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浅谈电子级多晶硅生产控制要点
1
作者 赵成武 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第3期0203-0205,共3页
现有电子级多晶硅生产工艺,主要采用改良西门子法生产,涉及工艺包括:冷氢化合成工艺、粗三氯氢硅的精馏分离和提纯工艺、三氯氢硅还原工艺、尾气回收工艺、渣浆处理工艺。此种方法以工业硅粉为原料,难免会将金属和硼、磷等杂质引入三氯... 现有电子级多晶硅生产工艺,主要采用改良西门子法生产,涉及工艺包括:冷氢化合成工艺、粗三氯氢硅的精馏分离和提纯工艺、三氯氢硅还原工艺、尾气回收工艺、渣浆处理工艺。此种方法以工业硅粉为原料,难免会将金属和硼、磷等杂质引入三氯氢硅。在多晶硅生产过程中如何有效降低三氯氢硅、氢气中杂质含量,及通过对还原工艺参数控制、调整,以降低硅棒表面珊瑚,提升致密料比例,使得产品多晶硅的质量达到电子级多晶硅水平;其次概述了近些年国内关于电子级多晶硅生产过程中,关于杂质高效去除的技术方法,着重探索了电子级多晶硅生产环节关键质量控制点等杂质去除机理;最后提出了在当前国内硅料市场需求朝电子级多晶硅完全生产的趋势下,企业后续应着重加强对多晶硅生产控制、及生产过程中精馏提纯、CLS杂质去除技术的自主研发及创新的研究方向。 展开更多
关键词 多晶硅 电子级多晶硅 杂质 TCS H2 还原
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多晶硅生产节能技术探讨
2
作者 赵新影 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第3期0171-0174,共4页
在新能源背景下,多晶硅作为太阳能电池与诸多工业产品的核心材料。但是多晶硅生产环节耗能梁非常巨大,对环境与生产成本造成很多影响。因此,为全面解决多晶硅生产存在的能耗等问题。本文分析多晶硅生产现状,明确多晶硅生产节能局限性。... 在新能源背景下,多晶硅作为太阳能电池与诸多工业产品的核心材料。但是多晶硅生产环节耗能梁非常巨大,对环境与生产成本造成很多影响。因此,为全面解决多晶硅生产存在的能耗等问题。本文分析多晶硅生产现状,明确多晶硅生产节能局限性。提出选择具备节能性的制备氢气与使用氢化节能等多种方法进行能耗处理。多晶硅生产期间采用节能技术,能够有效降低多晶硅生产的能耗、运营成本问题,提高资源利用效率。 展开更多
关键词 多晶硅 多晶硅生产 节能技术
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多晶硅装置尾气回收工艺研究进展
3
作者 杜盼 陈锦溢 +4 位作者 丁哲 陆平 华超 白芳 王繁 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期70-74,共5页
综述了改良西门子法多晶硅制备工艺及尾气回收研究现状,从回收率、回收效果及能耗等方面阐述了湿法回收、膜分离回收和干法回收3种尾气回收工艺。重点概述了多晶硅尾气干法回收工艺各个单元的研究进展,并根据现状总结了未来的研究方向。
关键词 多晶硅 尾气回收 氯硅烷 膜分离
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催化裂解法处理多晶硅行业中的氯硅烷高沸物
4
作者 王金可 马跃 岳长涛 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期6-9,14,共5页
使用有机胺类催化剂催化裂解多晶硅生产过程中副产的氯硅烷高沸物,考察了反应温度以及催化剂种类对高沸物催化裂解反应的影响并对反应机理进行了分析。结果表明,以N,N-二甲基苯胺为催化剂,反应温度130~135℃,反应时间1.5 h,催化剂用量8%... 使用有机胺类催化剂催化裂解多晶硅生产过程中副产的氯硅烷高沸物,考察了反应温度以及催化剂种类对高沸物催化裂解反应的影响并对反应机理进行了分析。结果表明,以N,N-二甲基苯胺为催化剂,反应温度130~135℃,反应时间1.5 h,催化剂用量8%时,单硅烷产物的收率可达79.99%。 展开更多
