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采用DC Arc Plasma JetCVD方法沉积微/纳米复合自支撑金刚石膜 被引量:3
1
作者 戴风伟 陈广超 +7 位作者 兰昊 J.Askari 宋建华 李成明 佟玉梅 李彬 黑立富 吕反修 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1200-1202,1208,共4页
在30kW级直流电弧等离子体喷射化学气相沉积(DC Arc P lasm a Jet CVD)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过调节甲烷浓度以及控制其他沉积参数,在Mo衬底上沉积出微/纳米复合自支撑金刚石膜。实验表明,当微米金刚石膜层沉积结束后,在随后... 在30kW级直流电弧等离子体喷射化学气相沉积(DC Arc P lasm a Jet CVD)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过调节甲烷浓度以及控制其他沉积参数,在Mo衬底上沉积出微/纳米复合自支撑金刚石膜。实验表明,当微米金刚石膜层沉积结束后,在随后的沉积中,随着甲烷浓度的增加,金刚石膜表面的晶粒大小是逐渐减小的。当甲烷浓度达到20%以上时,金刚石膜生长面晶粒呈现菜花状的小晶团,膜体侧面已经没有了粗大的柱状晶,而是呈现出光滑的断口,对该层进行拉曼谱分析显示,位于1145 cm-1附近有一定强度的散射峰出现。这说明所沉积的晶粒全部变为纳米级尺寸。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体喷射化学气相沉积 微/纳米复合自支撑金刚石膜 二次形核 拉曼光谱
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微-纳米复合金刚石薄膜的制备与性能研究 被引量:1
2
作者 柴士磊 史新伟 +4 位作者 周秋霞 靳慧智 姚宁 王新昌 张兵临 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期11-13,22,共4页
在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄... 在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄膜微结构进行分析并采用压痕法检测了膜基间的结合力并观察了压痕的状态。结果表明,该薄膜下层颗粒粗大,是微米级的金刚石,上层颗粒细小,是纳米级的金刚石,薄膜表面平整光滑;薄膜的附着力与纳米金刚石沉积时间的长短有关,当沉积时间为2h时,薄膜与衬底的结合力最好。 展开更多
关键词 MPCVD -纳米复合金刚石 附着力 界面
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纳米金刚石填料对复合树脂显微硬度、抗压强度的影响 被引量:24
3
作者 钟玉修 倪龙兴 +1 位作者 吴道澄 姜永 《牙体牙髓牙周病学杂志》 CAS 2003年第6期331-333,共3页
目的 :观察含纳米金刚石填料对复合树脂机械性能的影响 ,探索纳米金刚石的最佳比例。方法 :按不同比例将纳米金刚石添加到复合树脂中 ,检测其抗压强度和显微硬度。结果 :添加比例在 0 .0 0 5 %以下抗压强度、显微硬度无明显改变 ;添加... 目的 :观察含纳米金刚石填料对复合树脂机械性能的影响 ,探索纳米金刚石的最佳比例。方法 :按不同比例将纳米金刚石添加到复合树脂中 ,检测其抗压强度和显微硬度。结果 :添加比例在 0 .0 0 5 %以下抗压强度、显微硬度无明显改变 ;添加比例在 0 .0 0 5 %~ 0 .3%之间抗压强度、显微硬度明显提高 ,0 .0 2 %比例提高最为明显 ;添加比例在 0 .3%以上抗压强度、显微硬度明显降低。结论 展开更多
关键词 纳米金刚石 复合树脂 抗压强度 硬度
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用人工神经网络预测电铸自支撑金刚石-镍复合膜沉积结果 被引量:10
4
作者 方莉俐 张兵临 +1 位作者 禹建丽 姚宁 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期638-641,共4页
