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散射测量原理样机光机分系统的设计
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作者 马燕玲 杨晓青 《机械制造》 2023年第1期64-66,共3页
散射测量是一种通过测量周期性标记的散射光特征,使用逆向求解算法获得标记参数的非接触式测量技术。对散射测量原理样机的光机分系统进行了设计,并进行了集成调试。通过所设计的光机分系统,实现了散射测量原理样机对晶元形貌线宽和套... 散射测量是一种通过测量周期性标记的散射光特征,使用逆向求解算法获得标记参数的非接触式测量技术。对散射测量原理样机的光机分系统进行了设计,并进行了集成调试。通过所设计的光机分系统,实现了散射测量原理样机对晶元形貌线宽和套刻工艺100nm级测量,取得了半导体检测领域的重大突破。 展开更多
关键词 散射测量 原理样机 光机分系统 设计
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量子阱红外探测器响应峰值波长的Raman散射测量 被引量:2
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作者 程兴奎 连洁 +3 位作者 王青圃 周均铭 黄绮 闫循领 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期97-99,共3页
通过测量多量子阱材料的Raman散射谱,可以预测出:由该种材料制出的量子阱红外探测器的响应峰值波长.它既不需要实际制出量子阱红外探测器,也不需要对多量子阱结构材料进行抛光处理,方法简便,结果可靠.
关键词 量子阱红外探测器 峰值波长 散射测量 响应 Raman散射 多量子阱材料 抛光处理 结构材料
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基于扫频技术的散射测量微波暗室设计 被引量:2
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作者 赵京城 洪韬 梁沂 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期730-734,共5页
传统微波暗室的考核指标是静区场均匀性,对于散射测量来说,这个指标并不能决定测量结果的准确性。在扫频测量系统的基础上,提出一种新的散射测量微波暗室优化设计目标——降低目标区背景噪声。分析了矩形微波暗室中有用信号和干扰信号... 传统微波暗室的考核指标是静区场均匀性,对于散射测量来说,这个指标并不能决定测量结果的准确性。在扫频测量系统的基础上,提出一种新的散射测量微波暗室优化设计目标——降低目标区背景噪声。分析了矩形微波暗室中有用信号和干扰信号的分布,指出了两者的不同特征。在理论分析的基础上,提出了降低目标区干扰信号的微波暗室设计方法。最后,给出了在这种设计思想指导下,实际建设的散射测量微波暗室目标区性能指标,其目标区背景噪声比同类普通矩形微波暗室低10dB以上。 展开更多
关键词 散射测量 微波暗室 扫频技术 背景噪声
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近场散射测量扫描范围及数据处理方法研究 被引量:1
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作者 于丁 傅德民 +1 位作者 刘其中 毛乃宏 《电波科学学报》 EI CSCD 1999年第3期295-303,共9页
根据双站近场散射测量的基本原理,以二维圆柱作为待测目标,对双站近场散射测量进行了计算机模拟。研究了有限扫描面与数据处理方式对双站近场散射测量结果的影响,总结了不同尺寸的目标所需的扫描面宽度、扫描面与目标的距离、可信角... 根据双站近场散射测量的基本原理,以二维圆柱作为待测目标,对双站近场散射测量进行了计算机模拟。研究了有限扫描面与数据处理方式对双站近场散射测量结果的影响,总结了不同尺寸的目标所需的扫描面宽度、扫描面与目标的距离、可信角域及其测试精度间的关系,给出了一些有用的结果,证实了一种有效而可靠的近场数据处理方式,提出并论证了一条选择扫描面宽度的原则。 展开更多
关键词 有限扫描面 数据处理 近场散射测量 近远场变换
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激光散射测量系统和激波管装置用于水蒸汽自发成核凝结过程的实验分析 被引量:3
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作者 史琳 胡柱国 蔡颐年 《西安交通大学学报》 CSCD 北大核心 1994年第2期91-96,共6页
在激波管装置上,采用激光散射测量系统探测水蒸汽的自发成核凝结过程,测量不同水蒸汽分压和膨胀率下的膨胀压力及相应的散射光功率随时间变化的曲线,这些曲线标志着水蒸汽相变过程中成核率和凝结量的相对变化量,据此,分析膨胀率和... 在激波管装置上,采用激光散射测量系统探测水蒸汽的自发成核凝结过程,测量不同水蒸汽分压和膨胀率下的膨胀压力及相应的散射光功率随时间变化的曲线,这些曲线标志着水蒸汽相变过程中成核率和凝结量的相对变化量,据此,分析膨胀率和蒸汽分压对成核时间和液滴生长率的影响。 展开更多
