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基于微电机械系统的反射式可变光衰减器的研究与设计 被引量:3
1
作者 施向华 邱怡申 +1 位作者 李高明 徐惠真 《福建师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期46-48,共3页
利用双光纤准直器研制出一种基于微电机械系统(M icro E lectron ic M echan ica l System,M EM S)技术的连续可调光衰减器,利用双光纤准直器光纤头(P igta il)的楔角面对C-L ens准直透镜产生的色散进行了补偿,使得该衰减器工作在C-B an... 利用双光纤准直器研制出一种基于微电机械系统(M icro E lectron ic M echan ica l System,M EM S)技术的连续可调光衰减器,利用双光纤准直器光纤头(P igta il)的楔角面对C-L ens准直透镜产生的色散进行了补偿,使得该衰减器工作在C-B and及衰减范围内具有极低的波长相关损耗(W ave lengthD ependen t Loss,W DL)值.分析了影响该衰减器的其它光学性能的各个因素.对所试制样品进行测试结果表明:该衰减器具有良好的光学性能,插损(Insertion Loss,IL),回损(R eturn Loss,RL)等指标达到理想的结果,特别是W DL指标性能优于同类产品. 展开更多
关键词 微电机械系统 双光纤准直器 波长相关损耗 可变光衰减器
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大力发展微机械加工技术和微电机械系统
2
作者 关定华 《测控技术》 CSCD 1998年第2期4-4,共1页
关键词 微机加工 微电机械系统 微电子学
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微电机械系统(MEMS)的发展
3
《光机电信息》 2001年第4期43-44,共2页
目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术,以便能产生下一代光学网络标准组件,即全光开关。在该领域,微电子机械系统具有很大的发展潜力,美国的一些公司已经开始了一些项目的研究,
关键词 微电机械系统 全光开关 MEMS 光学网络 静电致动器
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微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来
4
作者 刘峰 《光机电信息》 2003年第10期1-8,共8页
随着波分复用 (WDM )网络的发展 ,光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加 ,人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力 ,而微电机械系统 (MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候... 随着波分复用 (WDM )网络的发展 ,光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加 ,人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力 ,而微电机械系统 (MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候选技术。其应用包括大尺寸光开关结构 (如光交叉连接器件、光插 /分多路传输器 )和传输网络用各种类型的有源和无源光学组件 (如可调谐激光器和滤波器、色散补偿装置、放大增益匀衡器、偏振控制器及其他器件 )。本文讨论了光通信用MEMS技术的开发现状、希望、面临的挑战及未来发展前景。重点讨论了基于MEMS的光交叉连接器。 展开更多
关键词 微电机械系统 光通信 波分复用 光纤通信 MEMS 光交叉连接器 无源光学组件
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微电机械系统商业化的现状和未来展望
5
作者 宋晓舒 《光机电信息》 2003年第1期10-15,共6页
  2 0世纪 70年代MEMS/MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化。许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立。然而几年后事实证明 ,实现该技术的商业化是一个艰难的...   2 0世纪 70年代MEMS/MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化。许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立。然而几年后事实证明 ,实现该技术的商业化是一个艰难的过程。MEMS是一项可以实现的技术 ,同时也是一项破坏性技术 ,它注定要完全取代现有的人们所熟悉的经过严密论证的解决方案。一项新技术通常要具有明显的优越性 ,方可取代一项既定的技术。作为经验之谈 ,在可能采用新技术之前需要在一些重要的参数上 ,(如性能和成本上 )具有 5倍的优势。现在市场上已经出现了几种MEMS器件 ,并已发展到重要的商业化阶段。其他几种技术正处于商业成功的边缘。MEMS器件的特性、主要生产厂商及如何克服MEMS实现商业化障碍的问题将得到深入研究。本文将预测这种技术的未来发展趋势。 展开更多
