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多线摇摆往复式线锯切割蓝宝石法向力试验研究
1
作者 刘亿圣 黄辉 +1 位作者 王兰青 廖信江 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第2期143-150,F0003,共9页
多线摇摆往复式线锯切割加工是目前将蓝宝石晶棒切割成晶圆衬底的主要加工方法,加工过程中法向切割力是反映加工过程稳定性的重要指标。测量了多线摇摆往复式线锯切割蓝宝石晶棒过程中产生的法向力F_(n),跟踪了晶棒不同位置和不同切割... 多线摇摆往复式线锯切割加工是目前将蓝宝石晶棒切割成晶圆衬底的主要加工方法,加工过程中法向切割力是反映加工过程稳定性的重要指标。测量了多线摇摆往复式线锯切割蓝宝石晶棒过程中产生的法向力F_(n),跟踪了晶棒不同位置和不同切割深度下法向力的变化规律,以法向力变化幅值ΔF_(n)为指标,探究各种工艺参数对加工过程稳定性的影响。试验结果表明:法向力F_(n)与线锯的往复运动、工件的摇摆运动有明确的对应关系,晶棒前端的ΔF_(n)与中后端的有明显的不同。线速度V_(s)、最大摇摆角度θ_(max)、单片耗线量M_(d)、张紧力F_(w)、总切割时间T等工艺参数对ΔF_(n)有着不同的影响。ΔF_(n)的波动程度与线锯磨损有着密切的关系。 展开更多
关键词 多线摇摆往复式线锯切割 蓝宝石 法向力 磨损 加工稳定性
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多线往复摇摆线锯切割水晶玻璃的试验研究
2
作者 林志树 黄辉 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期132-140,共9页
利用多线往复摇摆线锯对不同形状的水晶玻璃进行切割试验,测量了不同线速度、不同进给速比条件下的切片表面粗糙度,研究了加工工艺参数对切片表面粗糙度的影响规律。试验结果表明,摇摆运动会有效地降低切片的整体表面粗糙度,线速度的提... 利用多线往复摇摆线锯对不同形状的水晶玻璃进行切割试验,测量了不同线速度、不同进给速比条件下的切片表面粗糙度,研究了加工工艺参数对切片表面粗糙度的影响规律。试验结果表明,摇摆运动会有效地降低切片的整体表面粗糙度,线速度的提高有利于减小切片整体表面粗糙度,进给速比的改变对加工表面不同位置的粗糙度影响较大。单位长度材料去除量与切片表面粗糙度之间有较好的对应关系,减小切割过程中单位长度材料去除量可有效地降低切片的表面粗糙度。利用单位长度材料去除量可有效归整多线往复摇摆线锯加工运动中的多个调控参量。 展开更多
关键词 多线线锯 工艺参数 水晶玻璃 表面粗糙度
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多线往复式线锯切割中单位长度材料去除量的理论分析与试验研究 被引量：6
3
作者 林志树 黄辉 郑生龙 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第13期208-214,共7页
线锯切割被广泛地应用于光伏和微电子行业及其他硬脆材料的切割加工,所切晶片的质量影响后续研抛等工序的加工。建立了多线线锯往复运动与进给运动的理论模型,提出单位长度材料去除量的概念,推导出多线往复线锯切割中,单位长度材料去除... 线锯切割被广泛地应用于光伏和微电子行业及其他硬脆材料的切割加工,所切晶片的质量影响后续研抛等工序的加工。建立了多线线锯往复运动与进给运动的理论模型,提出单位长度材料去除量的概念,推导出多线往复线锯切割中,单位长度材料去除量随加工位置变化的理论模型。理论分析了单片用线量及进给速比对单位长度材料去除量的影响规律。以蓝宝石晶棒为锯切研究对象,进行了不同的锯丝单片用线量以及不同进给速比条件下的锯切试验,测量了切割片的加工质量。研究结果表明,多线往复式切割过程中,单位长度材料去除量随加工过程有明显的变化,单片用线量及进给速比对单位长度材料去除量有明显的影响,单位长度材料去除量对线锯切割质量有着显著的影响。 展开更多
关键词 多线线锯 单片用线量 进给速比 加工质量 单位长度材料去除量
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