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题名微机电系统CAD研究及发展现状
被引量：1
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作者
胡伟
胡国清
魏昕
谢小柱
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机构
华南理工大学机械与汽车工程学院
广东工业大学机电工程学院
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期682-686,691,共6页
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文摘
随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法。
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关键词
微机电系统(MEMS)cad
设计模式
多能量域耦合
宏模型
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Keywords
MEMS cad
design mode
multi-energy domain coupling
macro-model
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分类号
TN454
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名MEMS CAD系统及其关键技术研究
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作者
郝文涛
田凌
童秉枢
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《工程图学学报》
CSCD
北大核心
2006年第1期1-8,共8页
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基金
国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716204)
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文摘
针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领域专家协同设计等问题进行了详细的论述,指出了各项技术的研究进展和发展方向。
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关键词
计算机应用
微机电系统cad
综述
微机电系统cad关键技术
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Keywords
computer application
MEMS cad
Survey
MEMS cad key technologies
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分类号
TH12
[机械工程—机械设计及理论]
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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