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介质型膜密集波分复用滤光片膜厚监控的研究
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作者 周保青 黄光周 +1 位作者 于继荣 常天海 《真空电子技术》 2002年第2期5-7,共3页
高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备密集波分复用滤光片的关键,本文提出了一种非1/4波长膜系监控膜厚的方法,该方法所采用的系统具有稳定性好、波长分辨率高等优点。
关键词 膜厚监控 密集波分复用滤光片 介质膜
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