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飞秒激光制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器 被引量：14
1
作者 吴易明 李明 程光华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期584-587,共4页
基于飞秒激光光刻技术,提出了光纤端面光刻制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器的方案.该方案解决了传统飞秒激光制造光纤F-P传感器的平行度差的问题,制造了对比度超过20dB的高灵敏度和高分辨率的微型F-P光纤传感器件.该制造方法简单、... 基于飞秒激光光刻技术,提出了光纤端面光刻制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器的方案.该方案解决了传统飞秒激光制造光纤F-P传感器的平行度差的问题,制造了对比度超过20dB的高灵敏度和高分辨率的微型F-P光纤传感器件.该制造方法简单、参量可控,制作的器件可应用恶劣温度条件下应变的精确测量. 展开更多
关键词 飞秒激光 光纤F—P干涉型传感器 平行度和光洁度
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