关键词 氯硅烷高沸物 催化裂解 有机胺 废物处理 多晶硅
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多晶硅企业事故大气环境次生污染物影响分析
5
作者 黄翔 何磊 +1 位作者 李萌 刘晓宇 《中国环保产业》 2024年第3期30-34,共5页
本文以某企业三氯氢硅储罐泄漏、燃烧引发次生污染物氯化氢气体在大气环境中扩散的风险事故情形为例,利用AFTOX模型进行大气环境风险的分析、预测,为此类风险事故的防范、应急与减缓措施提供了建议。
关键词 多晶硅生产 三氯氢硅 次生污染物影响 AFTOX模型
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碳中和背景下我国多晶硅产业现状及发展趋势
6
作者 孙婷 《当代化工研究》 CAS 2024年第6期185-187,共3页
在碳中和、碳达峰的重大时代背景下,加速能源结构转型、改变当前能源结构已成共识。本文简述了目前多晶硅主要的生产工艺流程,从多方面对比了各工艺的优缺点,详述了改良西门子法与硅烷流化床法工艺的发展趋势,指出硅烷流化床法仍有巨大... 在碳中和、碳达峰的重大时代背景下,加速能源结构转型、改变当前能源结构已成共识。本文简述了目前多晶硅主要的生产工艺流程,从多方面对比了各工艺的优缺点,详述了改良西门子法与硅烷流化床法工艺的发展趋势,指出硅烷流化床法仍有巨大改进空间,有望给我国多晶硅行业带来崭新局面。多晶硅产业逐渐向我国转移,我国市场占有率不断提升,推动双碳目标的实现也更加离不开多晶硅产业的发展。 展开更多
关键词 碳中和 多晶硅 改良西门子法 光伏发电
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多晶硅安全生产风险分析和事故预防
7
作者 李振宁 张前喜 《煤化工》 CAS 2024年第1期88-91,共4页
随着光伏产业的迅猛发展,主要生产原料多晶硅的需求增长迅速。国内多晶硅生产以三氯氢硅西门子法为主,硅烷流化床法为辅。介绍了多晶硅行业的发展概况和安全形势,以三氯氢硅西门子法为例分析了多晶硅生产过程的危险性,对行业近年来发生... 随着光伏产业的迅猛发展,主要生产原料多晶硅的需求增长迅速。国内多晶硅生产以三氯氢硅西门子法为主,硅烷流化床法为辅。介绍了多晶硅行业的发展概况和安全形势,以三氯氢硅西门子法为例分析了多晶硅生产过程的危险性,对行业近年来发生的安全生产事故进行了分析,剖析事故形成的原因,提出预防事故发生的措施和建议。 展开更多
关键词 多晶硅 生产 安全 风险 事故 预防
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气相色谱与质谱联用在多晶硅生产上的应用进展
8
作者 何孟 吴岷贤 +2 位作者 李剑波 刘涛 吴加勇 《石化技术》 CAS 2024年第1期77-81,共5页
多晶硅是推动国家战略能源结构和新能源产业改革,发展太阳能光伏行业的重要原材料。气相色谱技术以其卓越的分离能力和准确的测量结果,在化学分析领域发挥着至关重要的作用。研究综述了气相色谱技术及气质联用技术在多晶硅分析方面的应... 多晶硅是推动国家战略能源结构和新能源产业改革,发展太阳能光伏行业的重要原材料。气相色谱技术以其卓越的分离能力和准确的测量结果,在化学分析领域发挥着至关重要的作用。研究综述了气相色谱技术及气质联用技术在多晶硅分析方面的应用进展,介绍了气相色谱的分离机理,并结合具体应用实例对气相色谱及质谱联用技术在多晶硅生产中所涉及方面的应用进行了详细阐述。 展开更多
关键词 气相色谱 联用技术 多晶硅 进展
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电子级多晶硅生产中间产品氯硅烷中痕量磷含量检测方法进展
9
作者 杨晓青 薛心禄 +1 位作者 岳峥 李蔚 《化工管理》 2024年第10期59-61,共3页