用人工神经网络预测了电铸自支撑金刚石-镍复合膜中金刚石颗粒的含量、复合膜的厚度和表面微观形貌。结果表明,当阴极电流密度小于1.0A/dm2时,复合膜的表面均匀,无镍瘤;复合膜的沉积速率约为14μm/h。其预测的沉积结果与实际样品测量值... 用人工神经网络预测了电铸自支撑金刚石-镍复合膜中金刚石颗粒的含量、复合膜的厚度和表面微观形貌。结果表明,当阴极电流密度小于1.0A/dm2时,复合膜的表面均匀,无镍瘤;复合膜的沉积速率约为14μm/h。其预测的沉积结果与实际样品测量值接近,相对误差小于9.9%。人工神经网络能够充分体现电镀工艺参数与沉积结果之间的非线性关系和隐含关系,训练精度较高,具有较高的预测能力。 展开更多
关键词 人工神经网络 自支撑金刚石-镍复合 电铸 预测
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微/纳米金刚石复合涂层刀具的制备及切削试验 被引量:4
5
作者 邓福铭 陈立 +2 位作者 邓雯丽 赵烨 雷青 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2728-2733,共6页
利用化学气相沉积法在硬质合金基体上制备微/纳米金刚石复合涂层,采用扫描电镜、Raman光谱仪、洛氏硬度计、微粒喷浆试验仪对涂层进行微结构与性能表征,同时进行切削试验。结果表明:涂层表面晶粒细小,颗粒尺寸达到纳米级,涂层纯度高,膜... 利用化学气相沉积法在硬质合金基体上制备微/纳米金刚石复合涂层,采用扫描电镜、Raman光谱仪、洛氏硬度计、微粒喷浆试验仪对涂层进行微结构与性能表征,同时进行切削试验。结果表明:涂层表面晶粒细小,颗粒尺寸达到纳米级,涂层纯度高,膜/基结合力好,耐磨性高。切削试验结果显示:微/纳米金刚石复合涂层刀具切削加工工件的表面粗糙度比硬质合金刀具小,其表面粗糙度平均值为0.931μm;从后刀面磨损量结果看出微/纳米金刚石复合涂层刀具使用寿命长;从前、后刀面磨损形貌看出金刚石复合涂层结合力好,耐磨性高。 展开更多
关键词 化学气相沉积 /纳米金刚石复合涂层 切削试验 表面粗糙度
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氧气流量对MPCVD制备微/纳米双层金刚石膜的影响 被引量:2
6
作者 刘聪 汪建华 +1 位作者 吕琳 翁俊 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2630-2634,共5页
应用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,以CH4/H2/Ar为主要气源,成功制备出了微/纳米双层金刚石膜。同时,在纳米膜层生长过程中,通过添加O2辅助气体,研究了不同O2流量对微/纳米金刚石膜生长的影响。结果表明,当O2流量在0-0.8 sccm... 应用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,以CH4/H2/Ar为主要气源,成功制备出了微/纳米双层金刚石膜。同时,在纳米膜层生长过程中,通过添加O2辅助气体,研究了不同O2流量对微/纳米金刚石膜生长的影响。结果表明,当O2流量在0-0.8 sccm范围时,所获得的金刚石膜仍为微/纳米两层膜结构;当氧气流量增加到1.2 sccm时,金刚石膜只有一层微米膜结构;而O2流量在0-1.2 sccm范围时,纳米层晶粒尺寸及品质与氧气流量成正比例关系。表明适量引入O2可以促进纳米层晶粒长大和提高膜品质。另外,当O2流量为0.8 sccm,所制备的微/纳米金刚石膜不仅品质好,而且生长率也较高。 展开更多
关键词 MPCVD /纳米 金刚石 氧气流量
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基于RSM的电铸自支撑金刚石-镍复合膜参数优化 被引量:2
7
作者 禹建丽 黄鸿琦 陈洪根 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期83-87,共5页
