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题名LC-11型强流离子注入机晶片电荷积累效应分析
被引量：2
- 1
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作者
陈林
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机构
电子工业部第四十八研究所
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出处
《微细加工技术》
EI
1998年第2期14-17,共4页
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文摘
通过讨论强流离子注入过程中晶片电荷积累所引起的一系列问题，分析了ＬＣ－１１型强流离子注入机防晶片电荷积累的有效性。
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关键词
强流离子注入机
晶片电荷积累
电子淋浴器
ULSI
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Keywords
High current implanter
Wafer charging
electrion shower
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分类号
TN405.3
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名全机械扫描强流离子注入机重复性研究
被引量：2
- 2
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作者
陈林
杨建生
颜享迪
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机构
电子工业部第
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出处
《微细加工技术》
1997年第1期26-30,共5页
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文摘
对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响。结果表明只要束流纹波在9％以内，剂量重复性可控制在1％以下。
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关键词
强流离子注入机
全机械扫描
剂量重复性
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Keywords
high current ion implanter
full mechenical scan
dose reproducibility
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
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题名用于强流离子注入机的磁分析器电源设计
被引量：1
- 3
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作者
孙雪平
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机构
电子部第四十八研究所
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出处
《微细加工技术》
1997年第4期19-24,共6页
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文摘
本文简要介绍了该电源的指标及电路．并详细论述了提高电源稳定度和可靠性的方法和措施，最后给出了测试结果和运行情况。
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关键词
强流离子注入机
磁分析器
电源
微电子技术
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Keywords
high-current ion implanter
analyzer power supply
stability
reliability
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
TN86
[电子电信—信息与通信工程]
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题名强流离子注入机晶片电荷积累及控制
- 4
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作者
陈林
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机构
电子工业部第四十八所
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出处
《LSI制造与测试》
1997年第3期23-26,35,共5页
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文摘
分析了离子注入机中晶片电荷积累的物理机理，介绍了强流离子注入机中控制晶片电荷积累的方法，并讨论了强流离子注入机设计应注意的问题。
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关键词
强流离子注入机
电荷积累
晶片
离子注入
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
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题名LC-11型强流离子注入机剂量控制器
被引量：1
- 5
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作者
杨建生
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机构
电子工业部第
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出处
《微细加工技术》
1997年第4期12-18,共7页
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文摘
本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。
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关键词
强流离子注入机
剂量控制器
微电子技术
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Keywords
high-current ion implanter
Dose controller
uniformity
repeatability
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
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题名可编程控制器在强流离子注入机真空系统中的应用
- 6
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作者
沈雨
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机构
电子部第四十八研究所
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出处
《电子器件》
CAS
1997年第1期482-487,共6页
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文摘
本文介绍了以可编程控制器SYSMAC-C200H为核心的真空控制系统,描述了控制系统的要求、组成及系统软件、硬件的设计思想和故障指示.
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关键词
可编程控制器
强流离子注入机
真空系统
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Keywords
Programmable Controller, High Current Ion Implanter, Vaccum System
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
TN105
[电子电信—物理电子学]
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