采用改良西门子法在生产电子级多晶硅过程中,精馏中间产物氯硅烷通入多晶硅还原炉,通过氢气还原氯硅烷生产多晶硅,其中氯硅烷中存在的各种形式的磷作为施主杂质,对电子级多晶硅产品质量影响重大。文章系统阐述电子级多晶硅生产中间产品... 采用改良西门子法在生产电子级多晶硅过程中,精馏中间产物氯硅烷通入多晶硅还原炉,通过氢气还原氯硅烷生产多晶硅,其中氯硅烷中存在的各种形式的磷作为施主杂质,对电子级多晶硅产品质量影响重大。文章系统阐述电子级多晶硅生产中间产品氯硅烷中痕量磷含量的检测方法及研究进展,通过比较各种氯硅烷中痕量磷含量杂质检测方法的优缺点,以供日常检测参考。 展开更多
关键词 磷化氢 磷 氯硅烷 多晶硅
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多晶硅生产中精馏工艺优化研究
10
作者 刘建海 《中国高新科技》 2024年第2期117-119,共3页
近年来,市场经济结构的调整对多晶硅生产行业带来了一定的挑战。面对更加激烈的竞争环境,企业为了提高市场生存能力并保持竞争力,必须降低成本、提高效率,改善产品生产质量。文章通过对多晶硅生产工艺中原料提纯合成、精馏工艺、反歧化... 近年来,市场经济结构的调整对多晶硅生产行业带来了一定的挑战。面对更加激烈的竞争环境,企业为了提高市场生存能力并保持竞争力,必须降低成本、提高效率,改善产品生产质量。文章通过对多晶硅生产工艺中原料提纯合成、精馏工艺、反歧化工艺、精馏除杂工艺进行深入研究和优化,旨在提高多晶硅的生产质量,为市场提供高品质的多晶硅产品。 展开更多
关键词 多晶硅 精馏工艺 反歧化工艺 优化
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多晶硅生产过程尾气排放的回收工艺分析及研究
11
作者 陈鹏飞 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第2期0055-0057,共3页
随社会经济的快速发展,工业行业发展迅速,而在开展生产工作的过程中,多晶硅在其中属于非常重要的原材料。在一些新兴产业发展的过程中,针对多晶硅原材料的需求逐渐增加,而在开展多晶硅生产工作的过程中,需要减少能源消耗的数量,同时针... 随社会经济的快速发展,工业行业发展迅速,而在开展生产工作的过程中,多晶硅在其中属于非常重要的原材料。在一些新兴产业发展的过程中,针对多晶硅原材料的需求逐渐增加,而在开展多晶硅生产工作的过程中,需要减少能源消耗的数量,同时针对尾气排放科学合理的处理,避免多晶硅生产工作中出现不合理的问题,针对多晶硅尾气回收工艺的发展进行全面分析和研究,并提出科学合理的建议。 展开更多
关键词 多晶硅 尾气回收 回收工艺 分析研究
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分析多晶硅生产中精馏工艺优化
12
作者 曹利利 《石油石化物资采购》 2024年第6期37-39,共3页
随着时代的进步,社会经济的发展,对于能源的需求也日益增长,多晶硅作为一种新型材料,在实际的生产中得到了广泛的应用,多晶硅生产中精馏工艺优化,不仅可以提高多晶硅的质量和产量,同时还可以降低成本,为企业创造更高的经济利益。基于此... 随着时代的进步,社会经济的发展,对于能源的需求也日益增长,多晶硅作为一种新型材料,在实际的生产中得到了广泛的应用,多晶硅生产中精馏工艺优化,不仅可以提高多晶硅的质量和产量,同时还可以降低成本,为企业创造更高的经济利益。基于此,首先介绍了多晶硅的生产技术,然后对其精馏工艺进行了研究,并对优化措施进行了分析。最后通过对精馏工艺的研究,不仅可以提高多晶硅的质量,同时还可以降低成本,促进企业的健康发展。 展开更多
关键词 多晶硅 生产 精馏工艺
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太阳能级多晶硅生产工艺现状与发展
13
作者 宋维东 《中国粉体工业》 2024年第1期30-32,共3页