目的为提高电铸自支撑金刚石-镍复合膜的生产品质,研究一种改进的响应曲面模型,对电铸工艺的多响应参数进行优化选择。方法以电铸自支撑金刚石-镍复合膜沉积工艺参数为研究对象。在逐步回归的基础上,利用响应曲面法构建因子与响应间回... 目的为提高电铸自支撑金刚石-镍复合膜的生产品质,研究一种改进的响应曲面模型,对电铸工艺的多响应参数进行优化选择。方法以电铸自支撑金刚石-镍复合膜沉积工艺参数为研究对象。在逐步回归的基础上,利用响应曲面法构建因子与响应间回归模型,通过试验设计的分析方法解释、分析、检验模型的优劣。以响应预测能力指数为权重,加权得到综合回归模型,将多响应参数优化转换为单响应参数优化,使参数优化结果优先优化预测能力强的响应,改善工艺参数整体优化效果。最后,以综合回归模型为目标函数,利用有约束最小化函数法在区间范围内搜索最优参数组合,并给出参数改进的方向。结果利用有约束最小化函数法搜索得到的最优参数组合为:金刚石含量16 g/L、阴极电流密度0.6 A/dm2、沉积时间1.5 h。通过试验设计的分析方法给出参数进一步改进的方向:在金刚石含量大于16 g/L、阴极电流密度小于0.6A/dm2、沉积时间小于1.5 h的区域内增加试验设计,以得到更优参数组合。结论将质量工具、质量改进方法及统计分析方法等运用到材料制备工艺中,能够提高最优工艺参数选择的有效性,减少试验设计的盲目性,以及达到参数全局最优的可能性。 展开更多
关键词 多响应参数优化 响应曲面法 自支撑金刚石-镍复合 电铸 试验设计 有约束最小化函数法
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电铸金刚石-镍复合膜微观应力分析
8
作者 方莉俐 张兵临 +1 位作者 姚宁 邓记才 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2005年第6期34-37,共4页
用电铸方法,采用低应力电镀液,研制出了金刚石-金属复合膜。该复合膜的厚度为20-45μm,可用于制作超薄切割刀具。介绍了用X射线衍射法(XRD)测量多晶体微观应力的基本原理和用X射线衍射法测量镍多晶体显微应变的程序。用单波法计算了电... 用电铸方法,采用低应力电镀液,研制出了金刚石-金属复合膜。该复合膜的厚度为20-45μm,可用于制作超薄切割刀具。介绍了用X射线衍射法(XRD)测量多晶体微观应力的基本原理和用X射线衍射法测量镍多晶体显微应变的程序。用单波法计算了电铸金刚石-镍复合膜的显微应变,并用扫描电镜(SEM)观察了该复合膜的表面形貌。结果发现:阴极电流密度严重影响复合膜的显微应变,在实验所用电流密度范围内(0.6-3.5 A/dm2),随着电流密度的增加,显微应变减小。 展开更多
关键词 金刚石-镍复合 应变 XRD SEM
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电铸自支撑金刚石-镍复合膜的制备(英文)
9
作者 方莉俐 张兵临 姚宁 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期488-493,共6页
用电铸方法,采用低应力电镀液,制备出了自支撑金刚石-镍复合膜。电镀液PH值3.84.2,温度40~60℃,阳极与阴极间距100~150mm。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)方法检测了复合膜的表面形貌、晶体显微结构和复合膜中金刚石颗粒... 用电铸方法,采用低应力电镀液,制备出了自支撑金刚石-镍复合膜。电镀液PH值3.84.2,温度40~60℃,阳极与阴极间距100~150mm。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)方法检测了复合膜的表面形貌、晶体显微结构和复合膜中金刚石颗粒的分布情况。结果表明:阴极电流密度对自支撑金刚石-镍复合膜的品质影响很大,当阴极电流密度从1.3A/dm^2增加到3.3A/dm^3时,复合膜的显微应变从0.36%减小到0.28%;随着阴极电流密度的增加,复合膜中金刚石颗粒的含量增加。 展开更多
关键词 金刚石-镍复合 电铸 电流密度 应变
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超薄铜膜包覆的金刚石纳米复合粉体制备与表征 被引量:4
10
作者 何丽君 王春明 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第1期34-36,共3页
在氯化亚锡敏化、氯化钯活化的条件下 ,通过化学镀方法 ,成功地在纳米金刚石粉体表面制备了超薄铜膜 .用X射线粉末衍射 (XRD)和傅立叶红外吸收光谱 (FTIR)表征了该Cu 金刚石纳米复合材料 .此种复合材料在无水乙醇中超声分散5min后的溶... 在氯化亚锡敏化、氯化钯活化的条件下 ,通过化学镀方法 ,成功地在纳米金刚石粉体表面制备了超薄铜膜 .用X射线粉末衍射 (XRD)和傅立叶红外吸收光谱 (FTIR)表征了该Cu 金刚石纳米复合材料 .此种复合材料在无水乙醇中超声分散5min后的溶胶可稳定存放半年之久而不见沉降 . 展开更多
