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题名一种改进型梁-岛-膜压力传感器的研究与设计
被引量：5
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作者
郝建红
范宗皓
李艺
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机构
华北电力大学电气与电子工程学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019年第4期10-14,19,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(61372050)
科技部区及科技合作项目(2011DFR00780)
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文摘
研究了一种量程为800kPa的改进型梁-岛-膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过与常见的C型和E型结构进行仿真对比,证明这种改进型结构的传感器灵敏度得到了很大提高。采用Intel liSuite仿真分析最大等效应力、挠度和输出电压,得出在中心膜尺寸为2.6mm×2.6mm×60μm,梁尺寸为400μm×200μm×60μm,岛尺寸为1.3mm×1.3mm×370μm的情况下,该结构具有较高的线性度和灵敏度,同时进行了制版与加工流程定义。为了实现结构的优化,设计了压敏电阻的尺寸和阻值,通过对改进型结构的仿真,确定了获得最大电压输出时压敏电阻的尺寸;并分析比较了同一硅杯尺寸下3种结构不同压力下的最大等效应力、挠度和输出电压分布图,得出改进型结构灵敏度最佳。
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关键词
压阻式压力传感器
压敏电阻
IntelliSuite
改进型梁-岛-膜结构
MEMS
灵敏度
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Keywords
piezoresistive pressure sensor
piezoresistor
IntelliSuite
improved beam island membrane structure
MEMS
sensitivity
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于SOI晶圆材料的硅微压传感器
被引量：4
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作者
李新
刘野
刘沁
孙承松
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机构
沈阳工业大学信息科学与工程学院
沈阳仪表科学研究院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012年第5期15-16,共2页
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基金
辽宁省自然基金项目(20102162)
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文摘
为解决硅微压传感器制作过程中存在的问题,以SOI晶圆材料为基础,使用有限元方法优化设计岛-膜型1kPa压力敏感结构,采用MEMS工艺完成传感器芯片制作,并对封装后的传感器进行了测试。测试结果表明,传感器输出灵敏度大于60 mV/kPa,非线性小于0.1%FS,精度小于0.5%FS,器件具有较好的性能指标。
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关键词
硅微压传感器
岛-膜结构
SOI晶圆
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Keywords
silicon low pressure sensor
island-diaphragm structure
SOI Wafer
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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