界物理、化学条件下的变化分析等。展示了同步辐射微束 X 射线荧光分析在生物医学研究中的广阔前景。 展开更多
关键词 同步辐射 区分析 x射线荧光分析 生物医学
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单个流体包裹体同步辐射X射线荧光微束无损分析 被引量:3
6
作者 何伟 林克湘 +4 位作者 钟兴水 夏诗全 李葵发 黄宇营 李劲 《北京同步辐射装置年报》 2001年第1期107-113,共7页
流体包裹体保留了古地质时期流体的原始组成,为矿物形成提供有价值的物理化学信息,对单个流体包裹体的无损成分分析,成为国际地学领域的重大前沿课题。同步辐射X射线荧光(SRXRF)微探针以其在微量和微区分析上的优势为这方面的研究提... 流体包裹体保留了古地质时期流体的原始组成,为矿物形成提供有价值的物理化学信息,对单个流体包裹体的无损成分分析,成为国际地学领域的重大前沿课题。同步辐射X射线荧光(SRXRF)微探针以其在微量和微区分析上的优势为这方面的研究提供有力的工具。我们在北京同步辐射装置(BSRF)的3WIA新束线上,用这种微探针开展了单个流体包裹体无损分析的实验研究。用特制的狭缝系统,从能量为3.5-35kev的同步辐射X射线中得刮10×10μm^2的微束,通过显微对光调整使它入射到选定的大小适当的单个流体包裹体样品上,其所产生的荧光用来确定流体中所含元素的丰度。用NIST612标样,测定了目前实验条件下元素的最小检测限(观测时间为1000秒),检验了这种方法的可行性。在此基础上,对一组典型有机包裹体样品分别单个作无损成分分析,给出了K、Ti、V、Cr、Kh、Fe、Ni、Cu、Zn、Rb、Sr、Y、Zr和Pb等14种元素的半定量测试结果,并说明这些结果可用来研究包裹体所在储层的沉积环境以及包裹体形成时捕获的油气的母源问题。 展开更多
关键词 单个流体包裹体 同步辐射x射线荧光 无损分析 矿物
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同步辐射微束X射线检测翼状胬肉实验条件的探讨
7
作者 彭立 谢青 +1 位作者 蔡枫 李爱国 《眼科新进展》 CAS 北大核心 2013年第11期1033-1036,共4页
目的应用同步辐射微束X射线检测翼状胬肉,探讨其实验条件。方法 6例(6眼)进行期翼状胬肉患者,行翼状胬肉切除+自体角膜缘干细胞移植术。应用同步辐射微束X射线对翼状胬肉组织及同侧结膜组织于不同实验条件下进行检测。结果经过探索,胬... 目的应用同步辐射微束X射线检测翼状胬肉,探讨其实验条件。方法 6例(6眼)进行期翼状胬肉患者,行翼状胬肉切除+自体角膜缘干细胞移植术。应用同步辐射微束X射线对翼状胬肉组织及同侧结膜组织于不同实验条件下进行检测。结果经过探索,胬肉组织及同侧结膜组织标本经体积分数10%中性甲醛固定后,蔗糖溶液冲洗后,行厚度40μm冰冻切片时检测能得到满意效果。很好地检测出微量元素种类及含量,可以清晰看到微量元素分布,载体上切片物不容易脱落。结论用同步辐射微束X射线研究胬肉组织类标本时需要控制切片厚度在40μm左右,所依附的载体为6μm的Mylar膜。同步辐射微束X射线为翼状胬肉的研究开辟了新的领域。 展开更多
关键词 翼状胬肉 同步辐射 x射线
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北京同步辐射X—射线荧光微束分析进展 被引量:1
8
作者 黄宇营 李光城 《同步辐射装置用户科技论文集》 2000年第1期387-391,共5页
论文介绍了北京同步辐射X-射线荧光微束分析装置的最新进展,以及近年来在生物医学和石油地质领域的应用研究工作,重点报导了前不久在国内首次使用该方法,对单个流体包裹体探测的实验结果。
关键词 同步辐射 x-射线荧光 分析 量元素 分析装置 应用 石油工业 生物医学 地质学
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同步辐射微束X射线荧光分析及其在生物医学中的应用
9
作者 吴应荣 潘巨祥 《同步辐射装置用户科技论文集》 1998年第1期174-178,共5页
介绍了同步辐射微束X射线荧光分析的特点,主要的仪器设备和方法。介绍了在头发和病变组织中微量元素成分的扫描分析,细胞元素谱及其在外界物理、化学条件下的变化分析等。展示了同步辐射微束X射线荧光分析在生物医学研究中的广阔前景。
关键词 生物医学 应用 同步辐射 区分析 痕量分析 x射线荧光分析
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多晶体光路配置的X射线衍射特性及在表征同步辐射光束线带宽上的应用 被引量:3
10
作者 杨俊亮 李中亮 +4 位作者 李瑭 朱晔 宋丽 薛莲 张小威 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期118-127,共10页
