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基于PDMS构成的法布里-珀罗(Fabry⁃Perot)腔高灵敏度温度传感器
1
作者 陈婧婷 江超 《信息记录材料》 2025年第4期204-208,共5页
为满足工业生产上对高灵敏度温度传感器的重大需求,本文提出并验证了一款高灵敏度的法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)腔温度传感器。首先将一段单模光纤(single-modefiber,SMF)和一段石英毛细管拼接,然后在毛细管端面填充聚二甲硅氧烷(PDMS... 为满足工业生产上对高灵敏度温度传感器的重大需求,本文提出并验证了一款高灵敏度的法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)腔温度传感器。首先将一段单模光纤(single-modefiber,SMF)和一段石英毛细管拼接,然后在毛细管端面填充聚二甲硅氧烷(PDMS)。在单模光纤和PDMS之间形成了一个F-P空气腔,构成一个低精细度F-P干涉仪(Fabry-Perotinterferometer,FPI)。由于PDMS具有很高的热膨胀系数,因此当环境温度变化时,PDMS膨胀引起F-P腔的腔长变短,导致FPI反射谱中波谷波长漂移,解调波谷波长的漂移量获得环境温度值。结果表明:传感器的温度灵敏度高达205nm/℃,测量误差仅为02℃。此外,传感器还具有稳定性好、鲁棒性强、结构制作重复性好等优点,在工业生产中具有一定应用前景。 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗干涉仪(FPI) 石英毛细管 聚二甲硅氧烷 温度
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分布式本征型法布里-珀罗传感器的研究
2
作者 桂鑫 胡陈晨 +1 位作者 谢莹 李政颖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期110-115,共6页
本文介绍了一种单模-多模-单模结构的本征型法布里-珀罗传感器,通过对传感器中渐变型多模光纤的光场分布进行分析和仿真,实现了传感器腔长的优化设计,大大降低了插入损耗,增强了传感器复用能力.实验证明串联复用中的单个传感器的优化后... 本文介绍了一种单模-多模-单模结构的本征型法布里-珀罗传感器,通过对传感器中渐变型多模光纤的光场分布进行分析和仿真,实现了传感器腔长的优化设计,大大降低了插入损耗,增强了传感器复用能力.实验证明串联复用中的单个传感器的优化后的插入损耗从4 d B减少至0.83 d B,多个级联复用时损耗变化平缓,温度测试结果表明级联的12个传感器均具有较好的灵敏度和线性度. 展开更多
关键词 光纤传感器 本征型法布里-珀罗传感器 分布式传感
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基于硅MEMS技术的高灵敏度微型光纤法布里-珀罗压力传感器 被引量：5
3
作者 李文豪 贾平岗 +4 位作者 王军 薛波 万顺 侯凯耀 熊继军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期149-157,共9页
基于微机电系统技术设计制备了一种微型化光纤法布里-珀罗传感器,具备高灵敏度和可批量制造的特点。传感器内部的法珀腔由刻蚀后的SOI晶圆与BF33玻璃阳极键合而成,传感器敏感膜片采用了绝缘衬底上的单晶硅材料。采用激光精细切割技术对... 基于微机电系统技术设计制备了一种微型化光纤法布里-珀罗传感器,具备高灵敏度和可批量制造的特点。传感器内部的法珀腔由刻蚀后的SOI晶圆与BF33玻璃阳极键合而成,传感器敏感膜片采用了绝缘衬底上的单晶硅材料。采用激光精细切割技术对传感器单元进行独立分离,使得单个传感器的整体外径仅为400μm,高度为220μm。在此基础上,搭建了信号解调实验平台,并对传感器的感压特性进行了详尽测试。测试结果显示,在0~50 kPa的压力范围内,传感器的压力灵敏度可达到18.5 nm/kPa,最大非线性度为0.47%,重复性为0.18%,迟滞为0.18%。此外,该传感器具有体积小、灵敏度高、电磁兼容、生物兼容以及稳定性强等优点,在生物医学和医疗领域具备巨大的商业转化价值。 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗 微型化 压力测量 微机电系统