关键词 超薄铜 纳米金刚石 复合粉体 制备 表征 化学镀 红外光谱 X射线粉末衍射 纳米材料
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改性纳米金刚石增强增韧医用口腔复合树脂的研究 被引量:16
11
作者 胡晓刚 顾晓宇 +4 位作者 仝毅 张增明 罗运军 黄风雷 王新知 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期60-62,67,共4页
以爆轰法合成的纳米金刚石作为填料,加入到双酚A型口腔用光固化复合树脂中,研究了纳米金刚石对树脂性能的影响。金刚石用硅烷偶联剂进行表面改性。结果发现:偶联剂化学接枝到金刚石表面,改性后的金刚石在乙醇中的分散稳定性得到提高;加... 以爆轰法合成的纳米金刚石作为填料,加入到双酚A型口腔用光固化复合树脂中,研究了纳米金刚石对树脂性能的影响。金刚石用硅烷偶联剂进行表面改性。结果发现:偶联剂化学接枝到金刚石表面,改性后的金刚石在乙醇中的分散稳定性得到提高;加入0.2%(质量分数)的改性纳米金刚石后,复合树脂的挠曲强度和硬度分别提高35.4%和29.8%,改性金刚石的增强作用明显优于未经改性的金刚石;同时金刚石的加入也改善了树脂的韧性。 展开更多
关键词 纳米金刚石 复合树脂 硅烷偶联剂 表面改性 挠曲强度 硬度
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纳米金刚石/镍电刷镀复合镀层机械性能研究 被引量:7
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作者 李颖 赵盟月 +3 位作者 李变晓 邹文俊 董企铭 毛协民 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2010年第4期46-48,53,共4页
本文对普通快速镍镀层和纳米金刚石/镍复合镀层的显微硬度和耐磨性进行了研究,分析了纳米颗粒含量、镀层厚度、加热温度等参数对纳米复合镀层显微硬度及摩擦性能的影响。结果表明:由于纳米金刚石的弥散强化作用,使得复合镀层的硬度和耐... 本文对普通快速镍镀层和纳米金刚石/镍复合镀层的显微硬度和耐磨性进行了研究,分析了纳米颗粒含量、镀层厚度、加热温度等参数对纳米复合镀层显微硬度及摩擦性能的影响。结果表明:由于纳米金刚石的弥散强化作用,使得复合镀层的硬度和耐磨性大幅提高,摩擦系数明显降低。镀液中纳米金刚石含量约30g/L时,镀层硬度最高为650HV,经过300℃处理,硬度仍能保持在480HV之上。 展开更多
关键词 纳米金刚石 电刷镀 复合镀层 硬度 耐磨性
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纳米金刚石复合镀层制备工艺的研究 被引量:5
13
作者 王立平 高燕 +1 位作者 刘惠文 徐洮 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2004年第7期21-22,共2页
 纳米金刚石复合镀层具有金刚石和纳米颗粒的双重特性,应用前景广阔。采用复合电镀法制备了Ni 纳米金刚石复合镀层,考察了阴极电流密度、镀液pH值以及搅拌强度对纳米复合镀层显微硬度的影响,并分析了Ni 纳米金刚石复合镀层的共沉积过...  纳米金刚石复合镀层具有金刚石和纳米颗粒的双重特性,应用前景广阔。采用复合电镀法制备了Ni 纳米金刚石复合镀层,考察了阴极电流密度、镀液pH值以及搅拌强度对纳米复合镀层显微硬度的影响,并分析了Ni 纳米金刚石复合镀层的共沉积过程。结果表明,选择适当的共沉积工艺参数,可以制备出同底材结合牢固,金刚石微粒弥散较均匀的高硬度纳米复合镀层,基质Ni中金刚石粒子的含量与镀面的机械俘获粒子的能力有关。 展开更多
关键词 复合镀层 纳米金刚石 硬度 工艺参数
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用镀有钛过渡层的钼衬底制备无裂纹自支撑金刚石膜 被引量:3
14
作者 李浩 李成明 +4 位作者 吕反修 唐伟忠 陈广超 鲍学进 刘政 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期164-169,共6页
