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加强发展战术级微机电惯性仪表的建议
1
作者
高钟毓
《战术导弹控制技术》
2001年第4期14-18,共5页
本文介绍了微机电惯性仪表的国际水平,以及清华大学精密仪器与机械学系的研制进展.叙述了所研制的微机电加速度计和微机电陀螺仪的原理、结构及已达到的主要性能指标.总结了已经解决和急需解决的主要关键技术.提出了加速发展我国微机电...
本文介绍了微机电惯性仪表的国际水平,以及清华大学精密仪器与机械学系的研制进展.叙述了所研制的微机电加速度计和微机电陀螺仪的原理、结构及已达到的主要性能指标.总结了已经解决和急需解决的主要关键技术.提出了加速发展我国微机电惯性仪表的几点建议.
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关键词
微机
电
加速度计
微机
电
陀螺仪
微尼性测量组合
微机电惯性仪表
发展状况
原理
性能指标
下载PDF
职称材料
微机电惯性仪表技术现状及发展方向
2
作者
张洪立
《导航与控制》
2003年第4期76-79,共4页
微机电惯性仪表属微机电系统(MEMS)重要分支并备受欧美国家重视。本文提出了基于石英微细光刻技术的全石英惯测装置和基于体硅工艺的用于高动态低成本大批量系列化拦截武器的硅微惯性仪表技术的两种方案，并进行了相关特性比较和发展途...
微机电惯性仪表属微机电系统(MEMS)重要分支并备受欧美国家重视。本文提出了基于石英微细光刻技术的全石英惯测装置和基于体硅工艺的用于高动态低成本大批量系列化拦截武器的硅微惯性仪表技术的两种方案，并进行了相关特性比较和发展途径分析。指出石英小型惯性测量装置“十五”末可实现战术级即战术弹和高性能无人机应用；硅微惯性系统“十一五”可面向战术导弹、无人机和微卫星及高端车辆导航、炮弹等市场。
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关键词
微机电惯性仪表
技术
微机
电
系统
发展方向
硅微
惯性
仪表
石英振梁式加速度计
制造工艺
原文传递
题名
加强发展战术级微机电惯性仪表的建议
1
作者
高钟毓
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《战术导弹控制技术》
2001年第4期14-18,共5页
文摘
本文介绍了微机电惯性仪表的国际水平,以及清华大学精密仪器与机械学系的研制进展.叙述了所研制的微机电加速度计和微机电陀螺仪的原理、结构及已达到的主要性能指标.总结了已经解决和急需解决的主要关键技术.提出了加速发展我国微机电惯性仪表的几点建议.
关键词
微机
电
加速度计
微机
电
陀螺仪
微尼性测量组合
微机电惯性仪表
发展状况
原理
性能指标
分类号
TH82 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
微机电惯性仪表技术现状及发展方向
2
作者
张洪立
机构
北京自动化设备研究所
出处
《导航与控制》
2003年第4期76-79,共4页
文摘
微机电惯性仪表属微机电系统(MEMS)重要分支并备受欧美国家重视。本文提出了基于石英微细光刻技术的全石英惯测装置和基于体硅工艺的用于高动态低成本大批量系列化拦截武器的硅微惯性仪表技术的两种方案，并进行了相关特性比较和发展途径分析。指出石英小型惯性测量装置“十五”末可实现战术级即战术弹和高性能无人机应用；硅微惯性系统“十一五”可面向战术导弹、无人机和微卫星及高端车辆导航、炮弹等市场。
关键词
微机电惯性仪表
技术
微机
电
系统
发展方向
硅微
惯性
仪表
石英振梁式加速度计
制造工艺
分类号
V241.622 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
U666.12 [交通运输工程—船舶及航道工程]
原文传递
题名
作者
出处
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1
加强发展战术级微机电惯性仪表的建议
高钟毓
《战术导弹控制技术》
2001
0
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职称材料
2
微机电惯性仪表技术现状及发展方向
张洪立
《导航与控制》
2003
0
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