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直角坐标激光直写的动态曝光模型
被引量：
6
1
作者
张山
谭久彬
+1 位作者
王雷
金占雷
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1354-1360,共7页
在兼顾胶层的光吸收特性、直写光束的高斯分布特征以及直写光束与胶层相对运动的情况下,建立了直角坐标激光直写的动态曝光模型以有效预测线条的线宽和侧壁角。仿真实验表明:以恒值高斯光强曝光时,该模型与等效仿真条件下的Dill曝光模...
在兼顾胶层的光吸收特性、直写光束的高斯分布特征以及直写光束与胶层相对运动的情况下,建立了直角坐标激光直写的动态曝光模型以有效预测线条的线宽和侧壁角。仿真实验表明:以恒值高斯光强曝光时,该模型与等效仿真条件下的Dill曝光模型仿真结果完全一致,进一步证明了该模型的有效性和正确性,解决了目前在激光直写中存在的只能预测线宽或在忽略光刻胶吸收作用的情况下粗略估计直写线条轮廓的问题。同时,基于该模型分别分析了直写光功率和直写速度对线条轮廓的影响机理,为优化激光直写工艺的加工参量提供了一种有效的分析途径。
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关键词
激光直写光刻
曝光量分布
Dill
曝光
模型
线条轮廓
下载PDF
职称材料
激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化(英文)
被引量：
4
2
作者
金占雷
谭久彬
+2 位作者
张山
王雷
吕云飞
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期570-578,共9页
提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出光强控制模型中的圆弧弧度θ和曲率半径R的函数关系。基于该...
提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出光强控制模型中的圆弧弧度θ和曲率半径R的函数关系。基于该优化方法的对接区域长度由θ唯一确定,且当θ较小时,其仅为斜线段光强控制方法确定的对接长度的2倍。实验结果与理论分析吻合,表明该优化方法进一步增加了对接区域曝光量分布的有效过渡长度,减缓了曝光量在路径方向上的变化速率,从而在保证直写效率的同时提高了线条对接质量。
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关键词
S曲线光强控制
激光直写
参数优化
对接质
量
曝光量分布
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职称材料
题名
直角坐标激光直写的动态曝光模型
被引量：
6
1
作者
张山
谭久彬
王雷
金占雷
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1354-1360,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50675052)
文摘
在兼顾胶层的光吸收特性、直写光束的高斯分布特征以及直写光束与胶层相对运动的情况下,建立了直角坐标激光直写的动态曝光模型以有效预测线条的线宽和侧壁角。仿真实验表明:以恒值高斯光强曝光时,该模型与等效仿真条件下的Dill曝光模型仿真结果完全一致,进一步证明了该模型的有效性和正确性,解决了目前在激光直写中存在的只能预测线宽或在忽略光刻胶吸收作用的情况下粗略估计直写线条轮廓的问题。同时,基于该模型分别分析了直写光功率和直写速度对线条轮廓的影响机理,为优化激光直写工艺的加工参量提供了一种有效的分析途径。
关键词
激光直写光刻
曝光量分布
Dill
曝光
模型
线条轮廓
Keywords
laser direct writing photolithography
exposure dose distribution
Dill exposure model
line profile
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化(英文)
被引量：
4
2
作者
金占雷
谭久彬
张山
王雷
吕云飞
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期570-578,共9页
基金
National Natural Science Foundation of China(Grant No.50675052)
文摘
提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出光强控制模型中的圆弧弧度θ和曲率半径R的函数关系。基于该优化方法的对接区域长度由θ唯一确定,且当θ较小时,其仅为斜线段光强控制方法确定的对接长度的2倍。实验结果与理论分析吻合,表明该优化方法进一步增加了对接区域曝光量分布的有效过渡长度,减缓了曝光量在路径方向上的变化速率,从而在保证直写效率的同时提高了线条对接质量。
关键词
S曲线光强控制
激光直写
参数优化
对接质
量
曝光量分布
Keywords
S-curve intensity control
laser direct writing
parameter optimization
joint quality
exposure dose distribution
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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作者
出处
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1
直角坐标激光直写的动态曝光模型
张山
谭久彬
王雷
金占雷
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
下载PDF
职称材料
2
激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化(英文)
金占雷
谭久彬
张山
王雷
吕云飞
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
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职称材料
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