关键词 激波管 激光散射测量 水蒸气凝结
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系统误差对点目标极化散射测量的影响 被引量:3
6
作者 熊维族 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2007年第6期9-12,16,共5页
首先推广了现有极化定标模型。在此基础上,评估了极化通道幅相不平衡、天线串扰、法拉第旋转、指向误差角、干扰和系统环境噪声对点目标全极化散射测量的影响,并考虑科学研究和应用需求对上述参数的约束条件,从而得到对极化合成孔径雷... 首先推广了现有极化定标模型。在此基础上,评估了极化通道幅相不平衡、天线串扰、法拉第旋转、指向误差角、干扰和系统环境噪声对点目标全极化散射测量的影响,并考虑科学研究和应用需求对上述参数的约束条件,从而得到对极化合成孔径雷达系统设计和极化定标有参考价值的结论。 展开更多
关键词 极化合成孔径雷达 点目标 散射测量 极化定标
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系统误差对分布目标极化散射测量的影响 被引量:3
7
作者 熊维族 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第6期1169-1173,共5页
首先统一推广了现有极化定标模型。系统地评估了极化通道幅相不平衡、天线串扰、法拉第旋转、地形坡度导致的极化角度偏转、干扰和系统环境噪声等因素对分布目标全极化散射测量的影响。在此基础上,结合应用需求对上述因素的约束条件,通... 首先统一推广了现有极化定标模型。系统地评估了极化通道幅相不平衡、天线串扰、法拉第旋转、地形坡度导致的极化角度偏转、干扰和系统环境噪声等因素对分布目标全极化散射测量的影响。在此基础上,结合应用需求对上述因素的约束条件,通过仿真得到了一些对极化合成孔径雷达系统设计和极化定标有参考价值的结论。 展开更多
关键词 极化合成孔径雷达 分布目标 散射测量 极化定标
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激光衍射散射测量法的定量修正
8
作者 熊建文 杨初平 +1 位作者 何振江 杨冠玲 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期22-23,共2页
本文考虑了颗粒层的遮光率对入射光强和对颗粒层散射光的影响 ,在给定条件下 。
关键词 散射测量 颗粒层 遮光率 衍射测量 激光测量
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小波用于散射测量中的背景对消
9
作者 赵维江 龚书喜 王俊 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期297-303,共7页
基于小波分析的多分辨特性,给出了散射测量系统中的背景对消原理.
关键词 小波变换 散射测量 背景对消
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自发自收单站平面近场散射测量的研究
10
作者 于丁 傅德民 +1 位作者 刘其中 毛乃宏 《微波学报》 CSCD 北大核心 2000年第5期514-521,共8页
对自发自收单站平面近场散射测量进行了研究 ,并进行计算机模拟。计算结果表明 ,利用自发自收单站平面近场散射测量所得的单站 RCS相对量在扫描面外法向附近一个角域内具有良好的工程精度。最后 ,本文指出需要进一步深入研究的几个问题。
关键词 自发自收 单站平面近场散射测量 RCS 电磁散射 计算机模拟 雷达截面积
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准弹性激光光散射测量仪的研制与应用
11
作者 宋传琳 高红旗 +3 位作者 沈子威 张志诚 黄美珍 蒋仲 《北京生物医学工程》 北大核心 1992年第1期15-23,共9页
准弹性光散射技术是一种新颖的技术,它在微生物(精子、四膜虫、血球)动态测量中具有不扰动样品、动态响应快、灵敏度高、精确等优点.本文详细地介绍了利用光散射的原理对准弹性激光光散射测量仪的研制与部分应用情况.我们首次利用光散... 准弹性光散射技术是一种新颖的技术,它在微生物(精子、四膜虫、血球)动态测量中具有不扰动样品、动态响应快、灵敏度高、精确等优点.本文详细地介绍了利用光散射的原理对准弹性激光光散射测量仪的研制与部分应用情况.我们首次利用光散射技术研制成光散射测量仪,不仅填补了国内空白,也引起了国际上的注意.同时在国内许多方面得到了临床应用.本文还详细地介绍了仪器的结构、光路及许多特点.特别是在消除各种干扰方面更有独到之处,给临床应用带来极大的方便,也是国内外的技术中尚未解决的问题. 展开更多
关键词 散射 激光 散射测量 研制
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水下目标散射测量中的捷联惯导系统仿真
12
作者 刘丹丹 王琦 李厚全 《信息技术》 2018年第6期36-39,48,共5页
