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SrTiO_3薄膜的自组装生长 被引量：4
1
作者 李金隆 张鹰 +2 位作者 魏贤华 邓新武 李言荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1073-1077,共5页
利用激光分子束外延技术在LaAlO3(100)单晶基片表面生长SrTiO3(STO)薄膜。通过反射式高能电子衍射原位实时监测STO薄膜自组装生长过程,采用原子力显微镜分析自组装生长演化过程,并利用X射线衍射分析薄膜结构及其生长方向。对不同生长条... 利用激光分子束外延技术在LaAlO3(100)单晶基片表面生长SrTiO3(STO)薄膜。通过反射式高能电子衍射原位实时监测STO薄膜自组装生长过程,采用原子力显微镜分析自组装生长演化过程,并利用X射线衍射分析薄膜结构及其生长方向。对不同生长条件下薄膜的生长的研究发现:在较低生长温度时,STO薄膜在(200)方向上以三维岛状模式进行生长,小岛在单位原胞尺度呈波浪状周期性排列,即出现自组装生长;而在较高的生长温度时,薄膜以层状模式进行生长自组装行为被抑止。并据此讨论了STO多元氧化物薄膜自组装生长条件及生长机理。 展开更多
关键词 自组装生长 多元氧化物薄膜 钛酸锶
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