关键词 微电机械系统 商业化 现状 展望
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微电机械系统使光通讯用可调谐激光器成为可能
6
作者 刘洪楷 《光机电信息》 2004年第3期8-9,共2页
关键词 微电机械系统 可调谐激光器 光纤通讯 悬臂式微电子机系统
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微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景
7
作者 于立亭 李锋 《光机电信息》 2003年第1期1-9,共9页
微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械、微光学、微声学、微流体技术、微反应技术等领域的微型化和集成化问题,其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来,微技术已经形成了各种产品和日用品的数十亿美元资... 微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械、微光学、微声学、微流体技术、微反应技术等领域的微型化和集成化问题,其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来,微技术已经形成了各种产品和日用品的数十亿美元资产的市场,预计未来若干年仍会高速增长。由于人们对医疗保健、信息、可移动性和可持续发展的渴望,刺激了对微技术产品的需求,一些高技术生产工艺和材料应运而生,而新器件和新系统的发展也使得一些用来模拟器件功能、生产工艺和综合优化过程的软件显得至关重要。此外,微器件的应用正在扩展至信息、自动化和医学技术领域,同时也为未来由微小型化在化学工程、生命科学、工业自动化和光通信等学科引起的变革奠定了全新的基础。 展开更多
关键词 微电机械系统 微光电机系统 应用前景
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4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列 被引量:6
8
作者 胡巧燕 袁菁 +1 位作者 李静 李宝军 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期937-941,共5页
微电机械系统(MEMS)光开关是微电机系统技术与传统光学技术相结合的新型机械式光开关。采用纵横交换网络和通断型微镜实现4×4微电机械系统光开关阵列,利用球透镜单模光纤准直器作为微电机械系统光开关阵列的输入、输出端口。运用... 微电机械系统(MEMS)光开关是微电机系统技术与传统光学技术相结合的新型机械式光开关。采用纵横交换网络和通断型微镜实现4×4微电机械系统光开关阵列,利用球透镜单模光纤准直器作为微电机械系统光开关阵列的输入、输出端口。运用高斯光束耦合理论对光开关阵列插入损耗(IL)进行了理论计算,并对引起插入损耗的主要因素进行了分析。对于失调容限:输入与输出光纤准直器位置失调2μm,定位角度失调0.15°,微镜非垂直反射角度失调0.15°,制作了4×4微电机械系统光开关阵列,对其各个通道的插入损耗进行了实验测试,其中最大值为2.77dB。 展开更多
关键词 光通信 光开关 光动态器件 微电机械系统
原文传递
微电机械系统(MEMS)在传感技术上的应用介绍
9
作者 RFID Ubiquitous Journal Editor 《射频世界》 2010年第6期69-70,共2页
1人类的感官人通过感觉器官来感知自然界的多姿与多彩,而人的感觉器官常常被等同于五官。人的感觉器官主要是眼、耳、鼻、舌、皮肤等5种,但与人们常说的眼、耳、鼻、口、舌这五官还是有区别的。这五种感知器官主要感知的是光、机械、热... 1人类的感官人通过感觉器官来感知自然界的多姿与多彩,而人的感觉器官常常被等同于五官。人的感觉器官主要是眼、耳、鼻、舌、皮肤等5种,但与人们常说的眼、耳、鼻、口、舌这五官还是有区别的。这五种感知器官主要感知的是光、机械、热等物理量,当然鼻和舌兼具感知化学量(如酸等)的功能。 展开更多
关键词 陀螺仪 微电机械系统 物理量传感器 感觉器官 自然界 感知器 卫星网络 应用介绍 计算机 微卫星
原文传递
微光电机械系统在光通信中的应用 被引量:3
10
作者 李文宇 马君显 杨淑雯 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 2002年第3期43-48,共6页
介绍微光电机械系统(MOEMS)技术在国内外的发展现状,通过多个应用实例和方案,展示了其在光通信领域的广阔应用前景.