为了解决金刚石膜脱膜开裂的问题,尝试了一种复合衬底,即镀有钛过渡层的钼衬底。利用直流等离子体喷射法在复合衬底上制备了不同厚度无裂纹的自支撑金刚石膜。用扫描电镜(SEM)、拉曼谱和X射线衍射表征金刚石膜的特征,并检测了其断裂强... 为了解决金刚石膜脱膜开裂的问题,尝试了一种复合衬底,即镀有钛过渡层的钼衬底。利用直流等离子体喷射法在复合衬底上制备了不同厚度无裂纹的自支撑金刚石膜。用扫描电镜(SEM)、拉曼谱和X射线衍射表征金刚石膜的特征,并检测了其断裂强度。结果表明,用复合衬底制备的金刚石膜在950℃具有最小半高宽,在实验温度下所获得的金刚石自支撑膜的断裂强度均超过了500MPa。 展开更多
关键词 金刚石 复合衬底 钛过渡层 直流等离子体喷射法 自支撑金刚石
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含纳米金刚石粉镍钴基复合镀层的研究 被引量:2
15
作者 鲍学进 李成明 +1 位作者 李浩 吕反修 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第1期39-42,共4页
通过对爆轰制备的纳米金刚石粉进行去除杂质,亲水处理,制备出分散稳定的含纳米金刚石粉的镀液。利用这个镀液制备出含纳米金刚石粉的Ni-Co复合电镀层,并研究了镀液中分散不同含量纳米金刚石粉对制备镀层的表面形貌,晶粒尺寸的影响,镀液... 通过对爆轰制备的纳米金刚石粉进行去除杂质,亲水处理,制备出分散稳定的含纳米金刚石粉的镀液。利用这个镀液制备出含纳米金刚石粉的Ni-Co复合电镀层,并研究了镀液中分散不同含量纳米金刚石粉对制备镀层的表面形貌,晶粒尺寸的影响,镀液中纳米金刚石粉含量从2g/L增加到6g/L,镀层的晶粒尺寸减小近一半。纳米金刚行粉对晶粒的细化程度和镀层中含有的纳米金刚石粉的含量有很大关系。镀层的显微硬度与镀液中分散的纳米金刚石粉的含量并不成线性关系,镀层的显微硬度最大可达601.53HV。团聚的纳米金刚石粉导致镀层晶粒的异常长大。 展开更多
关键词 复合 纳米金刚石 晶粒尺寸 硬度 表面粗糙度
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纳米金刚石复合镀钢领的制备及工艺优化 被引量:2
16
作者 王显方 乌军锋 尹勇 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期150-155,共6页
为探讨纳米复合镀钢领的表面粗糙度、显微硬度、磨损率和对成纱毛羽及断头率的影响,制备了纳米金刚石复合镀钢领。运用复合镀技术对普通钢领表面进行处理,选择制备过程中纳米金刚石含量、施镀温度和pH值3个主要工艺参数,进行了正交试验... 为探讨纳米复合镀钢领的表面粗糙度、显微硬度、磨损率和对成纱毛羽及断头率的影响,制备了纳米金刚石复合镀钢领。运用复合镀技术对普通钢领表面进行处理,选择制备过程中纳米金刚石含量、施镀温度和pH值3个主要工艺参数,进行了正交试验。结果表明:较优的制备工艺为:纳米金刚石含量20 g/L、温度85℃、pH值5.0;制备的钢领表面粗糙度为0.18μm,显微硬度为635.8 HV,磨损量为1.4%,成纱毛羽指数为2.18,断头率为3根/(千锭·h)。 展开更多
关键词 钢领 纳米金刚石 复合镀层 硬度 表面粗糙度 磨损率
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金刚石膜表面ZnO纳米棒制备及场发射性能研究 被引量:2
17
作者 贾钰欣 于盛旺 +3 位作者 麻根旺 张一新 黑鸿君 申艳艳 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2018年第4期425-429,共5页
以硝酸锌为原料,乌洛托品为催化剂,采用水热法分别在自支撑金刚石膜及硅基底上制备了ZnO纳米棒。采用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射、拉曼光谱、PL谱、场发射测试表征了ZnO纳米棒/硅及ZnO纳米棒/自支撑金刚石膜的形貌、尺寸及场发射... 以硝酸锌为原料,乌洛托品为催化剂,采用水热法分别在自支撑金刚石膜及硅基底上制备了ZnO纳米棒。采用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射、拉曼光谱、PL谱、场发射测试表征了ZnO纳米棒/硅及ZnO纳米棒/自支撑金刚石膜的形貌、尺寸及场发射性能。结果表明,在两种基底上制备的ZnO纳米棒均沿c轴方向生长,其中在自支撑金刚石膜上制备的ZnO纳米棒出现了尖端现象,并且具有更好的结晶度、纯度与更少的结构缺陷,其开启电场为6.8 V/μm,在11.9 V/μm的电场下,发射电流密度为0.20 m A/cm^2,场增强因子比在Si基底上制备的ZnO纳米棒的场发射性能高11.5倍。 展开更多