在应用基于合成孔径原理的水下目标散射特性测量新方法时,目标总会偏离匀速直线运动,导致图像散焦甚至无法成像,从而不能得到目标的二维散射特性,故在成像处理前,需采用运动补偿。在采用基于运动测量系统的逐点运动补偿方法时,会存在缺... 在应用基于合成孔径原理的水下目标散射特性测量新方法时,目标总会偏离匀速直线运动,导致图像散焦甚至无法成像,从而不能得到目标的二维散射特性,故在成像处理前,需采用运动补偿。在采用基于运动测量系统的逐点运动补偿方法时,会存在缺乏捷联惯导系统的实测数据问题。针对此问题,从捷联惯导系统的工作原理入手,结合水下目标运动的特点,给出水下目标散射测量中的捷联惯导系统仿真算法,并对该算法进行计算机仿真试验。仿真试验结果表明了捷联惯导系统仿真算法的有效性。 展开更多
关键词 水下目标 散射测量 捷联惯导 仿真
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含噪动态光散射测量数据反演中正则化算法与Chahine算法的比较 被引量:2
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作者 修文正 申晋 +3 位作者 肖莹莹 徐敏 王雅静 尹丽菊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期153-159,共7页
采用两种常用的粒度反演方法——正则化和Chahine算法,对90nm与250nm单峰分布、50nm与200nm双峰分布、100nm与300nm双峰分布的模拟动态光散射数据,以及105nm、300nm标准颗粒的实测动态光散射数据进行了反演分析.结果表明:噪声水平的高... 采用两种常用的粒度反演方法——正则化和Chahine算法,对90nm与250nm单峰分布、50nm与200nm双峰分布、100nm与300nm双峰分布的模拟动态光散射数据,以及105nm、300nm标准颗粒的实测动态光散射数据进行了反演分析.结果表明:噪声水平的高低是影响粒度分布反演准确性的关键因素之一,反演结果的准确性随噪声水平的增加而降低,噪声水平超过某一阈值后,将无法得到有意义的反演结果;不同反演方法具有不同的抗噪能力,在低噪声水平下反演结果无显著差别,随着噪声水平的增加,反演结果表现出很大差异;正则化方法通过正则参数的选择可以有效抑制噪声影响,表现出强于Chahine算法的抗噪能力;与Chahine算法相比,正则化方法不需要假定初始分布,因此,在噪声较大的实验或生产过程中进行颗粒分布测量时,宜采用正则化方法. 展开更多
关键词 散射测量 粒度分布 颗粒测量 反问题 正则化算法 Chahine算法
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基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置 被引量:2
14
作者 董正琼 刘世元 +3 位作者 陈修国 石雅婷 张传维 江浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期116-122,共7页
在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于... 在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于灵敏度分析的测量条件优化配置方法来改善待测参数的灵敏度,以实现更高精度的纳米结构测量.实验表明,在理论预估的最优测量配置下,一维纳米结构所有待测参数的测量精确最优,验证了其有效性. 展开更多
关键词 光学散射测量 灵敏度 测量配置 精度
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室内散射测量系统与神经网络参数反演 被引量:2
15
作者 刘丽娜 陈彦 +1 位作者 贾明权 童玲 《电子测量技术》 2010年第9期35-38,共4页
介绍了以矢量网络分析仪为核心的室内散射测量系统的组成、工作原理及其测量方法并利用该系统测量了不同含水量和不同粗糙度的裸土的微波散射系数。然后利用IEM模型计算的模拟数据作为人工神经网络的训练数据,用测量数据通过已训练的神... 介绍了以矢量网络分析仪为核心的室内散射测量系统的组成、工作原理及其测量方法并利用该系统测量了不同含水量和不同粗糙度的裸土的微波散射系数。然后利用IEM模型计算的模拟数据作为人工神经网络的训练数据,用测量数据通过已训练的神经网络进行地表参数反演。结果表明室内散射系统的建立不仅有利于研究各种典型的地物微波散射机理,还为反演提供了所需要的数据。 展开更多
关键词 散射测量系统 散射系数 神经网络 IEM模型 S波段
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目标散射测量及成像系统软件设计及算法 被引量:1
16
作者 杨武军 赵京城 +1 位作者 刘林 王振荣 《电子测量技术》 2004年第3期57-58,共2页
文中所介绍的软件专门针对目标散射测量及成像系统编写。文中介绍该软件的设计思路和从数据采集到处理的全过程,着重讲解处理中的一些关键算法。
关键词 数据采集 微波成像 目标散射测量 PCI1710 RCS 二维成像
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入射光照对典型光刻胶纳米结构的光学散射测量影响分析 被引量:1
17