关键词 微光电机系统 微电机械系统 光通信 光交换
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台式微机械激光加工系统
11
《光机电信息》 2004年第11期37-37,共1页
New Wave Research公司研制成功一种Laser Mill型台式Nd:YAG激光微机械加工机。该加工机适用于大学和工业用户进行科学研究、样机试制、初步小规模开发和小规模生产。在加工微电机械系统(MEMS)、生物医学、半导体、生命科学和其他器件... New Wave Research公司研制成功一种Laser Mill型台式Nd:YAG激光微机械加工机。该加工机适用于大学和工业用户进行科学研究、样机试制、初步小规模开发和小规模生产。在加工微电机械系统(MEMS)、生物医学、半导体、生命科学和其他器件用有机和无机材料中,Laser Mill具有转换波长操作的特点。其应用范围从钝化、聚酰亚胺清除、片上实验室生产到喷嘴和孔口。 展开更多
关键词 微机 Research公司 微电机械系统 激光加工 半导体 MEMS 器件 台式 试制 钝化
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显微精密成像与微型机械尺寸检测技术 被引量:25
12
作者 王向军 王峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期511-513,共3页
讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干... 讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干问题进行了详细的讨论 ,显微视觉检测是微机械量微几何量计量中最有效的方法之一 ,而精密数字成像是必须解决的问题之一。研究精密数字成像是视觉检测技术向微观检测领域发展所必须解决的科研课题。 展开更多
关键词 视觉计量 微电机械系统 纳米基准 显微精密成像 微型机 尺寸控制
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射频系统中MEMS谐振器和滤波器 被引量:16
13
作者 李应良 潘武 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期47-54,共8页
介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。对这些器件的结构原理、制造方法以及... 介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。对这些器件的结构原理、制造方法以及性能指标作了分析。把这些器件的性能指标和目前射频系统中谐振器、滤波器的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景。最后,对基于MEMS技术的射频谐振器、滤波器发展作出展望。 展开更多
关键词 射频系统 MEMS 谐振器 滤波器 微电机械系统
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CORBA技术在分布式微系统CAD设计中的运用 被引量:1
14
作者 汪成亮 肖沙里 +1 位作者 郑旭锋 李旭辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期194-198,共5页
MEMS CAD( CAD used in Micro-Electro-Mechanical System )的发展还处在一个初级阶段 ,是否能站在一个高起点上主要取决于对该领域相似问题的认识程度和对新技术的掌握程度。通过吸取传统CAD软件系统设计的经验 ,针对其中出现的几点重... MEMS CAD( CAD used in Micro-Electro-Mechanical System )的发展还处在一个初级阶段 ,是否能站在一个高起点上主要取决于对该领域相似问题的认识程度和对新技术的掌握程度。通过吸取传统CAD软件系统设计的经验 ,针对其中出现的几点重要性能 :语言无关性、平台无关性、模块的独立性、网络运用的稳定性 ,提出了构建于 CORBA( Common Object Request Broker Architecture)规范之上的分布式 MEMS 展开更多
关键词 微电机械系统 计算机辅助设计 CORBA MEMS CAD
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采用三向光纤照明成像的三维微结构观测系统 被引量:1
15
作者 张麟 陈涛 +1 位作者 刘世炳 左铁钏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第3期275-281,共7页
为弥补普通光学显微镜照明系统的不足,针对一般三维微结构的显微成像,提出并设计了一个可实现实时调节的三向光纤照明成像观测系统。系统采用计算机、D/A卡、驱动电路等硬件以及自主研制的控制软件,实现对任一光源的光强进行稳定连续的... 为弥补普通光学显微镜照明系统的不足,针对一般三维微结构的显微成像,提出并设计了一个可实现实时调节的三向光纤照明成像观测系统。系统采用计算机、D/A卡、驱动电路等硬件以及自主研制的控制软件,实现对任一光源的光强进行稳定连续的实时调节。通过自主设计的机械结构将光源、光纤、耦合头以及显微镜连接为一整体,实现光束入射方向、入射角和入射距离的任意调节。与通常的底部透射光照明系统进行实验比较,成像质量显著提高,不仅可以清晰观察目标对像的表面结构,还能得到立体感强的三维图像。针对面阵CCD显微测量系统的标定和标定误差问题,提出了螺旋微缝标定法。将螺旋测微计两铁钻形成的微缝作为标定的样本,配以适当的观测手段和计算方法,有效地消除或减小了各种误差,提高了系统的标定精度。通过系统标定和测量比较,系统的标定精度达到±0.0015μm,测量精度达到±1μm。实验结果表明,螺旋微缝标定法可以基本满足CCD测量系统标定的要求。 展开更多
关键词 微电机械系统 照明 电荷耦合器件 显微测量 标定误差
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光可变衰减器的研究进展 被引量:3
16
作者 李鹰 江晓清 +1 位作者 李锡华 王明华 《光通信研究》 北大核心 2004年第4期67-70,共4页
