新型变密度卤化物/MCP反射式X射线敏感薄膜的研究 被引量：3

1

作者 田景全 姜德龙 +5 位作者 孙秀平 富丽晨 但唐仁 李野 卢耀华 端木庆铎 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期513-517,共5页

在MCP输入端通道内壁制作了反射式X射线敏感膜层 ,提高了MCP对能量 35～ 5 0keVX射线的探测能力。实验结果表明 :变密度结构的CsI/MCP中膜层结构较密实时 ,其输出响应可提高 5～ 6倍 ,较无膜MCP提高 1～ 2个数量级 ,和CsBr、KBr相比较 ,... 在MCP输入端通道内壁制作了反射式X射线敏感膜层 ,提高了MCP对能量 35～ 5 0keVX射线的探测能力。实验结果表明 :变密度结构的CsI/MCP中膜层结构较密实时 ,其输出响应可提高 5～ 6倍 ,较无膜MCP提高 1～ 2个数量级 ,和CsBr、KBr相比较 ,以CsI的响应特性为最佳 ;膜层材料、结构、工艺和X射线能量等是影响探测能力的主要因素。 展开更多

关键词 MCP 反射式X射线敏感薄膜 变密度 卤化物 X射线光阴极 微通道板 工作原理 X射线影像增强器

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声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究 被引量：2

2

作者 李淑红 赵启大 +1 位作者 廖同庆 廖继平 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期461-463,共3页

理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响。分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响。提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式。

关键词 声表面波 敏感薄膜 最佳薄膜厚度

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流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析 被引量：1

3

作者 齐虹 李玉玲 +2 位作者 王晓光 张岩 寇文兵 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第5期12-14,共3页

通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具... 通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻,满足流量传感器的使用要求。使流量传感器重复性可达±1%,该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产。 展开更多

关键词 流量传感器 敏感薄膜电阻 温度系数

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SAW氢传感器敏感薄膜的研究进展 被引量：1

4

作者 周俊静 周荣飞 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期75-78,共4页

氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用。综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物半导体(MOS)型薄膜材料的特点,着重阐述了金属氧化物半导体薄膜对SAW的作用机理和改性途径,以及纳米技术在... 氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用。综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物半导体(MOS)型薄膜材料的特点,着重阐述了金属氧化物半导体薄膜对SAW的作用机理和改性途径,以及纳米技术在SAW氢传感器敏感薄膜中的应用,展望了氢敏薄膜的发展方向。 展开更多

关键词 声表面波 氢传感器 综述 敏感薄膜

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硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试 被引量：1

5

作者 陈绍凤 夏善红 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第1期34-38,共5页

封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45... 封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45V时发射电流可达到86mA ,平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ,与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ,灵敏度为 0 .3 μA/kPa。 展开更多

关键词 真空微电子压力传感器 压力特性 测试 硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极 计算机模拟

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带锥敏感薄膜形变特性有限元仿真

6

作者 韩建保 马岳峰 廖波 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第9期36-37,40,共3页

在一种新的基于真空二极管原理的场发射压力传感器中 ,阴极发射尖锥体和敏感薄膜制备于同一硅片上 ,从而简化了传感器的封装工艺 ,但因此可能导致传感器灵敏度的减小。利用有限元仿真技术 ,计算了在外部压力作用下 ,几何形状比较复杂的... 在一种新的基于真空二极管原理的场发射压力传感器中 ,阴极发射尖锥体和敏感薄膜制备于同一硅片上 ,从而简化了传感器的封装工艺 ,但因此可能导致传感器灵敏度的减小。利用有限元仿真技术 ,计算了在外部压力作用下 ,几何形状比较复杂的带尖锥体敏感薄膜的横向挠度形变特性。计算结果表明 ,与不带尖锥体的敏感薄膜相比较 ,带尖锥体敏感薄膜在额定外部静压力作用下的最大横向挠度的减小量小于 0 .4% 。 展开更多

关键词 有限元仿真 场发射压力传感器 带锥敏感薄膜 形变特性

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磁场力及膜曲率对磁敏感薄膜-基底界面黏附性能的影响与调控 被引量：1

7

作者 韩明杰 彭志龙 +2 位作者 姚寅 张博 陈少华 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1609-1621,共13页

