多层钒矿体开采应力迁移规律和分布研究

1

作者 池秀文 董浩然 +3 位作者 汪宗英 王其洲 赵龙 范纯超 《金属矿山》 CAS 北大核心 2023年第9期1-11,共11页

针对多层钒矿体重叠分布、相邻矿层开采重复扰动、围岩应力分布复杂等问题,采用理论分析和数值模拟方法,建立了单层矿体矩形采空区围岩应力分布平面模型,并结合数值模拟结果,拟合了单层矿单采场采空区围岩垂直应力峰值变化率与其跨度关... 针对多层钒矿体重叠分布、相邻矿层开采重复扰动、围岩应力分布复杂等问题,采用理论分析和数值模拟方法,建立了单层矿体矩形采空区围岩应力分布平面模型,并结合数值模拟结果,拟合了单层矿单采场采空区围岩垂直应力峰值变化率与其跨度关系式,分析了单层矿多采场围岩应力叠加特征;在此基础上,定义了双层矿体开采时采空区相对位置关系类型,研究了双层矿采空区不同跨距和垂距对其围岩应力分布特征的影响规律。研究表明:钒矿体采空区围岩存在典型的应力释放、应力跌落、应力增高和原始应力等4区分布特征,采空区跨度越大,其应力峰值越高,且应力增高区以深围岩内的应力变化率随着与应力峰值点距离的增大按照幂函数关系减小,应力跌落区内的应力变化率随着与应力峰值点距离的增大而增大;相邻采空区的应力增高区会在两者间的矿柱内叠加,矿柱内某点的应力变化率为两侧采空区分别在该点引起的应力变化率之和;当下层采空区应力释放区与上层采空区应力增高区重叠时均导致围岩内拉应力增高,当上层采空区的应力释放区与下层采空区任一区域重叠时均导致压应力降低;上下采空区重叠与非重叠区域的交汇处应力变化显著;根据多层矿体开采应力迁移规律,提出采空区强、弱扰动距,划分强扰动区、弱扰动区和无扰动区,为多层矿体开采时合理确定回采参数与回采顺序提供参考。 展开更多

关键词 钒矿 应力迁移 多层矿体 重叠关系 矿层间距

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软土盾构隧道近接施工应力迁移规律研究 被引量：13

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作者 张晓清 张孟喜 +1 位作者 李磊 王有成 《地下空间与工程学报》 CSCD 北大核心 2014年第6期1324-1329,共6页

在多线叠交隧道空间布置形式下,盾构近距离穿越既有隧道施工对既有隧道的影响主要通过扰动周边的土体,使其应力发生改变,进而影响既有隧道的应力状态。针对外力作用下衬砌和土体两种不同介质进行耦合作用时应力的快速迁移现象,构建了考... 在多线叠交隧道空间布置形式下,盾构近距离穿越既有隧道施工对既有隧道的影响主要通过扰动周边的土体,使其应力发生改变,进而影响既有隧道的应力状态。针对外力作用下衬砌和土体两种不同介质进行耦合作用时应力的快速迁移现象,构建了考虑土体流变特性的盾构近接施工应力迁移模型,推导出新建隧道以任一穿越角度施工时,既有隧道和扰动土体在时间域内的应力迁移解析式,并讨论了取值参数的敏感性程度。分析结果可为今后类似多线叠交隧道工程的设计和施工提供理论指导。 展开更多

关键词 多线叠交 盾构隧道 近接施工 应力迁移 流变性

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倾斜中厚矿体卸压开采应力迁移规律 被引量：18

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作者 刘建坡 陈斌 杨宇江 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1349-1352,共4页

针对金属矿床围岩破碎、采准巷道受地压影响破坏严重的现象,应用数值模拟的方法,对不同开挖方式下岩体应力场变化规律和分布特征进行了分析,探讨了通过卸压工程调控应力场迁移的力学机制,为采场结构参数的优化提供了理论依据.研究表明:... 针对金属矿床围岩破碎、采准巷道受地压影响破坏严重的现象,应用数值模拟的方法,对不同开挖方式下岩体应力场变化规律和分布特征进行了分析,探讨了通过卸压工程调控应力场迁移的力学机制,为采场结构参数的优化提供了理论依据.研究表明:开挖矿体会造成附近岩体内的应力重新分布,采用增大空区跨度和减小空区高度的回采方案,可以实现卸压开采的目的;结合某铜矿倾斜中厚矿体条件,进路布置在距矿体下盘6 m处,进路附近的垂向应力降低18%,能够满足卸压及经济效益的要求. 展开更多