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实现微位移测量的非本征法布里-珀罗干涉型光纤传感器 被引量：4
4
作者 江绍基 曾斌 +3 位作者 梁有程 汪河洲 蔡志岗 李宝军 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期595-597,共3页
从光纤耦合和多光束干涉的原理出发,建立了非本征型法布里_珀罗干涉仪光纤传感器的理论模型,得到了用光谱法进行绝对距离测量的公式。设计出了传感器探头的结构,并搭建了系统。用LED作为宽带光源所得到的反射光谱可用于实际样品的微位... 从光纤耦合和多光束干涉的原理出发,建立了非本征型法布里_珀罗干涉仪光纤传感器的理论模型,得到了用光谱法进行绝对距离测量的公式。设计出了传感器探头的结构,并搭建了系统。用LED作为宽带光源所得到的反射光谱可用于实际样品的微位移测量。实验结果表明,该传感器理论模型的数值模拟结果与实验结果是一致的。对实验数据进行了误差分析,所得到的测量精度可达到1μm。 展开更多
关键词 光纤传感器 非本征型法布里-珀罗干涉仪 位移 光谱
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蓝宝石光纤空气隙非本征型法布里-珀罗高温传感器复用技术研究
5
作者 刘琨 《制造业自动化》 北大核心 2011年第5期198-200,共3页
本文提出了一种基于蓝宝石光纤的空气隙非本征型法布里-珀罗高温多点高温传感技术。将三只传感器串联起来制作并进行测试。实验结果表明,空气腔高温传感器具有非常高的温度灵敏度(>20nm/℃)和分辨率(<0.3℃)并且能够工作在1000℃... 本文提出了一种基于蓝宝石光纤的空气隙非本征型法布里-珀罗高温多点高温传感技术。将三只传感器串联起来制作并进行测试。实验结果表明,空气腔高温传感器具有非常高的温度灵敏度(>20nm/℃)和分辨率(<0.3℃)并且能够工作在1000℃的工作环境中。本文中的复用蓝宝石传感器相对于传感的点点传感器的最主要的优势在于其可以应用于高温环境。 展开更多
关键词 蓝宝石光纤 非本征法布里-珀罗干涉仪 复用 温度测量
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飞秒激光加工光纤法布里-珀罗温度传感器微槽实验研究(特邀)
6
作者 尹泽坤 陈伟康 +1 位作者 谢合瑞 崔健磊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期91-101,共11页
光纤温度传感器相较于传统光学功能器件具有损耗小、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀等优点,其中的光纤法布里-珀罗传感器更因其结构简单紧凑、稳定性好、易于制造受到广泛关注。光纤法布里-珀罗传感器功能结构的传统加工工艺存在工艺复杂、... 光纤温度传感器相较于传统光学功能器件具有损耗小、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀等优点,其中的光纤法布里-珀罗传感器更因其结构简单紧凑、稳定性好、易于制造受到广泛关注。光纤法布里-珀罗传感器功能结构的传统加工工艺存在工艺复杂、加工效率低下、热影响区严重等问题。光纤作为纤细透明的脆性材料,激光作为非接触的加工方式和微米尺度的聚焦光斑可以有效避免机械性破坏同时可以实现多样性的加工,已经广泛应用于光纤温度传感器的加工。目前,激光加工依然存在纤芯区域粗糙度高、平行度低、加工质量较差等难题。为了确保激光加工的法布里-珀罗腔能够满足传感性能要求,文中进行了飞秒激光加工法布里-珀罗腔的工艺实验研究,得到了不同激光参数、扫描路径对加工法布里-珀罗空气腔的影响规律,发现采用往复式扫描方式并在激光功率选用10 mW、扫描速度100μm/s、扫描间隔4μm、扫描分五次逐次向下进给5μm的工艺参数组合后,可以加工出两反射面接近平行(87.95°),侧壁光滑、面粗糙度稳定在2~4μm的良好形貌法布里-珀罗腔。加工了5种不同腔长的光纤中,腔长为80μm的传感器性能最优为21.07 pm/℃。将腔长为80μm的传感器封装在3种金属管中进行测试,结果证明激光加工光纤法布里-珀罗温度传感器的质量得到了进一步优化,性能进一步提升。但不同的封装材料会较大影响传感器的探测效果,结果发现封装材料的热膨胀系数越大,温度传感器的响应特性越好。 展开更多
