层析扫描声学显微镜的研究 被引量：3

1

作者 杨立峰 王亚非 +2 位作者 周鹰 高椿明 王占平 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1605-1608,共4页

为了获得被测样品三维信息同时具有较高的分辨率,在电子科技大学光电声学信息处理研究中心研制成功的激光扫描声学显微镜的基础上,通过检测电路、数据获取等方面进行的硬件改进以及相应的算法研究,获得了合理有效的重建数据,将非线性衍... 为了获得被测样品三维信息同时具有较高的分辨率,在电子科技大学光电声学信息处理研究中心研制成功的激光扫描声学显微镜的基础上,通过检测电路、数据获取等方面进行的硬件改进以及相应的算法研究,获得了合理有效的重建数据,将非线性衍射层析成像算法引入到改进后的SIAM系统中,得到了层析扫描声学显微镜的样机,并且在实验上获得了清晰的集成电路样品的三维层析图像。 展开更多

关键词 激光扫描声学显微镜 层析成像 正交解调器 超声波 重建算法

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利用扫描声学显微镜对金属-陶瓷复合涂层亚表层相分布的研究 被引量：3

2

作者 张军 胡思正 倪曼 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2002年第5期44-46,共3页

利用声学显微技术这一无损检测手段对等离子喷涂的金属 -陶瓷复合涂层进行了亚表层显微结构的观察 ,通过分析涂层材料的声波信号 ,得出了金属相和陶瓷相分布区域的结论 。

关键词 扫描声学显微镜 金属-陶瓷 复合涂层 亚表层 相分布 热喷涂涂层

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层析扫描声学显微镜相关算法及其比较 被引量：2

3

作者 杨立峰 王亚非 周鹰 《声学技术》 CSCD 北大核心 2006年第4期313-316,共4页

为了获得物体内部清晰的三维图像,提高激光扫描声学显微镜的分辨能力,在激光扫描声学显微镜原理的基础上,阐述了层析扫描声学显微镜的结构和工作方式。结合层析技术并且根据超声波在介质中的传播规律介绍了三种层析算法:频域内的插值算... 为了获得物体内部清晰的三维图像,提高激光扫描声学显微镜的分辨能力,在激光扫描声学显微镜原理的基础上,阐述了层析扫描声学显微镜的结构和工作方式。结合层析技术并且根据超声波在介质中的传播规律介绍了三种层析算法:频域内的插值算法;往返传播算法;滤波反向传播算法。最后通过理论和实验比较,结果表明:往返传播算法通过对滤波函数进行改进,在有限孔径的前提下,应用于层析扫描声学显微镜时比其它两种算法可以获得更好的重建图像效果。 展开更多

关键词 层析扫描声学显微镜 层析成像 正交解调器 超声波

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激光扫描声学显微镜图像信号的分析与处理 被引量：1

4

作者 周鹰 王亚非 姜海明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期522-524,533,共4页

激光扫描声学显微镜(ScanningLaserAcousticMicroscope,简称SLAM)是声显微技术的一种形式。作为一种无损检测仪,它对于研究新材料和新器件的内部结构问题特别有用。由于声图像的成像机理与光像不同,随机噪声、衍射条纹和声斑干扰了对获... 激光扫描声学显微镜(ScanningLaserAcousticMicroscope,简称SLAM)是声显微技术的一种形式。作为一种无损检测仪,它对于研究新材料和新器件的内部结构问题特别有用。由于声图像的成像机理与光像不同,随机噪声、衍射条纹和声斑干扰了对获得声图像的分析,因此在传统SLAM系统的基础上,讨论了利用获得的被测样品声学幅度信息,针对声波传播、声光互作用、光路及解调这四个过程对信号的影响进行研究,提出了对声学幅度信号进行相位补偿和线性滤波,采用计算机数值运算,以提高图像质量的方法。给出了利用该方法的实验结果。 展开更多

关键词 激光扫描声学显微镜 分析与处理 图像信号 Laser 无损检测仪 声光互作用 显微技术 结构问题 成像机理 随机噪声 衍射条纹 SLAM 幅度信息 声波传播 线性滤波 相位补偿 数值运算 图像质量 声图像 新器件 新材料 计算机