关键词 无底柱分段崩落法 卸压开采 应力迁移 数值模拟

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煤柱过渡区的应力迁移与冲击矿压显现特征 被引量：5

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作者 张少杰 王金安 魏现昊 《中国矿业》 北大核心 2013年第5期73-78,共6页

以华亭煤矿250103工作面煤柱过渡区开采为背景,采用数值模拟、现场微震和应力监测,研究了工作面回采推进时,煤体内的应力分布及迁移规律,揭示了工作面的冲击矿压显现特征。结果表明:应力的迁移路径为回风顺槽下帮煤体→回撤通道上帮煤... 以华亭煤矿250103工作面煤柱过渡区开采为背景,采用数值模拟、现场微震和应力监测,研究了工作面回采推进时,煤体内的应力分布及迁移规律,揭示了工作面的冲击矿压显现特征。结果表明:应力的迁移路径为回风顺槽下帮煤体→回撤通道上帮煤体→回风顺槽下帮煤体和大煤柱。在小煤柱区,震动主要集中在相邻采空区中;在大煤柱区,震动主要集中在当前工作面和大煤柱中。测点应力出现对应升高和降低时,易发生强矿压。最后,提出了有效的矿压防治措施和巷道支护技术,确保工作面的安全生产。 展开更多

关键词 煤柱 过渡区 应力迁移 冲击矿压

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加载条件变化对圆端形钢管混凝土短柱应力迁移的有限元分析 被引量：1

5

作者 李兵 谢晋 +1 位作者 杨永生 佟舟 《沈阳建筑大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期419-426,共8页

目的研究圆端形钢管混凝土短柱在拆分荷载作用下受力性能,以改进圆端形钢管混凝土短柱的性能。方法利用ABAQUS软件对不同加载条件下轴压圆端形钢管混凝土短柱进行模拟分析,考虑到圆端钢管混凝土短柱可以看做是由双圆形混凝土柱与矩形混... 目的研究圆端形钢管混凝土短柱在拆分荷载作用下受力性能,以改进圆端形钢管混凝土短柱的性能。方法利用ABAQUS软件对不同加载条件下轴压圆端形钢管混凝土短柱进行模拟分析,考虑到圆端钢管混凝土短柱可以看做是由双圆形混凝土柱与矩形混凝土柱的组合,按单独加载垫块(方形、矩形、椭圆形)设置于柱截面整体中点和两个加载垫块(双方形、双圆形)分别设置于圆端的圆形中心进行轴压分析。结果对比两种不同荷载落点的圆端形钢管混凝土短柱承载力后发现,以两端半圆形钢管圆心点为荷载落点的圆端形钢管混凝土短柱承载能力更高。加载垫块形状越接近外部钢管形状时,其承载能力越强。加入工字钢强化的圆端形钢管混凝土短柱承载能力明显强于正常情况下圆端形钢管混凝土短柱。结论采用内置工字型钢的方法可以改善圆端形钢管混凝土短柱应力不均匀现象,提高其承载能力。 展开更多

关键词 圆端形钢管混凝土 垫块形状 双点局部轴压 应力迁移 钢骨钢管混凝土

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Cu互连应力迁移失效有限元分析

6

作者 刘静 刘彬 +2 位作者 汪家友 吴振宇 杨银堂 《微细加工技术》 2007年第6期52-56,共5页

为研究铜互连系统中各因素对残余应力及应力迁移失效的影响,建立了三维有限元模型,用ANSYS软件分析计算了Cu互连系统中的残余应力分布情况,并对比分析了不同结构、位置及层间介质材料的互连系统中的残余应力及应力梯度。残余应力在金属... 为研究铜互连系统中各因素对残余应力及应力迁移失效的影响,建立了三维有限元模型,用ANSYS软件分析计算了Cu互连系统中的残余应力分布情况,并对比分析了不同结构、位置及层间介质材料的互连系统中的残余应力及应力梯度。残余应力在金属线中通孔正下方M2互连顶端最小,在通孔内部达到极大值,应力梯度在Cu M2互连顶端通孔拐角底部位置达到极大值。双通孔结构相对单通孔结构应力分布更为均匀,应力梯度更小。结果表明,空洞最易形成位置由应力和应力梯度的大小共同决定,应力极大值随通孔直径和层间介质介电常数的减小而下降,随线宽和重叠区面积的减小而上升。应力梯度随通孔直径、层间介质介电常数和重叠区面积的减小而下降,随线宽减小而上升。 展开更多