随着不可再生资源消耗量的与日俱增,太阳能的利用成为了重要的发展方向。目前,开发利用太阳能已成为各国可持续发展战略的重要组成部分,而多晶硅是制造太阳能电池的主要原料,光伏产业的高速发展,将推动基础原材料多晶硅的发展,所以研究... 随着不可再生资源消耗量的与日俱增,太阳能的利用成为了重要的发展方向。目前,开发利用太阳能已成为各国可持续发展战略的重要组成部分,而多晶硅是制造太阳能电池的主要原料,光伏产业的高速发展,将推动基础原材料多晶硅的发展,所以研究多晶硅的生产工艺现状及分析未来的发展前景成为重中之重。 展开更多
关键词 多晶硅 太阳能 生产工艺 光伏
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多晶硅生产中数字化智能化升级研究
14
作者 罗朝阳 周书红 +1 位作者 孙翔 苏昱 《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2024年第4期0074-0077,共4页
数字化智能化的发展应用对多晶硅生产有促进作用,对流程操作、功能业务、技术升级、设备改进、数据融合等方面都改进空间,本文通过对西门子法多晶硅数字化、智能化的研究,为提升企业竞争力夯实基础。太阳能多晶硅是光伏发电的重要原材料... 数字化智能化的发展应用对多晶硅生产有促进作用,对流程操作、功能业务、技术升级、设备改进、数据融合等方面都改进空间,本文通过对西门子法多晶硅数字化、智能化的研究,为提升企业竞争力夯实基础。太阳能多晶硅是光伏发电的重要原材料,也是国家新能源战略转型、硅基新材料产业链重要的组成部分。近年来国内多晶硅市场快速发展,对传统的多晶硅生产制造厂家,数字信息智能化对其提出新要求,互联网+、人工智能等先进技术有巨大的推动作用,也为企业在数智化转型发展中提供新的路径和机遇。 展开更多
关键词 多晶硅 数字化 智能化
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多晶硅生产回收氢气杂质控制
15
作者 王营 常青青 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第3期0167-0170,共4页
在多晶硅生产阶段中,杂质与气体会产生化学变化,使得氢气本质出现变化导致多晶硅性能满足不了生产要求。基于此,本文分析多晶硅生产回收氢气杂质来源后,按照《污水综合排放标准》运用常规预处理工艺、控制密勒指数以及零排放处理等多种... 在多晶硅生产阶段中,杂质与气体会产生化学变化,使得氢气本质出现变化导致多晶硅性能满足不了生产要求。基于此,本文分析多晶硅生产回收氢气杂质来源后,按照《污水综合排放标准》运用常规预处理工艺、控制密勒指数以及零排放处理等多种综合控制措施进行多晶硅生产回收氢气杂质控制。在多晶硅生产时使用这些方法,能针对性进行氢气杂质分离、转化,全面处理氢气中包含的杂质,以提高了多晶硅纯度与品质。 展开更多
关键词 多晶硅生产 氢气杂质 控制方法
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电子级多晶硅的生产工艺探讨
16
作者 霍海洋 宗佰利 《智能城市应用》 2024年第2期120-122,共3页
电子级多晶硅是半导体制造中至关重要的材料,其质量和纯度直接影响半导体器件的性能。文章探讨了电子级多晶硅的生产工艺,着重分析了多晶硅技术的特殊性及我国在这一领域的差距,通过对电子级多晶硅生产工艺的详细讨论,包括还原技术、提... 电子级多晶硅是半导体制造中至关重要的材料,其质量和纯度直接影响半导体器件的性能。文章探讨了电子级多晶硅的生产工艺,着重分析了多晶硅技术的特殊性及我国在这一领域的差距,通过对电子级多晶硅生产工艺的详细讨论,包括还原技术、提纯技术、耦合生产技术和清洁生产技术等方面的分析,旨在为提高我国电子级多晶硅生产水平提供参考。 展开更多
关键词 电子级多晶硅 生产工艺 还原技术 提纯技术
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电子级多晶硅生产关键工艺技术
17
作者 徐德运 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第3期0175-0178,共4页
