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我国含氟电子气体发展现状及技术进展 被引量：4
1
作者 徐娇 张建君 +2 位作者 史婉君 潘晋亨 鬲春利 《低温与特气》 CAS 2018年第3期1-5,共5页
介绍了我国含氟电子气体发展现状以及技术研究进展。国内含氟电子气体产品在下游应用企业中的接受度较低,与国外发展存在明显差距。研究和开发含氟电子气体的关键技术主要包括合成、纯化、分析和包装等技术。
关键词 含氟电子气体 合成 纯化 分析 包装
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浅析含氟电子气体相关标准现状及发展趋势 被引量：2
2
作者 徐娇 张建君 +3 位作者 鬲春利 方小青 杜肖宾 史婉君 《低温与特气》 CAS 2020年第1期6-11,共6页
首先介绍了含氟电子气体研究现状,然后分析了含氟电子气体相关的标准情况及发展趋势。
关键词 含氟电子气体 标准 发展趋势
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含氟电子气体纯化方法探讨与展望 被引量：3
3
作者 齐仲龙 杨会娥 +1 位作者 任昊 马立博 《有机氟工业》 CAS 2018年第1期32-35,共4页
电子气体是现代化电子工业发展的重要生产原料,随着电子工业的高速发展,对电子气体的纯度要求也越来越高。较为详细地论述了低温精馏、吸附、膜分离等方法在含氟电子气体制备方面的应用,并对其发展趋势进行展望。
关键词 含氟电子气体 纯化 低温精馏 吸附
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几种含氟电子气体发展的思考 被引量：3
4
作者 牛学坤 杨茂良 周宪峰 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2020年第2期1-4,27,共5页
介绍了三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、电子级六氟化硫等几种含氟电子气体在半导体、平板显示等领域的应用。对相关行业发展的现状和前景进行了分析和预测,讨论了行业发展的潜在风险。
关键词 含氟电子气体 三氟化氮 六氟化钨 四氟化碳 电子级六氟化硫
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离子色谱法测定电子级气体中可水解氟化物
5
作者 汤月贞 侯玲玲 +4 位作者 张金彪 黄晓磊 张景利 赵国辉 吴旭飞 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2014年第3期82-85,共4页
以Na2CO3、NaHCO3淋洗液为吸收液,采用多孔气体分布管,将含氟气体中的可水解氟化物转变为氟离子。在此基础上利用离子色谱定量,可准确测定电子级产品中痕量可水解氟化物。该法检出限低、灵敏度高、精确度好,相关系数为0.999 2,按采样体... 以Na2CO3、NaHCO3淋洗液为吸收液,采用多孔气体分布管,将含氟气体中的可水解氟化物转变为氟离子。在此基础上利用离子色谱定量,可准确测定电子级产品中痕量可水解氟化物。该法检出限低、灵敏度高、精确度好,相关系数为0.999 2,按采样体积20 L计,可水解氟化物最低检出体积分数为0.01×10–6,相对标准偏差〈3.5%,加标回收率为96.4%～103%。 展开更多
关键词 离子色谱法 可水解氟化物 含氟电子气体
原文传递
离子改性的CON材料用于吸附分离NF_(3)
6
作者 伍岳 李晓宇 +5 位作者 陶春珲 张莹 李印辉 张文祥 杨伯伦 马和平 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期6076-6085,共10页
从半导体刻蚀废气中吸附分离NF_(3)具有重要的工业应用价值。通过在多孔有机分子笼(cage-like organic network,CON)中引入碘离子,制得了高NF_(3)吸附选择性的离子型吸附剂(I-CON)。DFT理论计算表明,碘离子的引入在吸附剂孔道表面形成... 从半导体刻蚀废气中吸附分离NF_(3)具有重要的工业应用价值。通过在多孔有机分子笼(cage-like organic network,CON)中引入碘离子,制得了高NF_(3)吸附选择性的离子型吸附剂(I-CON)。DFT理论计算表明,碘离子的引入在吸附剂孔道表面形成了离子化的电场环境,使被吸附的NF_(3)分子发生诱导极化,因此增强了材料对NF_(3)的吸附能力。单组分气体吸附测试结果表明,相较于CON,I-CON对NF_(3)的吸附容量从30.49mL/g提高到45.13mL/g,理想吸附溶液理论选择性从10.59~15.49提高到15.01~19.47;在穿透曲线测试中,I-CON也比CON表现出更强的NF_(3)动态吸附能力。以上结果证实了离子改性能够增强材料对NF_(3)的吸附分离性能,为分离与回收NF_(3)提供了技术参考。 展开更多
关键词 多孔有机材料 离子型吸附剂 吸附分离 三氟化氮 含氟电子气体
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电子化学品技术发展分析 被引量：6
7
作者 于宸 顾方 +3 位作者 鲁瑛 肖甲宏 白杨 朱文瀚 《精细与专用化学品》 CAS 2022年第1期8-11,共4页
通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析。重点分析了全球电子化学品领先企业的... 通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析。重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议。 展开更多
关键词 电子化学品 含氟电子气体 湿电子化学品 光刻胶 科技发展
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