作者 董正琼 赵杭 +1 位作者 朱金龙 石雅婷 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期38-47,共10页
作为一种快速、低成本和非接触的测量手段,光学散射测量在半导体制造业中的纳米结构三维形貌表征方面获得了广泛关注与运用.光学散射测量是一种基于模型的测量方法,在纳米结构待测参数的逆向提取过程中,为降低参数之间的耦合性,通常需... 作为一种快速、低成本和非接触的测量手段,光学散射测量在半导体制造业中的纳米结构三维形貌表征方面获得了广泛关注与运用.光学散射测量是一种基于模型的测量方法,在纳米结构待测参数的逆向提取过程中,为降低参数之间的耦合性,通常需要将结构的光学常数作为固定的已知量,即假设结构的材料光学常数不受光学散射仪入射光照的影响.事实上,这一假设对于半导体制造业中的绝大多数材料是成立的,但某些感光材料的光学常数有可能随着入射光的照射时间增加而发生改变,而由此产生的误差会在一定程度上传递给待测形貌参数的逆向提取值.本文针对聚甲基丙烯酸甲酯光刻胶薄膜培片和光栅结构分别开展了光学散射测量实验与仿真研究,结果表明该光刻胶材料的光学常数随着入射光照时间增加而变化,进而导致光栅结构形貌参数的提取结果较大地偏离于真实值,不容被忽视.这一研究发现将为更进一步提高光刻胶纳米结构三维形貌参数的测量精确度提供理论依据. 展开更多
关键词 光学散射测量 光刻胶纳米结构 聚甲基丙烯酸甲酯 光学常数
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激光散射测量系统设计 被引量:1
18
作者 蒋玉想 李振华 《自动化仪表》 CAS 2020年第10期47-50,共4页
为了研究不同类型随机粗糙面的激光散射特性,设计了全自动激光散射测量系统。使用LabVIEW图形化编程语言实现上位机控制与波形存储分析功能,上位机下达控制命令至STC12C5A60S2单片机。单片机控制步进电机1旋转转台,实现散射角在180°... 为了研究不同类型随机粗糙面的激光散射特性,设计了全自动激光散射测量系统。使用LabVIEW图形化编程语言实现上位机控制与波形存储分析功能,上位机下达控制命令至STC12C5A60S2单片机。单片机控制步进电机1旋转转台,实现散射角在180°范围精确控制。单片机控制步进电机2转动丝杆带动待测样品水平移动,通过多次测量以获取散射光强度统计平均值。制作了以BH1750FVI为核心的高精度数字型光强度传感器模块,与单片机通过IIC总线通信获取测量数据,上传至上位机监控系统进行分析。测量结果表明,该系统具有测量精度高、界面友好、可扩展的特点,可以满足测量要求,已应用于多种激光散射测量场合。 展开更多
关键词 激光 散射特性 虚拟仪器 散射测量 步进电机 单片机
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近场散射测量中的天线方向图修正技术 被引量:4
19
作者 徐志浩 李南京 +1 位作者 胡楚锋 党娇娇 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2017年第11期2399-2404,共6页
针对近场散射测量中由于天线方向图照射的不均匀性,在近场数据外推后难以获得目标准确雷达散射截面(radar cross section,RCS)的问题,提出基于近似函数的天线方向图修正方法,在近场数据外推的过程中对天线方向图进行补偿,从而提高目标RC... 针对近场散射测量中由于天线方向图照射的不均匀性,在近场数据外推后难以获得目标准确雷达散射截面(radar cross section,RCS)的问题,提出基于近似函数的天线方向图修正方法,在近场数据外推的过程中对天线方向图进行补偿,从而提高目标RCS测量的准确性。首先推导了近远场变换的计算过程,然后根据收发天线照射目标的角域,分析了与天线方向图吻合的近似函数,通过对近似函数的傅里叶级数展开修正了天线方向图的影响。仿真结果表明,对于不同的天线方向图,该方法在近远场变换过程中具有良好的修正效果。实验分别对点目标和线目标进行了验证,结果表明了方向图修正外推方法的有效性和准确性。 展开更多
关键词 雷达散射截面测量 近远场变换 天线方向图 近似函数
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基于合成孔径原理目标散射测量中的运动误差补偿 被引量:1
20
作者 刘丹丹 唐劲松 +1 位作者 王铮 马庆忠 《海军工程大学学报》 CAS 北大核心 2009年第5期27-31,共5页
在应用基于合成孔径原理的水下目标散射特性测量新方法时,目标总会存在偏离匀速直线的运动误差,导致图像散焦甚至无法成像,从而不能得到目标二维散射特性。针对上述问题,从水下目标的六自由度运动误差入手,分析运动误差对成像的影响,采... 在应用基于合成孔径原理的水下目标散射特性测量新方法时,目标总会存在偏离匀速直线的运动误差,导致图像散焦甚至无法成像,从而不能得到目标二维散射特性。针对上述问题,从水下目标的六自由度运动误差入手,分析运动误差对成像的影响,采用基于运动测量系统的逐点运动补偿方法对回波信号进行处理,给出了计算机仿真试验结果。仿真试验得到了较好的成像结果,验证了运动补偿的有效性。 展开更多
关键词 合成孔径 目标散射特性测量 运动误差 运动补偿
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