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强光元件逆向哈特曼在位检测装置误差敏感因素分析与验证
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作者 王姗姗 石峰 +7 位作者 乔硕 徐博文 郝群 宋辞 铁贵鹏 田野 翟德德 彭星 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期31-40,共10页
针对基于强光元件高精度面形在位检测需求,开展了面形测量误差敏感因素仿真分析,进行了系统结构误差和温度误差对测量结果的影响研究,分析各类误差对测量面形误差的具体影响,设计并搭建在位检测系统,开展系统温度变化、系统重复性、系... 针对基于强光元件高精度面形在位检测需求,开展了面形测量误差敏感因素仿真分析,进行了系统结构误差和温度误差对测量结果的影响研究,分析各类误差对测量面形误差的具体影响,设计并搭建在位检测系统,开展系统温度变化、系统重复性、系统稳定性等测量实验。研究结果表明:所建立的逆向哈特曼仿真检测模型可用于平面、球面、非球面、自由曲面等各类型被测面,各类影响因素对测量结果的影响主要体现在低频误差上,对高频误差的影响相对较小,搭建的在位检测系统6 h内测量面形误差PV值最大不超过68 nm(约λ/10),RMS值最大不超过15 nm(约λ/40)。 展开更多
关键词 面形测量 在位检测 强光元件 误差分析 仿真模型
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