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飞秒激光微加工蓝宝石晶片光纤压力传感器
1
作者
江毅
张雨彤
邓辉
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第15期80-87,共8页
提出了一种高温大量程的蓝宝石法布里-珀罗(F-P)干涉仪压力传感器。传感器由三层蓝宝石晶片直接键合而成,包括蓝宝石衬底、带通孔的蓝宝石晶片和感压蓝宝石晶片。飞秒激光用于在蓝宝石晶片的中心刻蚀通孔,并粗糙化感压蓝宝石晶片的外表...
提出了一种高温大量程的蓝宝石法布里-珀罗(F-P)干涉仪压力传感器。传感器由三层蓝宝石晶片直接键合而成,包括蓝宝石衬底、带通孔的蓝宝石晶片和感压蓝宝石晶片。飞秒激光用于在蓝宝石晶片的中心刻蚀通孔,并粗糙化感压蓝宝石晶片的外表面。利用蓝宝石晶片抛光面作为F-P腔的反射面,有助于降低解调出的光学腔长波动,提高压力分辨率。提出的传感器在室温、0~30 MPa的高压力范围内光学腔长随压力线性变化,压力灵敏度为0.1253μm/MPa,相对分辨率达到0.04%FS(full scale,全量程),且能在700℃下稳定工作。
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关键词
光纤光学
光纤
压力
传感器
非本征法布里-珀罗干涉仪
蓝宝石晶片
飞秒激光微加工
大压力量程
原文传递
题名
飞秒激光微加工蓝宝石晶片光纤压力传感器
1
作者
江毅
张雨彤
邓辉
机构
北京理工大学光电学院
信息光子技术工业和信息化部重点实验室
包头师范学院物理科学与技术学院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第15期80-87,共8页
基金
国家自然科学基金(U20B2057)。
文摘
提出了一种高温大量程的蓝宝石法布里-珀罗(F-P)干涉仪压力传感器。传感器由三层蓝宝石晶片直接键合而成,包括蓝宝石衬底、带通孔的蓝宝石晶片和感压蓝宝石晶片。飞秒激光用于在蓝宝石晶片的中心刻蚀通孔,并粗糙化感压蓝宝石晶片的外表面。利用蓝宝石晶片抛光面作为F-P腔的反射面,有助于降低解调出的光学腔长波动,提高压力分辨率。提出的传感器在室温、0~30 MPa的高压力范围内光学腔长随压力线性变化,压力灵敏度为0.1253μm/MPa,相对分辨率达到0.04%FS(full scale,全量程),且能在700℃下稳定工作。
关键词
光纤光学
光纤
压力
传感器
非本征法布里-珀罗干涉仪
蓝宝石晶片
飞秒激光微加工
大压力量程
Keywords
fiber optics
optical fiber pressure sensors
extrinsic Fabry-Pérot interferometer
sapphire wafer
femtosecond laser micromachining
large pressure range
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
飞秒激光微加工蓝宝石晶片光纤压力传感器
江毅
张雨彤
邓辉
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
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