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微机械电子技术在自动化测量传感器设计中的应用
1
作者 蔡升昊 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2024年第5期0101-0104,共4页
在我国科技快速发展的过程中,自动化测量传感器已经在工业自动化领域得到了广泛应用。而微机械电子技术作为传感器设计中新出现的技术,可以使传感器体积更小、灵敏度更高,因此能够在自动化测量传感器设计中进行广泛应用。基于此,本文首... 在我国科技快速发展的过程中,自动化测量传感器已经在工业自动化领域得到了广泛应用。而微机械电子技术作为传感器设计中新出现的技术,可以使传感器体积更小、灵敏度更高,因此能够在自动化测量传感器设计中进行广泛应用。基于此,本文首先对微机械电子技术与传感器的定义进行了简单阐述,之后根据自动化测量传感器的工作原理提出了基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计方案。 展开更多
关键词 微机械电子技术 自动化测量传感器 转换元件
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基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计
2
作者 陈静 李济洲 《机电工程技术》 2023年第4期208-211,共4页
为了进一步提升市面上自动化测量传感器的应用效果,简述了自动化测量传感器的工作原理。以真空微电子压力传感器系统为例,从结构设计、仿真模拟、研制工艺设计、固相键合工艺流程以及性能测试几方面对基于微机械电子技术的自动化测量传... 为了进一步提升市面上自动化测量传感器的应用效果,简述了自动化测量传感器的工作原理。以真空微电子压力传感器系统为例,从结构设计、仿真模拟、研制工艺设计、固相键合工艺流程以及性能测试几方面对基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计方案进行了详细分析。提出了一种微电子技术以及真空电子技术研发一种真空微电子压力传感器的方法,其构成包括真空微腔、绝缘层、弹性阳极膜等,具有实际应用优势,如能够支持批量生产、体积较小、灵敏度高、响应速度快、抗辐射性能好以及稳定性高等。所提方法对微电子传感器领域的发展具有一定的参考价值,应用市场较为广泛,未来发展前景较好。 展开更多
关键词 微机械电子技术 自动化测量 传感器设计
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微机械电子系统研究生双语混合教学的教改与探索
3
作者 刘凤丽 曾鹏飞 《中国教育技术装备》 2023年第22期140-141,145,共3页
微机械电子系统是机电工程及相关方向的研究生专业基础课,具有前沿性强、国际化程度高、多学科交叉的特点,双语教学是向学生传授本领域最新成果的理想教学方式。对双语教材、教学大纲的编写、网络平台的建设进行了总结。增加案例式教学... 微机械电子系统是机电工程及相关方向的研究生专业基础课,具有前沿性强、国际化程度高、多学科交叉的特点,双语教学是向学生传授本领域最新成果的理想教学方式。对双语教材、教学大纲的编写、网络平台的建设进行了总结。增加案例式教学、小组讨论与个人专题学术报告。此教学方法对于其他学科的双语教学有借鉴的价值。 展开更多
关键词 微机械电子 双语教学 混合式教学 案例式教学
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基于面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计研究
4
作者 代响林 《电子制作》 2023年第11期101-104,共4页