本文报告了使用多晶体光路配置的X射线衍射实验及其用于表征上海光源BL09束线上双晶单色器出射光特性的情况.当一个分析晶体与双晶单色器呈(+n,-n)无色散配置时,通过退卷积得到单色器的角度带宽和相对能量带宽分别为5.40(4)"和1.30... 本文报告了使用多晶体光路配置的X射线衍射实验及其用于表征上海光源BL09束线上双晶单色器出射光特性的情况.当一个分析晶体与双晶单色器呈(+n,-n)无色散配置时,通过退卷积得到单色器的角度带宽和相对能量带宽分别为5.40(4)"和1.30(1)×10^-4@10 keV;当实验配置为(+n,+n)、(+n,-m)和(+n,+m)色散配置时,退卷积之后测得同步辐射光束的角分布和相对能量带宽分别为26(1)"和6.3(2)×10^-4@10 keV;处理掉双晶单色器的影响后,可以得出与弯铁光源理论值一致的角发散度25(1)"@10 keV.此外,利用多晶体的色散配置和DuMond作图的方法,表征了一系列不同白光入射狭缝宽度下的单色器出射光的发射度和带宽的情况. 展开更多
关键词 同步辐射 双晶单色器 多晶体x射线衍射 能量带宽 DuMond作图
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同步辐射高能X射线衍射在材料研究中的应用进展 被引量:16
11
作者 王沿东 张哲维 +2 位作者 李时磊 李润光 王友康 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期168-174,共7页
同步辐射是具有连续光谱宽波段、高通量、低发散度等优点的先进脉冲X射线光源,可用于开展其它光源无法实现的诸多前沿科学研究。第三代同步辐射光源产生的高能X射线,能大幅提高衍射的倒易空间分辨率、穿透深度及时间分辨能力,实现使役... 同步辐射是具有连续光谱宽波段、高通量、低发散度等优点的先进脉冲X射线光源,可用于开展其它光源无法实现的诸多前沿科学研究。第三代同步辐射光源产生的高能X射线,能大幅提高衍射的倒易空间分辨率、穿透深度及时间分辨能力,实现使役条件下工程材料与部件内部多尺度微结构单元的高效原位、精确无损表征。配备满足透射几何条件、能施加多种力物性环境的原位装置,有助于建立多场耦合下材料的跨尺度力学模型。简述了同步辐射高能X射线衍射的基本原理、第三代同步辐射光源的装置与特点,介绍了高能X射线衍射在材料形变行为、相变以及再结晶等领域的研究进展。最后基于国内外先进光源的发展现状,展望了同步辐射高能X射线衍射技术进步的主要方向。 展开更多
关键词 同步辐射高能x射线衍射 材料科学 多尺度表征 形变 相变
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用于大尺寸样品的同步辐射硬X射线衍射增强成像方法研究 被引量:8
12
作者 袁清习 田玉莲 +5 位作者 朱佩平 黄万霞 王寯越 胡天斗 姜晓明 吴自玉 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第10期725-728,共4页
作为 X 射线相衬成像的方法之一,衍射增强成像方法由于能获得较高的信噪比及分辨率而引起了人们的研究兴趣。北京同步辐射装置(BSRF)形貌学实验站也开展了该方法的探索研究。此前的衍射增强成像方法中,当白光 X 射线光束横截面尺寸为 20... 作为 X 射线相衬成像的方法之一,衍射增强成像方法由于能获得较高的信噪比及分辨率而引起了人们的研究兴趣。北京同步辐射装置(BSRF)形貌学实验站也开展了该方法的探索研究。此前的衍射增强成像方法中,当白光 X 射线光束横截面尺寸为 20 mm×10 mm 时,经过双晶单色器后最大只能获得横截面尺寸为20 mm×4 mm 的均匀单色 X 射线,从而造成成像区域减小。在对通常衍射增强成像光路排列分析的基础上,提出了一种新的光学排列几何并进行了衍射增强实验。应用新光学排列几何首次获得了与入射白光 X 射线尺寸相当的、大的成像光斑均匀区域,因而新光学排列几何更适合于大尺寸样品的研究工作。同时,该光学排列几何成像分辨率可以达到微米量级并且更方便于实验操作。 展开更多
关键词 同步辐射x射线 衍射增强成像 成像尺寸 x射线相衬成像
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同步辐射X射线衍射与DSC相结合研究油脂的物性及其动力学机理的进展 被引量:6
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作者 张露 上野聪 佐藤清隆 《中国粮油学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期207-210,共4页
介绍了将同步辐射X射线衍射和DSC相结合,用于油脂的结构和物化性质研究的新技术,以及在该领域的研究进展。
关键词 油脂 结晶 同步辐射x射线衍射 DSC
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同步辐射微区X射线荧光和吸收谱技术在大气、土壤和动植物分析中的应用 被引量:14
14