电子级多晶硅生产阶段,影响晶硅效果的主要因素是高晶体质量与纯度。因此为能有效解决电子级多晶硅生产存在这种问题,满足半导体工业生产具体要求。本文对电子级多晶硅生产关键工艺技术进行分析,采用改良西门子法、硅烷法与还原技术等... 电子级多晶硅生产阶段,影响晶硅效果的主要因素是高晶体质量与纯度。因此为能有效解决电子级多晶硅生产存在这种问题,满足半导体工业生产具体要求。本文对电子级多晶硅生产关键工艺技术进行分析,采用改良西门子法、硅烷法与还原技术等多种生产工艺方法进行电子级多晶硅生产。研究表明,电子级多晶硅生产环节,选择针对性的生产技术能制备出纯度高、晶体质量好的多晶硅材料。 展开更多
关键词 电子级多晶硅 生产技术 关键工艺
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探讨多晶硅冷氢化技术中四氯化硅的转化率
18
作者 刘建海 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第1期0048-0051,共4页
提升国内多晶硅产能,以及装置运行效率,解决国内光伏产业链可持续成长急需解决的关键问题是如何处理四氯化硅,提高四氯化硅的转化效率。文章结合多晶硅冷氢化技术进行研究,在工艺流程方面、流化床反应温度、反应压力、催化剂影响、以及... 提升国内多晶硅产能,以及装置运行效率,解决国内光伏产业链可持续成长急需解决的关键问题是如何处理四氯化硅,提高四氯化硅的转化效率。文章结合多晶硅冷氢化技术进行研究,在工艺流程方面、流化床反应温度、反应压力、催化剂影响、以及流化床内部构件等因素进行分析。确保多晶硅冷氢化技术中的四氯化硅实现合理转化,并达到合理经济高效的转化率,满足实际工作的需求,最终推动相关行业的节能、低碳、绿色发展。 展开更多
关键词 多晶硅 冷氢化技术 四氯化硅 转化率
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多晶硅生产换热器防腐措施
19
作者 常青青 王营 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第4期0051-0054,共4页
多晶硅生产阶段中,冷却水是用于控制多晶硅生产温度的必要条件。但是冷却水中包含有很多硫酸根离子、氯离子,而这种化学物质会与换热器设备形成影响,产生腐蚀问题。因此,为有效解决换热器腐蚀问题的出现,确保换热器系统稳定运行。本文... 多晶硅生产阶段中,冷却水是用于控制多晶硅生产温度的必要条件。但是冷却水中包含有很多硫酸根离子、氯离子,而这种化学物质会与换热器设备形成影响,产生腐蚀问题。因此,为有效解决换热器腐蚀问题的出现,确保换热器系统稳定运行。本文分析换热器腐蚀类型与原因,采用金属材料与外加电源保护多种方法进行换热器防腐处理。分析表明,在多晶硅生产阶段,观察腐蚀情况与换热效率变化,采用针对性的防腐措施能够有效解决换热器腐蚀问题,以提升换热器使用寿命。 展开更多
关键词 多晶硅生产 换热器腐蚀 防腐措施
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国内外电子级多晶硅技术发展现状及未来展望
20
作者 王阳 侯乐乐 +1 位作者 王俊华 彭坤 《中国集成电路》 2024年第4期11-15,51,共6页
本文主要分析阐述了多晶硅的不同生产工艺及其优缺点。目前生产电子级多晶硅的主要方法是改良西门子法,该方法在生产过程中能耗较大,污染多,大规模量产比较困难;另外,其它两种工艺是硅烷法和氯硅烷还原法,目前仅适用于太阳能级多晶硅制... 本文主要分析阐述了多晶硅的不同生产工艺及其优缺点。目前生产电子级多晶硅的主要方法是改良西门子法,该方法在生产过程中能耗较大,污染多,大规模量产比较困难;另外,其它两种工艺是硅烷法和氯硅烷还原法,目前仅适用于太阳能级多晶硅制备,未来是否可以满足电子级多晶硅制备要求有待研究;应该看到,分析表明:若氯硅烷还原法可以制备出电子级多晶硅,那么氯硅烷还原法与改良西门子法相结合后的工艺不失为新一代生产电子级多晶硅的好方法。 展开更多
关键词 多晶硅 电子级 改良西门子法
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