随着微型机电技术的不断发展,传感器的设计也发生了翻天覆地的变化,越来越多的自动化、微型化,为的就是实现更高的精度。因此,针对微型机电技术,研制了一种用于自动检测的传感器。传感器的设计由两部分组成,第一部分是敏感膜片、转换元... 随着微型机电技术的不断发展,传感器的设计也发生了翻天覆地的变化,越来越多的自动化、微型化,为的就是实现更高的精度。因此,针对微型机电技术,研制了一种用于自动检测的传感器。传感器的设计由两部分组成,第一部分是敏感膜片、转换元件、信号调节转换电路;在此基础上,对传感器的接口和工作流程进行了详细的理论设计;第二部分按照上一阶段的设计方案制作出传感器的成品,对其进行性能测试,以确定其设计的合理性和最终产品能否满足要求。实验表明,该方法具有较高的准确度、可靠性和灵敏度;通过对该传感器的非线性、迟滞特性、重复性等测试数据的分析,验证了该传感器的设计是合理的。 展开更多
关键词 微机械电子技术 自动化测量传感器 敏感膜片 转换元件
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超固体润滑及其在微机械电子系统中的应用前景 被引量:6
5
作者 董海军 王三民 +1 位作者 李建华 陈国定 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第2期266-268,共3页
介绍了超固体润滑的概念 ,综述了超固体润滑的研究现状和近年来的研究成果 ,通过对微机械电子系统摩擦学问题的讨论 ,分析了超固体润滑在微机械电子系统中应用的前景 。
关键词 超固体润滑 纳米摩擦学 微机械电子系统
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微机械电子系统中的摩擦磨损及研究方向 被引量:1
6
作者 李晓颖 韩彦彬 《现代机械》 2006年第3期82-83,共2页
介绍了微机械电子系统的概念,分析了微机电系统的摩擦磨损机理。结合近年来研究成果,根据微机电与传统机械摩擦磨损的不同,总结出了微机械电子系统摩擦磨损设计中的研究方向。
关键词 微机械电子系统 微机电系统摩擦 摩擦磨损研究方向
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微机械电子学的现状
7
作者 李栓庆 《半导体情报》 1992年第1期39-48,共10页
本文先介绍了微机械电子学的概况,接着介绍了几种典型的微型机械、制作技术和微型机械用材料,最后探讨了微机械电子学的研制现状和应用。
关键词 微机械电子 加工 半导体工艺
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基于微机械电子系统的电化学电极阵列的研制
8
作者 赵朝辉 王力 +4 位作者 甘先云 朱昌安 刘成桂 郑军 谢国明 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期621-626,共6页
为了克服传统电化学电极反应液需要量较大、预处理繁琐和耗时的不足,本研究通过腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散和溅射等工艺在75 mm×25 mm光学玻片上制备了基于微机械电子系统的电化学电极阵列。该电极阵列含有16个电极单元,每个单... 为了克服传统电化学电极反应液需要量较大、预处理繁琐和耗时的不足,本研究通过腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散和溅射等工艺在75 mm×25 mm光学玻片上制备了基于微机械电子系统的电化学电极阵列。该电极阵列含有16个电极单元,每个单元之间的差异性≤3.7%;电极表面Rct=28Ω,预处理时间1 min;反应液量1~50μL。用此电极阵列构建的生物传感器实现了对大肠杆菌特异性靶分子序列的检测,检测下限达到1×10-8mol/L。结果表明,此电化学电极阵列能满足多通道微量检测的需求,在其表面可方便地进行生物功能化修饰,应用范围广,实用性强。 展开更多
关键词 电化学电极阵列 微机械电子系统 循环伏安法 计时电流法 DNA分子探针
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面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计 被引量:3
9
作者 卞丽情 《制造业自动化》 CSCD 北大核心 2021年第8期152-155,160,共5页
