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微型半球陀螺仪的误差源研究 被引量：14
1
作者 倪受东 吴洪涛 +1 位作者 嵇海平 朱剑英 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第1期30-32,共3页
讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源,主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非对称阻尼误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设... 讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源,主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非对称阻尼误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。 展开更多
关键词 微型半球陀螺仪 量测误差 非线性效应 热漂移 结构误差
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微型半球陀螺非轴对称结构的电刚度补偿方法研究 被引量：3
2
作者 嵇海平 吴洪涛 倪受东 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第9期46-48,共3页
微型半球谐振陀螺仪可以感测角速度和转角。但由于实际结构的非轴对称性,导致感测上产生误差。提出了一种电刚度补偿方法,即调节67.5,°90,°112.5,°135°不同位置的4个平衡电极的电压来调节谐振体刚度,从而达到结构... 微型半球谐振陀螺仪可以感测角速度和转角。但由于实际结构的非轴对称性,导致感测上产生误差。提出了一种电刚度补偿方法,即调节67.5,°90,°112.5,°135°不同位置的4个平衡电极的电压来调节谐振体刚度,从而达到结构轴对称;并通过有限元分析方法和灵敏度法求得4个平衡电极的电压值。 展开更多
关键词 微型半球陀螺仪 电刚度补偿 灵敏度 有限元
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