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一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造
被引量：
3
1
作者
尤彩红
张文栋
王文襄
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第4期105-106,共2页
介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实...
介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装。使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用。
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关键词
微差压传感器
微电子机械系统
无应力封装
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职称材料
基于MEMS技术的超微压压力传感器研究进展
被引量：
4
2
作者
薛伟
王权
+1 位作者
丁建宁
杨继昌
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期157-159,共3页
针对国内外在硅微型压阻式压力传感器上的研究进展和产业化情况,从复合弹性元件的设计、芯片微加工工艺、芯片无应力封装和后期动静态标定等方面指出了其深入研究方向,以及产业化存在的问题和相应的对策。
关键词
超微压压力传感器
微机电系统
无应力封装
综述
下载PDF
职称材料
题名
一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造
被引量：
3
1
作者
尤彩红
张文栋
王文襄
机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
昆山双桥传感器测控技术有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第4期105-106,共2页
文摘
介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装。使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用。
关键词
微差压传感器
微电子机械系统
无应力封装
Keywords
micro difference pressure transducer
MEMS
non-stress packaging
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于MEMS技术的超微压压力传感器研究进展
被引量：
4
2
作者
薛伟
王权
丁建宁
杨继昌
机构
温州大学工业工程学院
江苏大学机械工程学院
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期157-159,共3页
基金
浙江省科技攻关计划项目(项目编号:2005C31048)
镇江市产学研项目
江苏大学博士生创新基金项目
文摘
针对国内外在硅微型压阻式压力传感器上的研究进展和产业化情况,从复合弹性元件的设计、芯片微加工工艺、芯片无应力封装和后期动静态标定等方面指出了其深入研究方向,以及产业化存在的问题和相应的对策。
关键词
超微压压力传感器
微机电系统
无应力封装
综述
Keywords
Ultraminiatured pressure sensor, MEMS, Non-stress packaging, Review
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造
尤彩红
张文栋
王文襄
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
3
下载PDF
职称材料
2
基于MEMS技术的超微压压力传感器研究进展
薛伟
王权
丁建宁
杨继昌
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
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