作者 袁静 罗立强 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1-11,共11页
同步辐射微区X射线荧光(Synchrotron micro-X-ray fluorescence spectroscopy,μ-SXRF)能够对物质进行元素分布分析和微区原位测定,具有高灵敏度、低检出限的特点。同步辐射X射线吸收谱技术(X-ray absorption fine spectroscopy,XAFS)... 同步辐射微区X射线荧光(Synchrotron micro-X-ray fluorescence spectroscopy,μ-SXRF)能够对物质进行元素分布分析和微区原位测定,具有高灵敏度、低检出限的特点。同步辐射X射线吸收谱技术(X-ray absorption fine spectroscopy,XAFS)能够提供原子周围的配位环境和化学形态,适用于进行元素形态分析。大气飘尘、土壤和动植物等是环境中元素迁移转化的重要载体,获取具有生物学意义的元素分布和形态,以及准确的定性或定量信息对研究这些元素在环境和生物体中的作用至关重要。随着研究的发展,同步辐射微区分析技术在此领域中得到越来越多的应用。本文介绍了同步辐射技术的基本原理和发展历程,回顾了近几年μ-SRXRF和XAFS技术在大气飘尘、土壤、植物和蚯蚓中元素的分布与形态研究领域的应用进展,对目前应用于此领域遇到的一些挑战进行了概括,并对其未来发展趋势提出了展望。 展开更多
关键词 同步辐射 x射线荧光(μ-SxRF) x射线吸收谱(xAFS) 大气 土壤 动植物
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同步辐射X射线光斑信息对扫描相干衍射成像的影响 被引量:2
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作者 刘海岗 许子健 +3 位作者 王春鹏 郭智 张祥志 邰仁忠 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2013年第6期51-58,共8页
本文采用拓展重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了X射线光斑尺寸、扫描点数及波前形貌对扫描相干衍射成像重建图像质量的影响。结果表明,在实际入射光斑尺寸不易确定时,算法中初始猜测光斑尺寸可以由模拟入射光斑最大光强值的1%对应... 本文采用拓展重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了X射线光斑尺寸、扫描点数及波前形貌对扫描相干衍射成像重建图像质量的影响。结果表明,在实际入射光斑尺寸不易确定时,算法中初始猜测光斑尺寸可以由模拟入射光斑最大光强值的1%对应边界确定。对物体进行扫描时,入射光斑个数大于7×7且重叠度优于70%可以重建出较好的图像。入射光斑的振幅和位相分布对重建图像质量也有着显著影响。 展开更多
关键词 扫描相干衍射成像 位相恢复算法 分辨率 同步辐射x射线
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Ti-39Nb合金变形行为的原位同步辐射X射线衍射研究 被引量:2
16
作者 孟庆坤 梅碧舟 +3 位作者 张盼 戚继球 隋艳伟 郭顺 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期845-855,共11页
本文利用原位同步辐射X射线衍射(SXRD)技术研究了一种亚稳β型Ti-39Nb合金的非线弹性变形行为。结果表明:当外加应力超过60 MPa时,合金开始出现非线弹性变形,此时合金发生应力诱发马氏体相变(SIMT)。因此,Ti-39Nb合金的非线弹性变形机制... 本文利用原位同步辐射X射线衍射(SXRD)技术研究了一种亚稳β型Ti-39Nb合金的非线弹性变形行为。结果表明:当外加应力超过60 MPa时,合金开始出现非线弹性变形,此时合金发生应力诱发马氏体相变(SIMT)。因此,Ti-39Nb合金的非线弹性变形机制为SIMT。此外,加载过程中产生的马氏体衍射峰只出现在同步辐射衍射环的特定角度,即与加载方向成26.5°。这是因为<110>β晶向平行于加载方向的β相晶粒最先发生SIMT,且产生最大相变应变的马氏体变体优先形成。 展开更多
关键词 钛合金 应力诱发马氏体相变 同步辐射x射线衍射 非线弹性
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同步辐射微区X射线荧光光谱法原位分析蚯蚓中K,Ca,Cu,Zn和Pb 被引量:5
17
作者 袁静 罗立强 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期792-798,共7页
