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以废弃电子级硅片回收高纯硅的工艺研究 被引量：1
1
作者 徐华毕 梁宗存 +2 位作者 李青松 李仲吉 沈辉 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期560-563,共4页
讨论了来源于半导体器件行业的废弃电子级硅片的回收处理工艺。首先对不同样品进行分类,然后对硅片表面金属杂质层进行喷砂或化学腐蚀处理;并对样品进行了扫描电镜(SEM)、电学性能和痕量杂质元素方面的测试和分析。结果表明使用该方法... 讨论了来源于半导体器件行业的废弃电子级硅片的回收处理工艺。首先对不同样品进行分类,然后对硅片表面金属杂质层进行喷砂或化学腐蚀处理;并对样品进行了扫描电镜(SEM)、电学性能和痕量杂质元素方面的测试和分析。结果表明使用该方法回收处理废弃硅片切实可行,并能有效地节约利用高纯硅材料,对当前供不应求的太阳能级硅材料起到一定的补充作用。 展开更多
关键词 废弃电子级硅片 回收 喷砂 化学腐蚀
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