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题名化学染色法测量B,Al及P扩散结深
被引量：6
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作者
佟丽英
赵权
史继祥
王聪
李亚光
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机构
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期1213-1215,共3页
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文摘
采取化学染色法对B,Al和P杂质扩散形成的结深进行检测,通过实验不同浓度染色液的腐蚀特性,选择易于控制和重复性好的染色腐蚀液。同时采用扩展电阻法对同一个样品的结深进行测试,以扩展电阻法所得结果为标准,与染色法的测量结果进行对比,根据测试结果与理论分析,对染色法的测试结果进行修正,确定P扩散结深的测试系数。
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关键词
扩散结深
染色液
扩展电阻探针法
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Keywords
diffused-junction
coloration solution
spreading resistance probe
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分类号
TN304.07
[电子电信—物理电子学]
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