激光共焦透镜曲率半径测量系统 被引量：27

1

作者 邱丽荣 李佳 +1 位作者 赵维谦 杨佳苗 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期246-252,共7页

基于共焦技术独特的轴向层析定焦能力并结合气浮导轨平移台和激光干涉仪测长系统,研制了一套高精度、非接触激光共焦透镜曲率半径测量系统。该系统利用共焦轴向光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,使用峰值点对被测透镜... 基于共焦技术独特的轴向层析定焦能力并结合气浮导轨平移台和激光干涉仪测长系统,研制了一套高精度、非接触激光共焦透镜曲率半径测量系统。该系统利用共焦轴向光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,使用峰值点对被测透镜的猫眼位置及共焦位置进行精确定位,并结合激光干涉仪获得透镜猫眼位置及共焦位置坐标值,从而计算得到透镜的曲率半径。系统由主控软件控制气浮导轨带动被测透镜在猫眼位置及共焦位置附近进行扫描测量,并实现信号采集和数据处理。实验表明,利用该系统测量透镜的曲率半径时,测量重复性优于2μm,满足国内高精度透镜曲率半径测量的精度需求。该系统测量速度快、操作简便、结构简单且易于实现小型化。 展开更多

关键词 共焦透镜 曲率半径测量 非接触测量 激光干涉仪

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光栅尺测长式激光差动共焦曲率半径测量系统 被引量：3

2

作者 徐鹏 赵维谦 +2 位作者 王方彪 肖阳 周桃庚 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1023-1028,共6页

为了增强高精度曲率半径测量仪器的抗环境干扰能力,满足现场使用需求,研制了一套基于光栅尺测长的激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统利用差动共焦轴向光强响应曲线的过零点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,对被测样品的猫眼位置及共... 为了增强高精度曲率半径测量仪器的抗环境干扰能力,满足现场使用需求,研制了一套基于光栅尺测长的激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统利用差动共焦轴向光强响应曲线的过零点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,对被测样品的猫眼位置及共焦位置进行精确瞄准定位,并借助光栅尺测长得到透镜猫眼位置与共焦位置之间的距离,实现曲率半径的测量。实验表明,该系统相对测量精度优于5×10-6,满足高精度曲率半径测量的精度需求。 展开更多

关键词 差动共焦 曲率半径测量 非接触测量 光栅尺

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球面惯性元件激光共焦曲率半径测量系统 被引量：4

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作者 邱丽荣 王超峰 赵维谦 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第2期266-271,共6页

针对球面惯性元件散射特性导致其曲率半径测量难度大、精度低的问题,研制了一套球面惯性元件激光共焦曲率半径测量系统。系统通过针孔滤波降低探测器接收散射光的比例来抑制散射光的影响,利用共焦回馈技术提高返回光探测强度,以适应低... 针对球面惯性元件散射特性导致其曲率半径测量难度大、精度低的问题,研制了一套球面惯性元件激光共焦曲率半径测量系统。系统通过针孔滤波降低探测器接收散射光的比例来抑制散射光的影响,利用共焦回馈技术提高返回光探测强度,以适应低反射率球面惯性元件的探测。采用共焦轴向光强响应曲线的峰值点精确对应物镜焦点的特性,对被测元件的猫眼和共焦位置进行精密定位,通过激光干涉仪获取两点间距离,继而实现曲率半径的高精度测量。以半球型动压气体轴承作为实验对象进行了实验。理论分析和实验结果表明,系统相对扩展不确定度优于20×10^-6,提出的测量系统为具有散射特性的球面惯性元件曲率半径的高精度测量提供了技术途径。 展开更多

关键词 激光共焦 曲率半径测量 球面惯性元件 抗散射

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基于泰伯-莫尔条纹的激光波前曲率半径测量 被引量：4

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作者 陈好 张浩 +4 位作者 樊红英 蒋泽伟 贾静 胡绍云 孟庆安 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期156-160,共5页