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激光扫描声学显微镜图像信号的分析与处理 被引量：1

5

作者 张元莉 王顺章 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S2期199-205,共7页

提出了激光扫描声学显微镜（ＳＬＡＭ）图像信号的近似模型，针对ＳＬＡＭ图像的统计特性和各个环节噪声特性，提出了密度比较算法，采用数学形态滤波，对图像进行了处理，并给出实验结果。

关键词 激光扫描声学显微镜 图像处理 图像识别 无损检测 声成像

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激光扫描声学显微镜中透镜效应的研究 被引量：1

6

作者 周鹰 王亚非 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第3期152-153,172,共3页

通过对激光扫描声学显微镜 ( SL AM)光学成像系统的研究 ,推导了 SLAM中透镜组的相关传递函数 ,计算了透镜对 SLAM图像的空间截止频率 ,提出了消除透镜效应的数值计算方法 ,并应用于 SLAM图像的处理中 ,取得了较好的效果。

关键词 激光扫描声学显微镜 透镜 光学成像

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用扫描声学显微镜进行塑封器件的封装分层分析 被引量：13

7

作者 古关华 《电子产品可靠性与环境试验》 2004年第2期14-16,共3页

在塑封IC器件中,封装分层往往会产生电和封装的可靠性问题。由过电应力(EOS)和再流焊中的水汽膨胀引起的分层会显示出不同的失效模式。扫描声学显微镜可以用来检测封装分层,能在失效分析的早期阶段快速地鉴别失效原因。

关键词 扫描声学显微镜 分层 过电应力

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塑封集成电路扫描声学显微镜分析 被引量：2

8

作者 李念念 张小强 《电子制作》 2019年第23期59-60,63,共3页

塑封集成电路以其特有的优势使其在军用领域有广泛的应用,但是其容易存在分层、空洞等缺陷,需要运用扫描声学显微镜对其分析,以剔除缺陷产品,保证使用的可靠性。描述了塑封集成电路缺陷的类型、影响及标准要求。给出了几种常见封装结构... 塑封集成电路以其特有的优势使其在军用领域有广泛的应用,但是其容易存在分层、空洞等缺陷,需要运用扫描声学显微镜对其分析,以剔除缺陷产品,保证使用的可靠性。描述了塑封集成电路缺陷的类型、影响及标准要求。给出了几种常见封装结构形式的塑封集成电路进行扫描声学显微镜分析时的注意事项、检查项目及要求。 展开更多

关键词 塑封集成电路 扫描声学显微镜 缺陷

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扫描声学显微镜对压电复合材料结构的研究

9

作者 张谦琳 库兹,阿 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期30-31,34,共3页

对以聚氯乙烯为基体、压电陶瓷粉为增强颗粒的压电复合材料的颗粒分布用扫描声学显微镜进行了显微成像研究。结果表明，在垂直注入增强颗粒的情况下，由于重力的作用，恳浮颗粒的浓度沿垂直方向进行再分布，Ｎ＿ｍａｘ与颗粒大小和聚合... 对以聚氯乙烯为基体、压电陶瓷粉为增强颗粒的压电复合材料的颗粒分布用扫描声学显微镜进行了显微成像研究。结果表明，在垂直注入增强颗粒的情况下，由于重力的作用，恳浮颗粒的浓度沿垂直方向进行再分布，Ｎ＿ｍａｘ与颗粒大小和聚合基体的力学性能有关。 展开更多

关键词 压电复合材料 扫描声学显微镜 增强颗粒分布

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激光扫描声学显微镜及应用

10

作者 严真旭 王亚非 +1 位作者 周鹰 陈玉群 《光电子技术》 CAS 2003年第2期113-116,共4页

阐述了激光扫描声学显微镜 ( SLAM)的结构、工作原理 ,以及激光扫描声学显微镜的实际应用 ,结合电子科技大学光电声信息处理研究中心研制成功的 SL AM说明这种新型无损检测设备具有的一些特殊功能 ,在电子、复合材料。