关键词 CU互连 应力迁移 残余应力 有限元分析

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人工开挖土质边坡稳定性分析的应力迁移法 被引量：1

7

作者 许金凯 李小勇 《西部探矿工程》 CAS 2004年第12期3-6,共4页

在对人工开挖土质边坡失稳机理进行深入分析的基础上 ,提出了利用应力迁移法进行边坡稳定性分析的方法。该方法利用有限元方法计算土体单元的应力应变 ,根据破坏单元直接确定临界滑裂面。该方法能够得到边坡的实际工况。开发了利用应力... 在对人工开挖土质边坡失稳机理进行深入分析的基础上 ,提出了利用应力迁移法进行边坡稳定性分析的方法。该方法利用有限元方法计算土体单元的应力应变 ,根据破坏单元直接确定临界滑裂面。该方法能够得到边坡的实际工况。开发了利用应力迁移法进行人工开挖土质边坡的稳定性分析计算程序。 展开更多

关键词 土质边坡 应力迁移法 滑裂面 有限元方法 稳定系数

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关于超大规模集成电路制造中的应力迁移问题 被引量：3

8

作者 郭佳惠 祝六花 《电子器件》 CAS 2000年第4期262-266,共5页

应力迁移是影响集成电路 ( IC)金属配线可靠性的缺陷之一。它缘起于绝缘膜与金属配线之间的热应力。本文概要介绍两种性质的绝缘膜产生的两种应力缺陷以及检测方式 ,并分类说明金属膜厚、线宽、温度等与应力的关系。简要说明应力迁移产... 应力迁移是影响集成电路 ( IC)金属配线可靠性的缺陷之一。它缘起于绝缘膜与金属配线之间的热应力。本文概要介绍两种性质的绝缘膜产生的两种应力缺陷以及检测方式 ,并分类说明金属膜厚、线宽、温度等与应力的关系。简要说明应力迁移产生的可能机理及目前采取的几种对策。 展开更多

关键词 应力迁移 金属配线 ULSI 集成电路 制造

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基于应力迁移法的边坡稳定性分析

9

作者 李小敏 《山西建筑》 2020年第12期10-12,共3页

基于计算过程中单元竖向应力保持不变和折减前后大小主应力方向不变的两个假定,对基于折减的应力迁移法进行了探索,给出了计算公式和操作步骤,并应用ABAQUS软件进行了数值模拟,通过算例将其与极限平衡法进行了对比分析,验证了其适用性... 基于计算过程中单元竖向应力保持不变和折减前后大小主应力方向不变的两个假定,对基于折减的应力迁移法进行了探索,给出了计算公式和操作步骤,并应用ABAQUS软件进行了数值模拟,通过算例将其与极限平衡法进行了对比分析,验证了其适用性和合理性。 展开更多