为了研究重金属元素在蚯蚓体内的富集和存储机制,使用同步辐射微区X射线荧光光谱法(μ-SRXRF)研究了K,Ca,Cu,Zn和Pb元素在生长于南京栖霞山铅锌矿区附近菜园土壤的蚯蚓体内的分布特征,发现Pb主要富集在蚯蚓后部消化道周围的区域,Zn,Cu... 为了研究重金属元素在蚯蚓体内的富集和存储机制,使用同步辐射微区X射线荧光光谱法(μ-SRXRF)研究了K,Ca,Cu,Zn和Pb元素在生长于南京栖霞山铅锌矿区附近菜园土壤的蚯蚓体内的分布特征,发现Pb主要富集在蚯蚓后部消化道周围的区域,Zn,Cu在蚯蚓后部的分布规律与Pb类似,推测后部消化道周围区域的分布是蚯蚓为了阻断毒性重金属元素威胁而特有的富集和存储方式。5种元素的相关性表明,Pb和Zn相关性最高,存储方式最为相似,Pb与K和Ca在蚯蚓后部的分布呈显著正相关,说明毒性元素Pb在蚯蚓体内的富集和存储过程可能伴随着其它元素的吸收。本研究表明,μ-SRXRF在原位微区分析蚯蚓样品的元素空间分布方面具有很大优势,而进一步开展土壤及蚯蚓中Pb的形态研究,是研究重金属胁迫下蚯蚓解毒机制的重要前提。 展开更多
关键词 同步辐射x射线荧光光谱法 蚯蚓 原位分析 存储机制
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用同步辐射X射线荧光微探针技术研究硝酸镧对单个平滑肌细胞内重要元素分布的影响 被引量:2
18
作者 韦日生 安丽芝 +5 位作者 张京 张凤云 凤志慧 张孙曦 黄宇营 何伟 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期845-852,共8页
应用同步辐射X射线荧光微探针技术 (SRXRF) ,观察稀土元素化合物硝酸镧La(NO3) 3(浓度为 10 - 8mol/L)对培养的单个大鼠平滑肌细胞内重要元素分布的影响 ,获得La(NO3) 3作用4h ,8h ,2 4h时单个细胞内P ,K ,Ca ,Fe ,Cu ,Zn ,La等元素含... 应用同步辐射X射线荧光微探针技术 (SRXRF) ,观察稀土元素化合物硝酸镧La(NO3) 3(浓度为 10 - 8mol/L)对培养的单个大鼠平滑肌细胞内重要元素分布的影响 ,获得La(NO3) 3作用4h ,8h ,2 4h时单个细胞内P ,K ,Ca ,Fe ,Cu ,Zn ,La等元素含量的相对计数。实验中观察到 ,10 - 8mol/LLa3+持续作用后 ,细胞内K ,Ca ,Fe ,Cu ,Zn等元素含量分布发生改变。结果表明 ,La3+可能富集在细胞内 ,影响细胞内某些重要元素含量的分布 ,可能是引起细胞生理生化变化的机制之一。 展开更多
关键词 单个平滑肌细胞 元素分布 同步辐射x射线荧光探针技术 硝酸镧 稀土 生物学效应 生理 生物化学
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同步辐射X射线微探针研究宝石矿物成色与某些微量元素的关系 被引量:1
19
作者 安庆骧 曹亚文 +2 位作者 潘巨祥 吴应荣 巢志瑜 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期31-34,共4页
利用北京正负电子对撞机(BEPC)提供的同步辐射(SR)白光为激发源(束斑尺寸100μm×100μm,计数时间100s/点),研究了蓝宝石、红宝石、紫晶、祖母绿的天然、加工和合成品的微量元素成分,对于鉴别宝石提供... 利用北京正负电子对撞机(BEPC)提供的同步辐射(SR)白光为激发源(束斑尺寸100μm×100μm,计数时间100s/点),研究了蓝宝石、红宝石、紫晶、祖母绿的天然、加工和合成品的微量元素成分,对于鉴别宝石提供了有益的信息。 展开更多
关键词 同步辐射 x射线探针 宝石 量元素 矿物 成色
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50nm及50nm以下同步辐射X射线光刻光束线设计 被引量:1
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作者 谢常青 陈大鹏 +5 位作者 李兵 叶甜春 伊福廷 彭良强 韩勇 张菊芳 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期321-324,共4页
X射线光刻相对于其他下一代光刻技术而言有许多优点,比如其工艺宽容度大、成品率高、景深大、曝光视场大、成本低等,更为重要的是,其技术已经比较成熟。对于 100nm 同步辐射 X 射线光刻系统而言,它采用的波长通常为 0.7—1.0nm,而当光... X射线光刻相对于其他下一代光刻技术而言有许多优点,比如其工艺宽容度大、成品率高、景深大、曝光视场大、成本低等,更为重要的是,其技术已经比较成熟。对于 100nm 同步辐射 X 射线光刻系统而言,它采用的波长通常为 0.7—1.0nm,而当光刻分辨率达到 50nm 以下时,采用的同步辐射 X 射线波长范围应该为 0.2—0.4 nm。探讨了在北京同步辐射 3B1A 光刻束线上进行 50nm X 射线光刻的可能性。 展开更多
关键词 x射线光刻 同步辐射 衍生法 光刻分辨率
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