为了精确测量激光波前曲率半径,提出了基于泰伯-莫尔条纹技术的波前曲率半径测量方法,建立了激光波前曲率半径测量理论分析模型。对波前曲率半径与莫尔条纹倾角的关系、系统测量不确定度进行了分析,完成了激光波前曲率半径测量系统的设... 为了精确测量激光波前曲率半径,提出了基于泰伯-莫尔条纹技术的波前曲率半径测量方法,建立了激光波前曲率半径测量理论分析模型。对波前曲率半径与莫尔条纹倾角的关系、系统测量不确定度进行了分析,完成了激光波前曲率半径测量系统的设计,构建了测量系统,并对口径为200mm的激光发射系统的出射波前曲率半径进行了测量。结果表明,测量结果为498m时,测量重复性为0.2%,根据测量结果推算光束束腰位置与实际位置相对偏差为0.4%;并根据500m^3000m的测量结果对激光发射系统中出射波前曲率半径、物镜焦距、目镜位置等参量进行了校准,校准完成后与理论值的最大偏差为2%。该方法能够实现大口径激光发射系统出射波前曲率半径的高精度测量。 展开更多

关键词 激光技术 曲率半径测量 莫尔条纹 激光发射系统

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基于三坐标测量机的大口径红外光学透镜曲率半径测量方法研究 被引量：4

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作者 徐瑞 赵劲松 +6 位作者 岳清 唐晗 康丽珠 张朝 何红星 薛立和 杨庆华 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第4期338-345,共8页

对基于三坐标测量机的大口径红外透镜曲率半径检测方法进行了研究。首先简要阐述了三坐标测量机测量透镜曲率半径的原理,然后根据此原理应用误差理论推导出该方法测量透镜曲率半径时的标准差估计公式,并进行了相关验证实验。实验结果证... 对基于三坐标测量机的大口径红外透镜曲率半径检测方法进行了研究。首先简要阐述了三坐标测量机测量透镜曲率半径的原理,然后根据此原理应用误差理论推导出该方法测量透镜曲率半径时的标准差估计公式,并进行了相关验证实验。实验结果证明该测量标准差估计公式正确,并据此对三坐标测量机测量曲率半径的测量范围以及测量精度进行分析。研究结果表明:由于测量精度随着球冠包角?值的增大而迅速减小,使得该方法较适用于测量球冠包角?值较大的大口径透镜。 展开更多

关键词 光学检测 曲率半径测量 三坐标测量机 最小二乘法 测量标准差

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圆锥滚子球基面曲率半径测量仪的研制 被引量：1

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作者 陈志勇 徐岩 云志高 《轴承技术》 2006年第3期27-30,共4页

运用微机技术测量滚子球基面曲率半径，满足顾客要求，提高轴承使用寿命.

关键词 圆锥滚子 球基面 曲率半径测量仪

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曲率半径的高精度测量及其不确定度 被引量：7

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作者 田志辉 史振广 +2 位作者 刘伟奇 杨怀江 隋永新 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2495-2501,共7页

为了高精度测量光学元件的曲率半径,提出了一种利用反射式计算全息元件结合波长移相干涉测长技术测量光学球面曲率半径的方法。测试中,将反射式计算全息元件作为基准来标定所用标准镜头参考面的曲率半径,利用波长移相干涉技术测量干涉... 为了高精度测量光学元件的曲率半径,提出了一种利用反射式计算全息元件结合波长移相干涉测长技术测量光学球面曲率半径的方法。测试中,将反射式计算全息元件作为基准来标定所用标准镜头参考面的曲率半径,利用波长移相干涉技术测量干涉腔腔长,通过计算分析得到被测元件的曲率半径。文中描述了该方法的系统构成及其工作原理。结合实例,运用理论分析与软件仿真模拟分析了方法的测量不确定度。最后,利用实验室现有的商用波长移相干涉仪进行了实验验证。对一口径为100mm的球面样品进行曲率半径的测量,得到的结果为157.108 3mm;利用接触式球径仪法对同一样品进行对比测量,结果显示相对误差小于0.02%。与其它目前已有的非接触式曲率半径测量方法相比,提出的方法具有误差源少、测量精度高、易于操作等优点。 展开更多

关键词 光学元件 曲率半径测量 不确定度分析 计算全息 波长移相

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三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的实验研究 被引量：7