界面黏附和脱黏的可调控在攀爬装置、黏附开关、机械抓手等方面具有重要的应用需求.针对磁敏感薄膜-基底界面,开展了薄膜初始曲率及外加磁场对界面黏附性能影响机制的研究.首先实验制备了具有初始曲率的磁敏感薄膜,分别开展了具有初始... 界面黏附和脱黏的可调控在攀爬装置、黏附开关、机械抓手等方面具有重要的应用需求.针对磁敏感薄膜-基底界面,开展了薄膜初始曲率及外加磁场对界面黏附性能影响机制的研究.首先实验制备了具有初始曲率的磁敏感薄膜,分别开展了具有初始曲率的磁敏感薄膜-基底界面撕脱实验及理论研究,研究了薄膜初始曲率、弯曲刚度和外加磁场强度对界面黏附性能的影响规律.实验和理论结果一致表明:具有初始曲率的磁敏感薄膜-基底界面黏附力随薄膜初始曲率的增大而减小,而外加磁场能够有效提高界面黏附力;相比于初始零曲率薄膜-基底界面稳态撕脱力与薄膜弯曲刚度无关,薄膜弯曲刚度减弱了具有初始曲率薄膜-基底界面的稳态撕脱力.进一步从能量角度分析了界面等效黏附性能,揭示了薄膜弯曲能、磁场势能、界面黏附能的相互竞争机制.最后,基于本文的实验及理论结果,提出了一种磁场和薄膜初始曲率协同调控的简易机械抓手,可连续实现物体的拾取、搬运和释放功能.本文结果不仅有助于理解多场调控的界面可逆黏附机制,对界面黏附可控的功能器件设计亦提供了一种新方法. 展开更多

关键词 磁敏感薄膜 初始曲率 磁场强度 可调黏附 机械抓手

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敏感薄膜的制备技术 被引量：1

8

作者 高凯 张玉赋 沈洪涛 《江苏科技信息》 1999年第9期16-17,共2页

薄膜传感器是一种新型的传感器。薄膜传感器具有如下优点:①耐振动,结构稳定,噪声小;②体积小,耗材少;③灵敏度高,精度高,响应快。相对于块状物质,由于处于薄膜形态的物质具有许多独特的性质,因而薄膜器件已成为现代科学技术领域中不可... 薄膜传感器是一种新型的传感器。薄膜传感器具有如下优点:①耐振动,结构稳定,噪声小;②体积小,耗材少;③灵敏度高,精度高,响应快。相对于块状物质,由于处于薄膜形态的物质具有许多独特的性质,因而薄膜器件已成为现代科学技术领域中不可缺少的器件。薄膜传感器敏感薄膜的制备技术近年来发展很快,在传感技术中独树一帜。目前国内外敏感薄膜制备方法主要有物理方法、化学方法、生物学方法三类方法。 展开更多

关键词 敏感薄膜 制备技术 薄膜传感器 溅射成膜工艺

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Fe_2O_3-SnO_2双层薄膜对氨气敏感特性及其机理研究 被引量：3

9

作者 戴国瑞 何秀丽 +1 位作者 王宗昌 南金 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第10期745-751,共7页

本文报道了以Ｆｅ（ＣＯ）５和ＳｎＣｌ４为源，采用ＰＥＣＶＤ技术淀积Ｆｅ２Ｏ３－ＳｎＯ２双层薄膜，将该薄膜淀积在陶瓷管上，对氨气的敏感特性进行了测量，并讨论了敏感机理．

关键词 半导体 敏感器件 传感器 氨气 敏感薄膜

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高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片技术研究

10

作者 张万里 《科技成果管理与研究》 2022年第7期69-70,共2页

传感器、通信与计算机被称为现代信息技术的三大支柱,传感器产业已被国内外公认为是最具有发展前途的高技术产业之一.随着传感器不断向小型化、集成化以及智能化方向发展,将敏感材料薄膜化并与集成电路(IC)集成在一起形成传感器芯片,已... 传感器、通信与计算机被称为现代信息技术的三大支柱,传感器产业已被国内外公认为是最具有发展前途的高技术产业之一.随着传感器不断向小型化、集成化以及智能化方向发展,将敏感材料薄膜化并与集成电路(IC)集成在一起形成传感器芯片,已成为传感器技术发展的重要方向,其技术实现途径分为单片集成(薄膜敏感单元沉积在IC上,形成"单片式"传感器芯片)和混合集成(薄膜敏感元件和IC两个分立元件互连封装在一起,形成"混合式"传感器芯片)两大类.这种集成技术使只有单一信号变换功能的传感器扩展为兼有信号放大、运算、补偿等功能的传感器芯片.当前,国外传感器芯片技术日趋成熟,部分产品已批量应用,而国内还未形成芯片设计-薄膜制备-器件加工-典型应用的自主知识产权技术链. 展开更多