关键词 激光扫描声学显微镜 SLAM 应用 无损检测 声图像

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论扫描声学显微镜在电子封装中的应用

11

作者 刘玲玲 谭伟 +3 位作者 范丹丹 崔亮 刘红杰 段杨杨 《电子工业专用设备》 2019年第3期42-45,共4页

探讨了在使用扫描声学显微镜对IC封装体扫描时,对扫描图形中的黑点产生的原因及判定方法以及芯片底部芯片胶分层的波形情况及其扫描方法进行了讨论,结果表明,气孔和未分散的橡胶是造成扫描图中黑点的原因,芯片胶底部的分层需要由透射图... 探讨了在使用扫描声学显微镜对IC封装体扫描时,对扫描图形中的黑点产生的原因及判定方法以及芯片底部芯片胶分层的波形情况及其扫描方法进行了讨论,结果表明,气孔和未分散的橡胶是造成扫描图中黑点的原因,芯片胶底部的分层需要由透射图形结合波形图才能准确判定。 展开更多

关键词 扫描声学显微镜 气孔 分层

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声学扫描显微镜检查标准研究 被引量：4

12

作者 李昕昕 党炜 +1 位作者 李永正 张泽明 《电子产品可靠性与环境试验》 2018年第5期72-76,共5页

塑封器件由于具有成本低、性能高等优势,而逐渐地应用于高可靠领域。声学扫描显微镜检查在高可靠领域已经广泛地应用于塑封器件的无损检测中,主要用于发现塑封器件的分层、空洞和裂纹等缺陷。但是,目前国内外关于声学扫描显微镜检测的... 塑封器件由于具有成本低、性能高等优势,而逐渐地应用于高可靠领域。声学扫描显微镜检查在高可靠领域已经广泛地应用于塑封器件的无损检测中,主要用于发现塑封器件的分层、空洞和裂纹等缺陷。但是,目前国内外关于声学扫描显微镜检测的标准存在差异,相同的缺陷表征,依据不同的规范进行判定可能会得到截然相反的结论。因此,分析了国内外应用得较为普遍的声学扫描显微镜检测标准的差异,对于这些标准在塑封器件检测中的合理应用具有一定的指导意义。 展开更多

关键词 声学扫描显微镜 塑封器件 检测标准

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声学扫描显微镜在塑封器件失效分析中的应用 被引量：1

13

作者 陈美静 赵海龙 黄杰 《电子测试》 2020年第16期93-95,共3页

为了适应高可靠性领域的要求,本文重点介绍了声学扫描显微镜的工作原理。同时,用声学扫描检测技术对经历温循后失效的某型号塑封稳压器进行了无损失效分析,准确而高效地找到了失效部位和失效原因。

关键词 塑封器件 声学扫描显微镜 失效分析

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关于塑封元器件声学扫描显微镜检查标准的探讨 被引量：2

14

作者 张国强 宋婉潇 朱俊琦 《电子产品可靠性与环境试验》 2021年第2期84-87,共4页

首先,对利用声学扫描显微镜检查塑封元器件时所依据的国内外主要的几个标准进行了说明,分别指出了国内外标准中存在的问题,并对关于声学扫描显微镜检查的国内外两种判据的差异进行了比对;然后,举例说明了利用声学扫描显微镜检查同一器... 首先,对利用声学扫描显微镜检查塑封元器件时所依据的国内外主要的几个标准进行了说明,分别指出了国内外标准中存在的问题,并对关于声学扫描显微镜检查的国内外两种判据的差异进行了比对;然后,举例说明了利用声学扫描显微镜检查同一器件时因使用的标准不同而导致该器件合格与否的结论存在差异的现象;最后,根据目前声学扫描显微镜检查的现状,提出了两点建议:1)关于声学扫描显微镜的标准亟待更新;2)对于由于国内标准和国外标准存在的差异而导致某类元器件合格与否存在争议的问题,若国内标准较为严格,则在保证争议器件不被应用于极其恶劣的环境和高精密的核心部件上的前提下,可以考虑允许使用该器件。 展开更多

关键词 声学扫描显微镜检查 塑封元器件 分层 标准

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用声学显微镜方法研究形变热处理对钢的组织和性能的影响

15

作者 刘炎 黄涛 《国外金属热处理》 1999年第3期18-21,共4页

取得了用扫描声学显微镜(CAM)研究钢和合金的组织与性能的结果。这种显微镜可以观察未经复杂化学处理之试样的表面层组织和各种性质的缺陷、测量一些弹性力学的特征值。研究了声学显微镜方法对经不同形式热加工和机械加工之材料的灵敏度。

关键词 钢 组织 性能 形变热处理 扫描声学显微镜

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SAM扫描器件芯/焊结合空洞的失效分析 被引量：2

16

作者 刘晶 邹俊峰 +1 位作者 李文石 徐立 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期165-168,共4页