微机械电子技术的深入发展给传感器设计带来巨大改变,传感器逐渐向着自动化、微型化发展,以便用于更加精细化作业当中。为此,设计一种面向微机械电子技术的自动化测量传感器。传感器设计包括两个部分,前一部分给出设计方案,主要包括敏... 微机械电子技术的深入发展给传感器设计带来巨大改变,传感器逐渐向着自动化、微型化发展,以便用于更加精细化作业当中。为此,设计一种面向微机械电子技术的自动化测量传感器。传感器设计包括两个部分,前一部分给出设计方案,主要包括敏感膜片、转换元件、信号调节转换电路、传感器接口电路以及工作程序等几个关键部分的理论设计;后一部分根据前一步设计方案制成传感器成品,并进行性能检测,判断所设计方案是否合理,成品是否能够达到合格标准。结果表明:精度、可靠性、灵敏度、非线性度、迟滞特性、重复性等各项检测结果均在合格标准规定的范围内,由此证明传感器设计方案合理,可以进行生产和制造。 展开更多
关键词 微机械电子技术 自动化测量传感器 敏感膜片 转换元件
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基于支持度的椭球拟合微机械电子系统加速度计现场标定方法研究 被引量:1
10
作者 周泉 姚敏立 沈晓卫 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期68-74,共7页
为解决微机械电子系统(MEMS)中加速度计的零位漂移误差、标度因数误差和交叉耦合误差随时间推移而变化的问题,提出一种基于支持度的椭球拟合MEMS加速度计现场标定方法。该方法能够在室外进行简单、快捷和高效的标定,其本质是在传统的椭... 为解决微机械电子系统(MEMS)中加速度计的零位漂移误差、标度因数误差和交叉耦合误差随时间推移而变化的问题,提出一种基于支持度的椭球拟合MEMS加速度计现场标定方法。该方法能够在室外进行简单、快捷和高效的标定,其本质是在传统的椭球拟合法基础上,采用支持度法与椭球体法相结合的方法,通过建立椭球约束模型和支持度矩阵对MEMS加速度计的误差进行标定,继而使用误差补偿方程对MEMS加速度计进行输出补偿,最终实现高精度标度。通过椭球拟合对比实验和时间推移实验,证实了该方法可在没有精密标定设备情况下进行标定,其标定精度比传统椭球拟合法提升1倍。 展开更多
关键词 微机械电子系统加速度计 支持度 椭球拟合 现场标定 误差补偿
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电子信息在机械系统中的应用研究——评《微机械电子系统及其应用》 被引量:1
11
作者 秦秀常 《铸造》 CAS 北大核心 2021年第1期135-135,共1页
电子信息行业作为一个新兴行业,是在通信技术、存储技术、计算机技术和互联网技术迅速发展之后衍生而来的,与这些高新技术行业都有着密不可分的联系。电子信息技术近年来发展极其迅速,主要应用于通信、计算机等现代化技术领域,实现信息... 电子信息行业作为一个新兴行业,是在通信技术、存储技术、计算机技术和互联网技术迅速发展之后衍生而来的,与这些高新技术行业都有着密不可分的联系。电子信息技术近年来发展极其迅速,主要应用于通信、计算机等现代化技术领域,实现信息处理、信息获取、信息控制。 展开更多
关键词 电子信息 计算机技术 微机械电子系统 存储技术 高新技术行业 信息获取 信息处理 系统
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基于面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计研究 被引量:2
12
作者 张文豪 《电子测试》 2022年第2期121-122,共2页
本文以自动化测量传感器为主要研究对象,着重对基于面向微机械电子技术的自动化测量传感器的设计方案进行研究和分析。
关键词 微机械电子技术 自动化测量传感器 转换元件
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微机械电子学—机械电子学的新发展
13
作者 廉仲 王庭树 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期311-315,共5页
综述了机械电子学的新发展,即近年来出现的微机械电子学;介绍了如何利用 IC(集成电路)的微细加工技术制造微型机构、微型执行器等,以及微机械电子学产品的应用前景.