关键词 敏感薄膜 异构集成 敏感元件 信号变换 传感器芯片 高技术产业 信号放大 分立元件

原文传递

基于SnO_2-In_2O_3复合纳米纤维的薄膜型甲醛传感器研究 被引量：14

11

作者 胡明江 马步伟 王忠 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期47-52,共6页

采用双喷嘴静电纺丝技术制备了SnO2／In2O3复合纳米纤维，涂敷于带有金电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜，设计了一种新型薄膜型甲醛传感器。采用X射线衍射仪、热场发射扫描电子显微镜、O2-程序升温脱附仪和X-射线光电子能谱（XPS）... 采用双喷嘴静电纺丝技术制备了SnO2／In2O3复合纳米纤维，涂敷于带有金电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜，设计了一种新型薄膜型甲醛传感器。采用X射线衍射仪、热场发射扫描电子显微镜、O2-程序升温脱附仪和X-射线光电子能谱（XPS）仪，表征了SnO2／In2O3纳米纤维的相组成和微观形貌，分析了敏感薄膜成分配比对甲醛吸附强度与电化学的影响机理。在气体传感器静态测试系统上，采用XEDWS-60A型气敏元件分析仪测试了甲醛传感器敏感特性、温度特性、湿度特性、动态响应、抗干扰和稳定性。结果表明，以S50纳米纤维为敏感薄膜（膜厚为240nm）的甲醛传感器，在温度为500℃，甲醛浓度为0．5～50mg／L时，传感器线性度和灵敏度最大值分别为96．8％和97．5％，承受的温度上限为1000℃，动态响应和恢复时间分别为23和12s。此传感器对CO、NO。甲苯、菲、丙酮和甲醇等气体具有良好的抗干扰性能。在汽车上连续使用12个月后，响应衰减了5．5％，响应正常时间为6．4个月。 展开更多

关键词 静电纺丝 甲醛传感器 复合纳米纤维 敏感薄膜

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薄包层长周期光纤光栅薄膜传感器特性研究 被引量：5

12

作者 陈海云 彭保进 +1 位作者 斯剑霄 黄秋萍 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期45-50,共6页

基于薄膜参量变化引起的长周期光纤光栅模式重组机制,系统研究了光纤包层半径变化对长周期光纤光栅薄膜传感器特性的影响.结果表明,在相同薄膜参量下包层半径的减小可有效提高传感器的灵敏度,并增大传感器对薄膜参量变化响应的动态范围... 基于薄膜参量变化引起的长周期光纤光栅模式重组机制,系统研究了光纤包层半径变化对长周期光纤光栅薄膜传感器特性的影响.结果表明,在相同薄膜参量下包层半径的减小可有效提高传感器的灵敏度,并增大传感器对薄膜参量变化响应的动态范围,但减小包层半径对传感器的增敏效应随薄膜厚度的增大而减小.通过氢氟酸腐蚀减小包层半径,采用静电自组装法在包层表面镀制PAH/PAA薄膜,镀膜过程中光纤光栅输出的光谱数据证实了理论分析结果.实验结果表明:半径为39μm、膜厚为424nm的长周期光纤光栅薄膜传感器在溶液pH值检测中的灵敏度达3.93nm/pHU,比标准包层时的灵敏度提高了1倍. 展开更多

关键词 光纤光学 长周期光纤光栅 模式重组 薄包层 敏感薄膜

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基于光纤微结构加工和敏感材料物理融合的光纤传感技术 被引量：5

13

作者 王闵 刘复飞 +2 位作者 周贤 戴玉堂 杨明红 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期19-27,共9页