关键词 边坡稳定性 应力迁移法 强度折减法

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矿柱群荷载下双层磷矿房柱式开采底板应力迁移特征

10

作者 苏辕 刘晓云 +3 位作者 罗斌玉 杨世荣 郝俊艳 李鹏程 《矿业研究与开发》 CAS 北大核心 2024年第11期46-55,共10页

开采近距离多层矿体时,下层矿体开采的安全性受到上层矿采空区矿柱底板应力迁移规律的影响。为研究在矿柱群荷载作用下的底板应力传递规律,以某磷矿为研究对象,从半无限空间体理论出发,将矿柱群底板荷载分布规律视为周期性方波,采用余... 开采近距离多层矿体时,下层矿体开采的安全性受到上层矿采空区矿柱底板应力迁移规律的影响。为研究在矿柱群荷载作用下的底板应力传递规律,以某磷矿为研究对象,从半无限空间体理论出发,将矿柱群底板荷载分布规律视为周期性方波,采用余弦函数近似表征方波的波函数(矿柱群底板应力分布)。采用逆解法建立了底板应力传递的方波模型。运用数值模拟方法研究了两种不同本构关系(弹性模型和摩尔-库仑模型)下采空区底板的应力集中程度和矿柱群的能量储存耗散规律。结果表明:在弹性本构模型下,采空区矿柱传递的荷载和储存的弹性能越多,底板应力集中越高;在弹塑性本构模型下,采区中心区域矿柱产生破坏,能量发生耗散,底板应力集中程度较小;在矿柱荷载作用下,底板15 m范围内存在较大的应力集中,矿柱下3 m处应力值最高。研究结果为近距离多层矿体房柱式开采的地压控制提供了参考。 展开更多

关键词 多层矿体 底板应力迁移 矿柱群 应力集中系数 房柱法开采

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通孔尺寸对铜互连应力迁移失效的影响 被引量：3

11

作者 吴振宇 杨银堂 +3 位作者 柴常春 李跃进 汪家友 刘彬 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期3730-3734,共5页

在200℃温度下进行了700h双层铜互连(M1/M2)的应力迁移加速老化试验,结合有限元分析和聚焦离子束(focused-ion-beam,简称FIB)技术研究了通孔直径分别为500和350nm的铜互连应力诱生空洞失效现象,探讨了应力诱生空洞的形成机理,并分析了... 在200℃温度下进行了700h双层铜互连(M1/M2)的应力迁移加速老化试验,结合有限元分析和聚焦离子束(focused-ion-beam,简称FIB)技术研究了通孔直径分别为500和350nm的铜互连应力诱生空洞失效现象,探讨了应力诱生空洞的形成机理,并分析了通孔尺寸对铜互连应力迁移的影响.结果表明,M1互连应力和应力梯度在通孔底部边缘处达到极大值.应力梯度在应力诱生空洞成核过程中起主导作用,由张应力产生的过剩空位在应力梯度作用下沿CuM1/SiN界面作扩散运动并在应力梯度极大值处成核生长成空洞.由于M1互连应力沿横向方向变化较快,因此应力诱生空洞的横向生长速率较大.当通孔直径增大时,互连应力和应力梯度值增大,并导致应力诱生空洞的生长速率上升. 展开更多

关键词 铜互连 应力迁移 应力诱生空洞 失效

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Cu互连应力迁移温度特性研究

12

作者 吴振宇 杨银堂 +3 位作者 柴常春 李跃进 汪家友 刘静 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期2625-2630,共6页

提出了一种基于扩散-蠕变机制的空洞生长模型,结合应力模拟计算和聚焦离子束分析技术研究了Cu互连应力诱生空洞失效现象,探讨了应力诱生空洞的形成机制并分析了空洞生长速率与温度、应力梯度和扩散路径的关系.研究结果表明,在CuM1互连... 提出了一种基于扩散-蠕变机制的空洞生长模型,结合应力模拟计算和聚焦离子束分析技术研究了Cu互连应力诱生空洞失效现象,探讨了应力诱生空洞的形成机制并分析了空洞生长速率与温度、应力梯度和扩散路径的关系.研究结果表明,在CuM1互连顶端通孔拐角底部处应力和应力梯度达到极大值并观察到空洞出现.应力梯度是决定空洞成核位置及空洞生长速率的关键因素.应力迁移是空位在应力梯度作用下沿主导扩散路径进行的空位积聚与成核现象,应力梯度的作用与扩散作用随温度变化方向相反,并存在一个中值温度使得应力诱生空洞速率达到极大值. 展开更多