超声无损检测是70种无损探伤技术的最热点。扫描声学显微镜(SAM)的原理是声阻抗成像,要求缺陷尺度大于超声波的波长。结合SAM技术中的A-扫描波形分析和C-扫描特征成像,针对由封装引入的分层和空洞缺陷进行失效分析。研究发现:分层定位... 超声无损检测是70种无损探伤技术的最热点。扫描声学显微镜(SAM)的原理是声阻抗成像,要求缺陷尺度大于超声波的波长。结合SAM技术中的A-扫描波形分析和C-扫描特征成像,针对由封装引入的分层和空洞缺陷进行失效分析。研究发现:分层定位的关键是A-扫描波形分析中对各界面处反射波的时间位置的判断;基于分层定位的芯/焊结合空洞缺陷的判别,关键是C-扫描图像中灰阶色带的区分(反射率差值)。 展开更多

关键词 扫描声学显微镜 分层 空洞 反射率 失效分析 芯/焊结合

原文传递

承载条件下材料声学显微结构偏转特征分析

17

作者 孙康宁 张景德 +3 位作者 刘援朝 王昕 尹衍升 张送根 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期125-128,133,共5页

对各种材料在承受不同压力作用下所呈现出来的不同声学显微结构进行了分析、比较，研究发现：不仅声速随承受载荷变化而变化，且声学显微组织也随承受载荷而变化。这种在弹性变形下表现出来的内部结构畸变。

关键词 材料 声学扫描显微镜 显微结构 偏转特征

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眼镜、放大镜、显微镜、望远镜

18

《中国光学》 EI CAS 1999年第5期93-94,共2页

T H742 99053444近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法=Non—optical methods ofsample—tip distance regulation based onshearforce in SNOM[刊,中]/刘秀梅,王佳,李达成(清华大学精密仪器系精密测试技... T H742 99053444近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法=Non—optical methods ofsample—tip distance regulation based onshearforce in SNOM[刊,中]/刘秀梅,王佳,李达成(清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室.北京(100084))//光学技术.—1998,(5).—6—10综述了扫描近场光学显微镜发展以来所出现的基于剪切力原理进行样品/探针间距的探测的一些主要的非光学方法。包括利用PMT直接探测样品辐射,利用音叉、电容、阻抗以及压电效应的探测方法等,并对各种方法的优缺点进行了分析比较。图8参11(方舟) 展开更多

关键词 电视望远镜 非光学方法 扫描近场光学显微镜 光学技术 测试技术 剪切力 扫描隧道显微镜 国家重点实验室 激光扫描声学显微镜 压电效应

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眼镜、放大镜、显微镜、望远镜

19

《中国光学》 CAS 2004年第1期98-99,共2页

P111.2 2004010749 空间太阳望远镜镜筒桁架的优化=Optimization of tubetruss for space solar telescope[刊,中]/胡企千(中科院国家天文台.江苏,南京(210042)),刘梅∥光学精密工程.—2003.11(2),—151-156

关键词 大口径望远镜 精密工程 国家天文台 扫描隧道显微镜 结构优化 中科院 空间太阳望远镜 镜筒桁架 激光扫描声学显微镜 技术研究所

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双层基板塑封器件的声扫检查方法研究

20

作者 田健 廖登华 +1 位作者 李永梅 马清桃 《电子与封装》 2023年第4期19-23,共5页

在对双层基板塑料封装器件进行扫描声学显微镜检查时,对器件结构和声扫设备成像了解不充分,容易导致误判。对ACTEL公司生产的2款双层基板结构的FPGA器件进行化学开封和物理解剖分析,同时从器件检测波形特点、声扫图像特征、同类器件对... 在对双层基板塑料封装器件进行扫描声学显微镜检查时,对器件结构和声扫设备成像了解不充分,容易导致误判。对ACTEL公司生产的2款双层基板结构的FPGA器件进行化学开封和物理解剖分析,同时从器件检测波形特点、声扫图像特征、同类器件对比验证等多个方面进行综合分析及验证。指出当门限内包含2个及以上主波信号时,应关注器件的封装结构。在充分了解器件结构后,通过门限设置选定与关注界面对应的界面波,再进行声扫即可得出正确的结果。 展开更多

关键词 双层基板 塑封器件 扫描声学显微镜检查 分层假象

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