8

作者 定翔 李飞 洪宝玉 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期761-765,共5页

三维轮廓扫描方法可通过连续扫描透镜表面三维空间形貌,拟合得到其曲率半径值。该方法具有测量精度高、可任意选定测量区域、测量力微弱、对光学表面划伤可忽略等优点。通过实验,研究了三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的精度,并分析了... 三维轮廓扫描方法可通过连续扫描透镜表面三维空间形貌,拟合得到其曲率半径值。该方法具有测量精度高、可任意选定测量区域、测量力微弱、对光学表面划伤可忽略等优点。通过实验,研究了三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的精度,并分析了测量区域大小、扫描间距等因素对测量精度的影响。实验结果表明,该方法测量凸、凹球面透镜的曲率半径的相对重复性可达到1×10-6。 展开更多

关键词 曲率半径测量 三维轮廓扫描 重复性标准差 最小二乘拟合

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大口径大曲率半径光学元件的高精度检测 被引量：17

9

作者 杨李茗 叶海仙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1207-1212,共6页

针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题,提出利用长程轮廓仪(LTP)来进行大口径大曲率半径(正、负)光学元件的精确测量,并通过实验证明了LTP检测大曲率半径光学元件的优势。分析计算了LTP测量曲... 针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题,提出利用长程轮廓仪(LTP)来进行大口径大曲率半径(正、负)光学元件的精确测量,并通过实验证明了LTP检测大曲率半径光学元件的优势。分析计算了LTP测量曲率半径的算法精度,设计了合理的机械结构进行旋转测量,得到了全口径的曲率半径分布。最后与球径仪、刀口仪的测量结果进行了对比。对R=37.108m和R=41.065m的球面镜测量结果显示,LTP的测量重复性在0.05%以内,与球径仪、刀口仪的测量值相差均在0.05%以内。研究结果表明,LTP可以用来解决目前几十米的大R曲率半径光学元件难以高精度测量的难题。 展开更多

关键词 长程轮廓仪 曲率半径测量 算法精度 旋转测量

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基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统 被引量：3

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作者 代雷 隋永新 吴迪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第8期2221-2225,共5页

为了满足光学元件曲率半径精密检测的需求，设计了应用激光干涉方法的曲率半径精密检测系统，实现了对口径100～300mm，曲率半径500～2000mm光学元件曲率半径的高精度，非接触式测量。并分析了影响曲率半径测量结果的各项不确定度，进... 为了满足光学元件曲率半径精密检测的需求，设计了应用激光干涉方法的曲率半径精密检测系统，实现了对口径100～300mm，曲率半径500～2000mm光学元件曲率半径的高精度，非接触式测量。并分析了影响曲率半径测量结果的各项不确定度，进行不确定度合成。最终完成曲率半径精密检测系统的装调，进行验证实验，曲率半径测量结果相对不确定度约7×10^-6，满足了10×10^-6的设计要求。 展开更多

关键词 曲率半径测量 激光干涉 不确定度 干涉检验

原文传递

一种新型的大曲率半径实时检测系统 被引量：5

11

作者 杨甬英 陈坚 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期29-33,共5页

在分析各种大曲率半径测量方法的基础上 ,提出了一种新颖的利用干涉体系产生非接触的牛顿环并与 CCD图像处理技术相结合的新方法。其可测量的曲率半径从 1～ 2 5 m,具有很宽的测量范围 ,而整个测试体系结构却非常紧凑 ,不受凹、凸球面... 在分析各种大曲率半径测量方法的基础上 ,提出了一种新颖的利用干涉体系产生非接触的牛顿环并与 CCD图像处理技术相结合的新方法。其可测量的曲率半径从 1～ 2 5 m,具有很宽的测量范围 ,而整个测试体系结构却非常紧凑 ,不受凹、凸球面限制。理论分析及初步实验结果表明 :曲率半径测量的相对误差ΔR/ R可优于 0 .3 % 展开更多

关键词 干涉仪 曲率半径测量 非接触测量 实时检测系统

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光学元件测试及设备

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《中国光学》 EI CAS 1997年第5期83-84,共2页

TB92 97053382配光镜柱面半径光电检测方法的研究=Research onphoto—electric measuring method for thecylindrical surface radius in matched

关键词 配光镜 光学技术 环状莫尔条纹 检测方法 曲率半径测量 透镜焦距测量 柱面半径 表面疵病 光电探测器件 元件测试

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