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新型无碳前体在高k氧化物薄膜化学气相沉积上的应用
被引量:
2
1
作者
邵起越
袁涛
+4 位作者
李爱东
董岩
方峰
蒋建清
刘治国
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期574-577,共4页
通过一种简便可行的合成工艺,成功合成了3种具有良好挥发性的无碳前体:无水硝酸钛、硝酸锆和硝酸铪。以这些无水金属硝酸盐为前体,采用化学气相沉积(CVD)工艺成功淀积了具有良好介电性能的3种高介电常数(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和...
通过一种简便可行的合成工艺,成功合成了3种具有良好挥发性的无碳前体:无水硝酸钛、硝酸锆和硝酸铪。以这些无水金属硝酸盐为前体,采用化学气相沉积(CVD)工艺成功淀积了具有良好介电性能的3种高介电常数(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和HfO2薄膜。这类不含碳的金属前体能直接在Si衬底上气相沉积,无需引入氧化气体,且沉积温度较低,可避免低介电常数界面层生成,在化学气相沉积栅介质薄膜方面独具优势。
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关键词
无水硝酸盐
化学气相沉积(CVD)
高介电常数(high—k)栅介质
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职称材料
题名
新型无碳前体在高k氧化物薄膜化学气相沉积上的应用
被引量:
2
1
作者
邵起越
袁涛
李爱东
董岩
方峰
蒋建清
刘治国
机构
东南大学材料科学与工程学院
华飞彩色显示系统有限公司
南京大学材料科学与工程系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期574-577,共4页
基金
国家自然科学基金项目资助项目(90101030,60276020)
文摘
通过一种简便可行的合成工艺,成功合成了3种具有良好挥发性的无碳前体:无水硝酸钛、硝酸锆和硝酸铪。以这些无水金属硝酸盐为前体,采用化学气相沉积(CVD)工艺成功淀积了具有良好介电性能的3种高介电常数(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和HfO2薄膜。这类不含碳的金属前体能直接在Si衬底上气相沉积,无需引入氧化气体,且沉积温度较低,可避免低介电常数界面层生成,在化学气相沉积栅介质薄膜方面独具优势。
关键词
无水硝酸盐
化学气相沉积(CVD)
高介电常数(high—k)栅介质
Keywords
anhydrous nitrate
chemical vapor deposition (CVD)
high-k
gate dielectric
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
新型无碳前体在高k氧化物薄膜化学气相沉积上的应用
邵起越
袁涛
李爱东
董岩
方峰
蒋建清
刘治国
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
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职称材料
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