关键词 CU互连 应力迁移 应力诱生空洞 失效

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应力迁移法及其在边坡稳定分析中的应用

13

作者 张吉兆 韩娜娜 《工业建筑》 CSCD 北大核心 2014年第7期95-101,共7页

假定在计算过程中单元竖向应力保持不变和折减前、后大及小主应力方向不变的前提下,给出了应力迁移法的计算式以及操作步骤,并应用ABAQUS软件进行数值模拟分析。然后将应力迁移法应用到边坡稳定性分析的工程实践中,探讨其在实际工程应... 假定在计算过程中单元竖向应力保持不变和折减前、后大及小主应力方向不变的前提下,给出了应力迁移法的计算式以及操作步骤,并应用ABAQUS软件进行数值模拟分析。然后将应力迁移法应用到边坡稳定性分析的工程实践中,探讨其在实际工程应用中的可行性。通过分析,得出应力迁移法中以特征点位移突变、广义剪应变贯通和等效塑性应变贯通作为失稳判据均具有较好的一致性,而以计算不收敛作为失稳判据得出的安全系数比前三个判据得出的安全系数略大一些的结论。 展开更多

关键词 边坡稳定性分析 应力迁移法 失稳判据

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应力诱发界面迁移下晶内孔洞的演化 被引量：4

14

作者 余文韬 黄佩珍 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第4期828-836,共9页

随着微电子技术的迅猛发展,集成电路中内连导线的失效问题引起广泛关注.内连导线内部孔洞萌生、长大、漂移和失稳变形成狭长裂纹,从而导致电路的开路失效.这是内连导线失效的常见形式.而界面迁移是导致微结构形态演化的主要机制之一.本... 随着微电子技术的迅猛发展,集成电路中内连导线的失效问题引起广泛关注.内连导线内部孔洞萌生、长大、漂移和失稳变形成狭长裂纹,从而导致电路的开路失效.这是内连导线失效的常见形式.而界面迁移是导致微结构形态演化的主要机制之一.本文基于界面迁移下微结构演化的经典理论和弱解描述,建立了应力诱发界面迁移下微结构演化的有限单元法,并验证了算法的可靠性.对铜内连导线中晶内孔洞的演化进行了数值模拟,详细分析了应力、线宽及形态比对晶内孔洞演化的影响.研究结果表明,椭圆形晶内孔洞存在生长和收缩两种演化分叉趋势.通过大量数值分析得到了晶内孔洞演化的临界应力?σ_c、临界线宽?h_c和临界形态比β_c.当?σ≥?σ_c,?h≤?h_c或β≥β_c时,晶内孔洞会沿长轴长大;反之,晶内孔洞会收缩甚至愈合.此外,应力?σ越大、线宽?h越小或形态比β越大,晶内孔洞越易发生长大,且孔洞面积增大速度越快;?σ越小、?h越大或β越小,晶内孔洞越易发生收缩,且孔洞面积减小速度越快. 展开更多

关键词 应力迁移 界面迁移 有限单元法 晶内孔洞演化 孔洞生长 收缩

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热-水-应力-迁移耦合条件下双重孔隙-裂隙介质的抗剪强度及有限元分析 被引量：6

15

作者 张玉军 琚晓冬 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期877-884,共8页

考虑裂隙的连通率、间距、孔隙基质和裂隙材料在表征单元(REV)中的体积分数,并假定双重孔隙-裂隙介质的等效内摩擦角保持常数,而等效黏聚力是固有黏聚力、等效塑性应变、基质吸力、溶质浓度及温度的函数,提出了一种在热-水-应力-迁移耦... 考虑裂隙的连通率、间距、孔隙基质和裂隙材料在表征单元(REV)中的体积分数,并假定双重孔隙-裂隙介质的等效内摩擦角保持常数,而等效黏聚力是固有黏聚力、等效塑性应变、基质吸力、溶质浓度及温度的函数,提出了一种在热-水-应力-迁移耦合条件下确定表征单元内任一平面上等效的黏聚力及内摩擦角的方法。针对一个假定的位于非饱和双重孔隙-裂隙岩体中的高放废物地质处置模型进行了数值模拟及分析。结果表明,基质吸力对于等效黏聚力的增强作用大于等效塑性应变和溶质浓度的减弱作用,使得等效黏聚力得到了提高,故减少了围岩中的塑性区;由此岩体应力、孔(裂)隙水压力及流速、孔(裂)隙溶质浓度的分布及量值也发生相应的改变。 展开更多

关键词 热-水-应力-迁移耦合 双重孔隙-裂隙介质 抗剪强度 有限元分析

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应力迁移对软土固结计算的影响

16

作者 张向东 刘国明 《福州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期594-597,611,共5页

应用Biot软土固结理论,在有限元中考虑土体的拉裂和屈服破坏对计算结果的影响,采用迭代算法,使计算结果更接近实际.以某软基路堤处理为实例,计算了迭代前后的数据,以说明迭代算法的合理性.