将功能敏感材料与光纤在物理层面进行有机融合,充分发挥光纤传感器在结构集成、材料集成等方面的优势,将有望发展新型的光纤传感器件和系统.本文综述了飞秒激光光纤微加工技术分别在标准的单模光纤和光纤光栅上制备微结构,再结合敏感材... 将功能敏感材料与光纤在物理层面进行有机融合,充分发挥光纤传感器在结构集成、材料集成等方面的优势,将有望发展新型的光纤传感器件和系统.本文综述了飞秒激光光纤微加工技术分别在标准的单模光纤和光纤光栅上制备微结构,再结合敏感材料制备技术,实现在物理层面上光纤传感器材料和结构的集成和融合,探索实现新型高性能的光纤传感新技术. 展开更多

关键词 光纤传感 飞秒激光 敏感薄膜

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基于SnO_2-CuO纳米纤维的薄膜型H_2S传感器研究 被引量：4

14

作者 胡明江 王忠 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期1315-1321,共7页

采用同轴静电纺丝技术制备了SnO2-CuO复合纳米纤维,采用提拉法将SnO2-CuO纳米纤维涂覆于印有梳状Au电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜式H2S传感器。采用X射线衍射、扫描电子显微镜和X-射线光电子能谱（XPS）表征Sn... 采用同轴静电纺丝技术制备了SnO2-CuO复合纳米纤维,采用提拉法将SnO2-CuO纳米纤维涂覆于印有梳状Au电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜式H2S传感器。采用X射线衍射、扫描电子显微镜和X-射线光电子能谱（XPS）表征SnO2-CuO纳米纤维的相组成和微观形貌,分析了敏感薄膜成分配比和厚度对硫化氢敏感机理和电化学特性。采用WS-30A型气敏元件分析仪测试了H2S传感器敏感特性、温度特性、湿度特性、动态响应、抗干扰特性和稳定性。结果表明,以C50纳米纤维为敏感薄膜（膜厚为70 nm）的H2S传感器,在温度为25℃,H2S气体浓度为10~60 mg/L时,传感器线性度和灵敏度分别为92.3%和98.2%,响应最大值为1080,承受的最大相对湿度为95%,动态响应和恢复时间分别为4和12 s。此传感器对CO,NO2,SO2,NH3,CO2,CH4和H2等有害气体具有较好的抗干扰性。在矿井中连续使用12月后,响应衰减了9.2%,响应正常时间为10.9月。 展开更多

关键词 同轴静电纺丝 硫化氢 传感器 纳米纤维 敏感薄膜

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压力敏感性乙烯基薄膜

15

作者 BKB 《国外塑料》 2005年第1期69-69,共1页

HiTaek公司开发出一种压力敏感性乙烯基薄膜，使用该类薄膜的印刷品在室外恶劣条件和环境下耐久性很好。

关键词 压力敏感性乙烯基薄膜 低密度聚乙烯 印刷品 聚苯乙烯

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一种适用于薄膜结构的静电键合方法

16

作者 赵慧 徐晨 +3 位作者 霍文晓 赵林林 沈光地 邹德恕 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期430-431,共2页

针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法--局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所在位置的电场,使薄膜结构不受静电力的影响,从根本上解决了薄膜受静电吸引力而产生形变,与玻璃贴合甚至破... 针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法--局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所在位置的电场,使薄膜结构不受静电力的影响,从根本上解决了薄膜受静电吸引力而产生形变,与玻璃贴合甚至破裂的问题,大大提高了成品率. 展开更多

关键词 MEMS 静电键合 敏感薄膜 局部电场屏蔽

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基于SOI薄膜的硅压敏电阻变化率计算方法

17

作者 李丹丹 梁庭 +5 位作者 李赛男 姚宗 洪应平 齐蕾 杨帆 熊继军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第6期384-389,共6页

用小挠度方形膜作为理论模型,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)敏感薄膜的硅压敏电阻变化率新型积分计算方法。针对传统中心点计算方法的不足,通过整个平面积分的方法计算电阻变化率,并计算出输出电压和外部气压的关系表达式,与传统中心... 用小挠度方形膜作为理论模型,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)敏感薄膜的硅压敏电阻变化率新型积分计算方法。针对传统中心点计算方法的不足,通过整个平面积分的方法计算电阻变化率,并计算出输出电压和外部气压的关系表达式,与传统中心点计算方法进行比较;同时,利用仿真的方法算出灵敏度,并将计算的理论值与实验值进行比较。实验结果表明,外界温度不变,当输入电压为5 V、单个压敏电阻值为4.5 kΩ时,敏感芯片的灵敏度为6.028 3×10-4 mV/Pa。该灵敏度值相比传统中心点法和仿真计算方法,与采用新型积分计算方法的计算值更接近。 展开更多