关键词 电子 微细加工 微机械电子
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微机械电子系统仪器
14
《中国制造业信息化(学术版)》 2005年第11期49-49,共1页
关键词 微机械电子系统 高科技产业化 仪器 有限公司 重庆大学 技术开发 生产设备 生化分析仪 研究中心
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微机械电子学在传感器方面的应用
15
作者 崔承甲 《光机电信息》 1995年第7期9-12,共4页
微机械和光器件集成的新的技术领域,叫做光微动力学.它的目的是利用光的非接触和遥控操作功能为微机械提供新的光传感器和光驱动机械.具体的有用光的热作用起振的微小振子,用光的直接力作用(光压)的微动控制技术等方案.传统的光(激光)... 微机械和光器件集成的新的技术领域,叫做光微动力学.它的目的是利用光的非接触和遥控操作功能为微机械提供新的光传感器和光驱动机械.具体的有用光的热作用起振的微小振子,用光的直接力作用(光压)的微动控制技术等方案.传统的光(激光)是光通信、光存储、光信息处理、光计测等,主要是利用空间控制和时间控制的观点来应用.这里是以微领域为对象的,利用光具有的能量. 展开更多
关键词 传感器 微机电子 应用
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基于微机械电子技术的黏度测量传感器 被引量:4
16
作者 黄琳雅 赵立波 +5 位作者 罗国希 李支康 吴德志 林启敬 杨萍 蒋庄德 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期13-22,共10页
黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传... 黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法,基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景。微机械电子系统(Microelectromechanical systems,MEMS)技术的蓬勃发展促使黏度测量集成化、智能化与实时性,多样化黏度测量方法不断涌现,其中谐振式黏度测量受到颇为广泛而深入的关注,并显示了瞩目的检测性能。首先回顾传统的黏度测量方法,然后再介绍了基于微机械电子技术的谐振式黏度测量方法,并分别总结了各自的特点。最后,对MEMS谐振式黏度测量方法的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 流体黏度 测量方法 微机械电子系统 谐振
原文传递
常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性 被引量:6
17
作者 刘晓为 陈宏 +2 位作者 陈伟平 陆学斌 韩天 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2268-2271,共4页
对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影... 对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影响,而且阻尼匹配也会影响陀螺的灵敏度和频率特性. 展开更多
关键词 微机械电子系统 陀螺 阻尼匹配 频率特性
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微机械音叉谐振器动力学分析与仿真 被引量:5
18
作者 刘恒 何晓平 +1 位作者 苏伟 张富堂 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期325-330,共6页
根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间。对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%)。通过模态分析和结构... 根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间。对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%)。通过模态分析和结构参数敏感性分析提出合理的选择参数可以使工作模态频率远离高阶模态频率,减少音叉梁固接端的弹性系数有利于抑制低阶模态的扰动。结构参数敏感性分析表明工作频率随音叉梁长度增大而减小,随其宽度的减小而增大,结构厚度对频率不产生影响。 展开更多
关键词 微机械电子系统 微谐振器 双端固定音叉 谐振频率 参数模型
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微型机械和微机器人的发展状况 被引量:9
19
作者 蔡鹤皋 孙立宁 +1 位作者 安辉 张涛 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期38-41,共4页
微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋,孙立宁,安辉,张涛(哈尔滨工业大学)0引言近年来,国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头,即微机械电子学,利用IC的微细加工技术,将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅... 微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋,孙立宁,安辉,张涛(哈尔滨工业大学)0引言近年来,国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头,即微机械电子学,利用IC的微细加工技术,将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅片上,不仅将传统的无源机构变为有源... 展开更多
关键词 微机器人 微型机 微型机器人系统 发展状况 微型机构 装配机器人 微动机器人 压电陶瓷驱动 微机械电子 应用领域
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非线性微机械谐振器的频率跟踪控制及数值仿真 被引量:3
20
作者 刘恒 孟瑞丽 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期338-343,共6页
本文分析了微机械谐振器的非线性动力学原理,根据振梁的非线性谐振条件下激励与检测信号相位关系,确定了基于锁相技术驱动的系统分析模型。利用平均周期法得到了系统稳定条件和稳态平衡点,理论分析和仿真表明:振梁刚度的高次项系数的增... 本文分析了微机械谐振器的非线性动力学原理,根据振梁的非线性谐振条件下激励与检测信号相位关系,确定了基于锁相技术驱动的系统分析模型。利用平均周期法得到了系统稳定条件和稳态平衡点,理论分析和仿真表明:振梁刚度的高次项系数的增大,不影响系统的稳定性;当积分控制器系数小于临界值时,频率跟踪时间长,不出现频率抖动;反之,频率跟踪稳定时间短,频率抖动。 展开更多
关键词 微机械电子系统 谐振器 非线性 锁相技术 平均周期法
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