关键词 BIOT固结 沉降 应力迁移 软土

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核废料地质处置近场热—水—应力—迁移耦合二维有限元分析 被引量：13

17

作者 张玉军 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1553-1557,共5页

引入渗透迁移方程,将所开发的饱和—非饱和孔隙介质中热—水—应力耦合弹塑性模型及其二维有限元程序进行了扩展和改进,使之可以同步地对温度场、渗流场、应力场和放射性核素浓度场的变化进行解析。然后针对一个假想的核废料处置库算例... 引入渗透迁移方程,将所开发的饱和—非饱和孔隙介质中热—水—应力耦合弹塑性模型及其二维有限元程序进行了扩展和改进,使之可以同步地对温度场、渗流场、应力场和放射性核素浓度场的变化进行解析。然后针对一个假想的核废料处置库算例,考察了在热—水—应力—迁移耦合作用条件下近场温度、孔隙水压力及放射性核素浓度的分布及变化。 展开更多

关键词 放射性核素 浓度 热—水—应力—迁移耦合 二维有限元分析

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考虑溶质浓度影响的热-水-应力-迁移耦合模型及数值模拟 被引量：11

18

作者 张玉军 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期212-218,224,共8页

高放射性核废料地质处置库围岩中地下水的密度因溶质浓度不同而发生变化,这将影响到饱和-非饱和孔隙介质中近场和远场的热-水-应力耦合过程,同时温度场、应力场也要对地下水中的核素及矿物质迁移产生作用。考虑这两个因素,建立和引入了... 高放射性核废料地质处置库围岩中地下水的密度因溶质浓度不同而发生变化,这将影响到饱和-非饱和孔隙介质中近场和远场的热-水-应力耦合过程,同时温度场、应力场也要对地下水中的核素及矿物质迁移产生作用。考虑这两个因素,建立和引入了相关的应力平衡方程、水连续性方程、能量守恒方程和渗透迁移方程,并研制出了对应分析孔隙介质中热-水-应力-迁移耦合问题的二维有限元程序。通过对一个假定的核废料地下处置库在核素泄漏后多场耦合过程的数值计算,考察了近场围岩中的温度、应力、孔隙水压力、核素浓度的分布及随时间的变化。结果初步显示了所建模型及程序可模拟热-水-应力-迁移耦合现象,因而具有一定的实用性。 展开更多

关键词 岩土力学 核废料 地质处置 溶质浓度 热-水-应力-迁移耦合 数值模拟

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核废物地质处置中热-水-应力耦合对迁移影响的三维有限元模拟 被引量：9

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作者 张玉军 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期2126-2132,共7页

将所建立的热-水-应力-迁移耦合模型及开发的有限元程序,由二维分析拓展到三维分析,并从方法论研究的角度,以一个简单的核废物地质处置模型为算例,进行热-水-应力-迁移耦合过程的三维数值模拟,考察了近场的温度、饱和度、核素浓度、孔... 将所建立的热-水-应力-迁移耦合模型及开发的有限元程序,由二维分析拓展到三维分析,并从方法论研究的角度,以一个简单的核废物地质处置模型为算例,进行热-水-应力-迁移耦合过程的三维数值模拟,考察了近场的温度、饱和度、核素浓度、孔隙水压力、位移、正应力、流速等的分布与变化,认为计算结果符合规律,得出了若干结论:为了精确地模拟放射性核素迁移,就必须将温度场、渗流场、应力场和核素浓度场进行耦合分析;核废物埋存若干年后将在处置孔壁附近产生较高的压应力;缓冲层内各点的核素浓度达到相对稳定的时间要比温度和饱和度达到相对稳定的时间长得多。 展开更多

关键词 岩石力学 核废物 地质处置 热-水-应力-迁移耦合 三维模型 有限元分析

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VLSI多层互连可靠性　第二部分:应力感应失效 被引量：1

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作者 李志宏 武国英 +1 位作者 陈文茹 郝一龙 《微电子技术》 1994年第3期1-16,共16页

关键词 VISI 应力迁移 可靠性 多层互连

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