关键词 压敏电阻 压力传感器 平面积分 敏感薄膜 灵敏度

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基于脉冲激光沉积的新型镉离子薄膜传感器

18

作者 胡卫军 李毅 +2 位作者 邹绍芳 王平 Andrey Legin 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期286-289,320,共5页

采用用于镉离子选择电极的硫属玻璃（Cd-Ag-As-I-S）制备敏感材料,结合脉冲激光沉积技术与光寻址电位传感器的特点,在光寻址电位传感器表面上沉积对镉离子敏感的薄膜材料,研制了一种新型镉离子敏感薄膜传感器.该传感器基底为N型单晶硅片... 采用用于镉离子选择电极的硫属玻璃（Cd-Ag-As-I-S）制备敏感材料,结合脉冲激光沉积技术与光寻址电位传感器的特点,在光寻址电位传感器表面上沉积对镉离子敏感的薄膜材料,研制了一种新型镉离子敏感薄膜传感器.该传感器基底为N型单晶硅片,金属接触层为Cr/Au.通过实验得出该传感器的检出下限为1.15×10^-7mol/L,响应时间小于2 min,适用溶液pH范围为4-7,具有测量快速灵活、所需样品少、测量下限低等特点.该传感器对干扰离子具有较好的抑制能力.该传感器采用交流光激发电流信号进行测量,相对于离子选择电极,灵敏度得到了提高.实验结果表明脉冲激光沉积方法是制备薄膜微型传感器的一种新的有效手段. 展开更多

关键词 镉离子敏感薄膜传感器 光寻址电位传感器 硫属玻璃 脉冲激光沉积

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一种新型三维敏感气体传感器的研究

19

作者 杨英 陈向东 邱秀荣 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第10期39-41,45,共4页

在平面微电极式结构的基础上,提出了一种新型薄膜气体传感器,其主要结构引用了离散阵列的概念,将传统的长方体型薄膜改进为由多条小长方体有间隔的并行排列的离散结构,使敏感薄膜具有了三维敏感效应。根据半导体气敏薄膜的扩散响应理论... 在平面微电极式结构的基础上,提出了一种新型薄膜气体传感器,其主要结构引用了离散阵列的概念,将传统的长方体型薄膜改进为由多条小长方体有间隔的并行排列的离散结构,使敏感薄膜具有了三维敏感效应。根据半导体气敏薄膜的扩散响应理论,对传感器的响应时间和灵敏度特性进行了理论分析,证明新型传感器具有响应时间更短、灵敏度更高的优点;并分析了薄膜厚度对传感器响应时间的影响。 展开更多

关键词 气体传感器 三维敏感薄膜 响应时间 灵敏度

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金属催化剂对CO气敏薄膜特性影响的密度泛函法分析

20

作者 薛严冰 唐祯安 魏广芬 《测试技术学报》 2006年第1期15-20,共6页

根据密度泛函理论,采用总体能量平面波赝势方法,计算了CO气体敏感薄膜中几种常用金属催化剂(P T,PD,CU,A G)的能量最低晶面,并对CO在这些晶面上的吸附特性进行了研究.从结合能、C O键长、轨道布居、态密度等方面比较了C与金属成键强度... 根据密度泛函理论,采用总体能量平面波赝势方法,计算了CO气体敏感薄膜中几种常用金属催化剂(P T,PD,CU,A G)的能量最低晶面,并对CO在这些晶面上的吸附特性进行了研究.从结合能、C O键长、轨道布居、态密度等方面比较了C与金属成键强度及CO分子被活化程度.计算结果发现,CO在金属表面的吸附强度及金属对CO催化效果强弱的顺序是:P T>PD>CU>A G.得出结论:对于CO气体传感器,P T是通过金属催化剂添加提高灵敏度的最佳选择. 展开更多

关键词 密度泛函 CO气体敏感薄膜 金属催化剂 吸附 催化效果 薄膜传感器

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