光可变衰减器(VOA)作为波分复用(WDM)网络中关键的功率管理器件,能够实现信道均衡和自动增益控制功能.微电机械系统(MEMS)型和热光型VOA以其衰减范围宽、功耗低、体积小、易于集成等优点成为研究重点,热光特性极佳的聚合物材料则成为最... 光可变衰减器(VOA)作为波分复用(WDM)网络中关键的功率管理器件,能够实现信道均衡和自动增益控制功能.微电机械系统(MEMS)型和热光型VOA以其衰减范围宽、功耗低、体积小、易于集成等优点成为研究重点,热光特性极佳的聚合物材料则成为最引人注目的热光材料.文章对已有的VOA器件作了概括分类,介绍了各种MEMS型VOA,还从热光材料的角度,总结了聚合物材料的研究成果,对已见报道的基于聚合物的各种热光型VOA进行了重点的描述和分析.最后给出了VOA的两种网络实例. 展开更多
关键词 光可变衰减器 微电机械系统 热光效应 聚合物
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全光网的关键器件——光交叉连接器与光分插复用器 被引量:5
17
作者 邹志威 陈博 《光电子技术》 CAS 2002年第3期131-137,148,共8页
全光网(AON,all-optical network)以波长路由光交换技术和波分复用传输技术(WDM)为基础,它的网络节点由光分插复用器和光交叉连接器构成,能在光域上实现高速信息流的传输、交换、路由和故障恢复等功能。光交叉连接器(OXC)与光分... 全光网(AON,all-optical network)以波长路由光交换技术和波分复用传输技术(WDM)为基础,它的网络节点由光分插复用器和光交叉连接器构成,能在光域上实现高速信息流的传输、交换、路由和故障恢复等功能。光交叉连接器(OXC)与光分插复用器(OADM)是全光网中最重要的网络器件,是真正实现全光网关键性功能的必要前提,也是目前国内外光通信器件厂商研究和开发的热点。本文结合全光网的发展,介绍了光交叉连接器(OXC)与光分插复用器(OADM)的基本原理、性能指标,对不同的节点结构进行了比较与讨论,并介绍与比较了目前国内外厂商的主要产品。 展开更多
关键词 全光网 光交叉连接器 OXC OADM 光分插复用器 光开关 微电机械系统 AON
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MEMS 在军事领域中的应用前景 被引量:1
18
作者 陈伟平 虞敦 +3 位作者 王东红 王贵华 王稼祥 虞红 《遥测遥控》 1998年第1期15-20,共6页
微电子机械系统(MEMS)在国民经济、科研和国防上应用甚广,文中较详细地说明MEMS在军事领域中的惯性测量器件、测控技术和信息管理上的多种应用。表明MEMS在加速国防现代化有着重要的应用前景及其极端重要作用。
关键词 微电机械系统 传感器 惯性测量
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用于光网络的OADM研究概况
19
作者 陈明 唐天同 杨铸 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2004年第6期26-27,共2页
介绍了基于不同机理实现OADM的研究现状。它们分别是:基于光纤Bragg 光栅和Mach-Zehnder干涉仪的OADM;基于光纤光栅的OADM;基于光纤光开关(FOS)结构与微电机械系统(MEMS)相结合实现的OADM;在LiNbO3上的集成声光2×2开关/OADM;还预... 介绍了基于不同机理实现OADM的研究现状。它们分别是:基于光纤Bragg 光栅和Mach-Zehnder干涉仪的OADM;基于光纤光栅的OADM;基于光纤光开关(FOS)结构与微电机械系统(MEMS)相结合实现的OADM;在LiNbO3上的集成声光2×2开关/OADM;还预见了在不久将来可能实现的基于带隙光子晶体结构的光分叉复用器。 展开更多
关键词 OADM 光纤光栅 Mach—Zehnder干涉仪 光纤光开关 微电机械系统 LiNb03 带隙光子晶体
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DC—20GHz RF MEMS Switch 被引量:10
20
作者 朱健 林金庭 林立强 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期706-709,共4页
The design and fabrication of a RF MEMS switch is reported for the first time in China.The switching element consists of a thin metallic membrane,which has the metal-isolator-metal contact and a capacitive shunt switc... The design and fabrication of a RF MEMS switch is reported for the first time in China.The switching element consists of a thin metallic membrane,which has the metal-isolator-metal contact and a capacitive shunt switch as single-pole single-throw.When an electrostatic potential is applied to the membrane and the bottom electrode,the attractive electrostatic force pulls the metal membrane down onto the bottom dielectric.The switch characteristics,such as insertion loss and isolation,depend on the off and on-capacitance.The test results are as follows:the pulldown voltage is about 20V;the insertion loss is less than 0 69dB from DC to 20GHz in the up-state;the isolation is more than 13dB from 14 to 18GHz and 16dB from 18 to 20GHz in the down-state. 展开更多
关键词 MEMS RF switch WIDEBAND
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