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通过介质层预注电荷提高射频微机电开关性能
1
作者
熊毅
张向军
温诗铸
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第8期1219-1224,共6页
为提高电容式静电驱动射频(radio frequency,RF)微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)开关的驱动与使用性能,进行了模拟仿真。分析发现:随着开关次数的增加,介质层积累的电荷可以引起电容-电压曲线的偏移,进而引起开关的...
为提高电容式静电驱动射频(radio frequency,RF)微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)开关的驱动与使用性能,进行了模拟仿真。分析发现:随着开关次数的增加,介质层积累的电荷可以引起电容-电压曲线的偏移,进而引起开关的失效。为了避免这样的失效,通过在界面介质层内预注入适量的静电荷,并采用相应的新的驱动模式,可以在不改变开关结构参数的条件下,将最佳驱动电源电压幅值降为约原设计幅值1/2。对仿真分析的结论进行相关实验,一定程度上验证了设想的可行性。同时分析还发现如果采用适当的介电层材料,利用界面预注入的静电荷可能可以减慢电荷在介电层中的积累速度,从而维持驱动电压的稳定并延长开关的使用寿命。
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关键词
射
频
微
机电
(
rf
MEMS)开关
静电累积
黏附失效
电荷预注入
原文传递
金刚石SAW滤波器的设计和制作
被引量：
4
2
作者
陈颖慧
高杨
+1 位作者
郑英彬
赵兴海
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2012年第10期662-666,692,共6页
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金...
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真。然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品。
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关键词
射
频
微
机电
(
rf
MEMS)
SAW滤波器
金刚石
ZNO薄膜
叉指换能器(IDT)
原文传递
题名
通过介质层预注电荷提高射频微机电开关性能
1
作者
熊毅
张向军
温诗铸
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第8期1219-1224,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(50575123
50730007)
+2 种基金
长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT0508)
国家自然科学基金委创新研究群体科学基金资助项目(50721004)
国家"九七三"重点基础研究发展计划项目(2007CB607604)
文摘
为提高电容式静电驱动射频(radio frequency,RF)微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)开关的驱动与使用性能,进行了模拟仿真。分析发现:随着开关次数的增加,介质层积累的电荷可以引起电容-电压曲线的偏移,进而引起开关的失效。为了避免这样的失效,通过在界面介质层内预注入适量的静电荷,并采用相应的新的驱动模式,可以在不改变开关结构参数的条件下,将最佳驱动电源电压幅值降为约原设计幅值1/2。对仿真分析的结论进行相关实验,一定程度上验证了设想的可行性。同时分析还发现如果采用适当的介电层材料,利用界面预注入的静电荷可能可以减慢电荷在介电层中的积累速度,从而维持驱动电压的稳定并延长开关的使用寿命。
关键词
射
频
微
机电
(
rf
MEMS)开关
静电累积
黏附失效
电荷预注入
Keywords
radio frequency micro-electro-mechanical system （
rf
MEMS） switch
charge trapping
stiction failure
pre-injected charge
分类号
TN63 [电子电信—电路与系统]
原文传递
题名
金刚石SAW滤波器的设计和制作
被引量：
4
2
作者
陈颖慧
高杨
郑英彬
赵兴海
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
中国工程物理研究院北京研究生部
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2012年第10期662-666,692,共6页
基金
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016
2010A0302013)
文摘
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真。然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品。
关键词
射
频
微
机电
(
rf
MEMS)
SAW滤波器
金刚石
ZNO薄膜
叉指换能器(IDT)
Keywords
rf
MEMS
SAW filter
diamond
ZnO thin film
interdigital transducer （IDT）
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TN713 [电子电信—电路与系统]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
通过介质层预注电荷提高射频微机电开关性能
熊毅
张向军
温诗铸
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
原文传递
2
金刚石SAW滤波器的设计和制作
陈颖慧
高杨
郑英彬
赵兴海
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2012
4
原文传递
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