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微纳电极阵等离子体微系统
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作者 丁衡高 侯中宇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期737-742,共6页
发现微纳尺度结构效应能调控电荷分布,在空间中激励形成极化带电场,极化带电场中原子、分子间相互作用的特异性产生了极化带效应。设计产生极化带效应的微纳电极阵结构,通过非硅微/纳加工技术集成形成微纳电极阵等离子体微系统(NPMEMS),... 发现微纳尺度结构效应能调控电荷分布,在空间中激励形成极化带电场,极化带电场中原子、分子间相互作用的特异性产生了极化带效应。设计产生极化带效应的微纳电极阵结构,通过非硅微/纳加工技术集成形成微纳电极阵等离子体微系统(NPMEMS),NPMEMS可集中或分布式地调控物质状态、产生极化带等离子体,利用其特殊的理化性能可大幅提高应用系统效率,或解决多个领域中应用技术的机理性难题。 展开更多
关键词 微机电系统 微纳电极阵 等离子体
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