关键词 ZNO纳米 自支撑金刚石 水热法 场发射性能
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电镀金刚石——镍复合膜沉积率研究 被引量:2
18
作者 韩长玉 海滢滢 +2 位作者 许觅婷 张兰 马会中 《河南科技》 2009年第7期56-57,共2页
随着电子行业的迅速发展,由于陶瓷、半导体材料、水晶、玻璃等材料的切割和开槽等高精度微加工技术日益增多,因此,要求用于这种加工的切割工具必须具有高硬度,磨削效率高,形状误差小且容易保持,高化学惰性,高热导率,低热膨张系... 随着电子行业的迅速发展,由于陶瓷、半导体材料、水晶、玻璃等材料的切割和开槽等高精度微加工技术日益增多,因此,要求用于这种加工的切割工具必须具有高硬度,磨削效率高,形状误差小且容易保持,高化学惰性,高热导率,低热膨张系数等优异性能,而金刚石——镍复合镀层正是具有上述的综合优点,于是成为这种切割工具的最佳材料。 展开更多
关键词 电镀金刚石 沉积率 复合 半导体材料 加工技术 切割工具 电子行业
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微纳米颗粒在制备微弧氧化复合膜层中的影响研究现状 被引量:8
19
作者 付景国 刘建 +2 位作者 朱新河 马圣林 王静思 《热加工工艺》 北大核心 2020年第2期12-19,共8页
微弧氧化是一种可在铝、镁、钛等金属表面制备耐热、耐磨、耐腐蚀等特性陶瓷层的表面处理技术。但陶瓷层中固有的孔隙以及有限的相组成被认为是微弧氧化技术亟待解决的难题。为进一步提高陶层的使用性能及扩大使用范围,将功能型微纳米... 微弧氧化是一种可在铝、镁、钛等金属表面制备耐热、耐磨、耐腐蚀等特性陶瓷层的表面处理技术。但陶瓷层中固有的孔隙以及有限的相组成被认为是微弧氧化技术亟待解决的难题。为进一步提高陶层的使用性能及扩大使用范围,将功能型微纳米颗粒与微弧氧化技术相结合的方法开始被广泛研究。综述了添加微纳米颗粒的种类、尺寸和浓度对微弧氧化行为、膜层微观结构、相组成、耐磨性能、耐蚀性能的影响,分析了微纳米颗粒与陶瓷层的结合机制,最后指出了该复合技术目前尚待解决的问题,并对该技术在今后的发展趋势和实际应用进行了展望。 展开更多
关键词 弧氧化 纳米颗粒 复合 结合机制
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元素掺杂类金刚石碳膜降内应力研究综述 被引量:9
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作者 孙德恩 董洪铭 +1 位作者 Sam Zhang 张晓民 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期95-103,共9页
我国汽车行业与国际同行的差距主要在于发动机关键零部件的摩擦磨损。类金刚石(DLC)碳膜技术是解决发动机关键零部件摩擦磨损问题的有效途径,但传统的DLC碳膜在制备过程中会产生较高的内应力(可达10GPa),从而导致薄膜失效。首先分析了DL... 我国汽车行业与国际同行的差距主要在于发动机关键零部件的摩擦磨损。类金刚石(DLC)碳膜技术是解决发动机关键零部件摩擦磨损问题的有效途径,但传统的DLC碳膜在制备过程中会产生较高的内应力(可达10GPa),从而导致薄膜失效。首先分析了DLC碳膜在汽车零部件领域的应用背景,探讨了薄膜内应力的来源,重点综述了异质元素掺杂降低类金刚石碳膜内应力的研究现状。常用掺杂元素按化学性质可分为碳化物形成元素与非碳化物形成元素,不同于其他分类方法,笔者按掺杂元素的组元多少进行划分,从单元掺杂、二元或多元掺杂入手,系统分析了各种掺杂方式、掺杂元素的优缺点。在此基础上,指出元素掺杂降低类金刚石碳膜内应力的研究从最初的单一元素掺杂,逐步发展到了二元或多元元素掺杂;从碳化物形成元素掺杂、非碳化物形成元素掺杂,逐步发展到碳化物形成元素与非碳化物形成元素的多元共掺杂;所研究的类金刚石碳膜的显微结构也从最初的非晶态结构向多元、多相结构发展,以期获得良好的综合机械性能。 展开更多
关键词 内应力 元素掺杂 金刚石 纳米复合 摩擦学性能
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