关键词 飞秒激光 微槽加工 单模石英光纤 法布里-珀罗腔 温度传感器
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外置油腔耦合局放超声非本征光纤法布里-珀罗传感器 被引量：12
7
作者 陈起超 赵洪 张伟超 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期1471-1479,共9页
为解决非本征光纤法布里-珀罗(Extrinsic Fiber Fabry-Perot Interferometor,EFPI)在电力变压器内体绝缘安装困难且易损坏的问题,设计了高灵敏度的EFPI传感器,提出采用油腔结构的变压器油箱壁外置式安装方法。在阐述EFPI传感和液气介质... 为解决非本征光纤法布里-珀罗(Extrinsic Fiber Fabry-Perot Interferometor,EFPI)在电力变压器内体绝缘安装困难且易损坏的问题,设计了高灵敏度的EFPI传感器,提出采用油腔结构的变压器油箱壁外置式安装方法。在阐述EFPI传感和液气介质下膜片振动原理的基础上,分析了传感器检测灵敏度与其法-珀腔膜片尺寸的关系,设计EFPI传感器法-珀腔膜片尺寸并制备传感器。然后,设计外置油腔耦合结构,采用压电陶瓷(Piezoelectric,PZT)声发射传感器构建EFPI传感器性能测试系统,测得EFPI传感器的幅频特性和检测灵敏度。最后,使用板-板电极和变压器实体模型搭建局放检测系统,外置EFPI传感器与PZT传感器同时探测电极局放信号。实验结果表明EFPI传感器的一阶固有谐振频率为113 kHz,静压灵敏度为7.5 nm/kPa,外置油腔耦合结构EFPI传感器局放超声信号的检测灵敏度高于传统的PZT传感器。外置结构可有效保护传感器膜片,降低安装难度,且避免了EFPI传感器置于变压器绝缘高场强度区域带来的安全隐患。 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗传感器 局放超声检测 外置耦合 幅频特性
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用于断层测量的温度补偿光纤外腔型法布里-珀罗位移传感器 被引量：4
8
作者 彭华 马秀敏 +2 位作者 王震 崔留住 江毅 《地质力学学报》 CSCD 2013年第3期315-324,共10页
针对光纤EFPI传感器通常尺寸很小,而断层尺寸相对较大,导致光纤EFPI传感器在待测断层处安装不便的情况,提出了一种可用于断层测量的光纤外腔型法布里-珀罗位移传感器。两根陶瓷插芯从陶瓷套管的两端插入构成EFPI结构,通过使用金属内管... 针对光纤EFPI传感器通常尺寸很小,而断层尺寸相对较大,导致光纤EFPI传感器在待测断层处安装不便的情况,提出了一种可用于断层测量的光纤外腔型法布里-珀罗位移传感器。两根陶瓷插芯从陶瓷套管的两端插入构成EFPI结构,通过使用金属内管和金属外管,增大了光纤EFPI位移传感器的尺寸;并且金属外管的两端采用O型圈密封,因此该EFPI位移传感器能够防水防尘。为了消除温度对EFPI位移传感器的影响,两根金属内管采用了不同热膨胀系数的材料在结构上进行温度补偿。在温度连续变化的环境下,对腔长为718.39 m的EFPI位移传感器进行了测量。测量结果显示,经过温度补偿设计后,位移传感器的温度系数由0.14μm/℃下降到了-0.04μm/℃,并呈现过补偿。 展开更多
关键词 光纤传感器 外腔型法布里-珀罗干涉仪 温度补偿 断层测量
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在线型光纤法布里-珀罗折射率传感器及光谱分析方法研究 被引量：1
9
作者 刘晓慧 姜明顺 +2 位作者 隋青美 耿湘宜 宋福荣 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第6期488-492,共5页
提出一种在线型光纤法布里-珀罗折射率传感器。传感器由空芯光子晶体光纤两端熔接单模光纤而成。理论分析并实验验证了其折射率传感特性。结果表明,干涉条纹对比度随溶液折射率的增加而减小,与理论模拟一致。提出利用标准差解调方法对... 提出一种在线型光纤法布里-珀罗折射率传感器。传感器由空芯光子晶体光纤两端熔接单模光纤而成。理论分析并实验验证了其折射率传感特性。结果表明,干涉条纹对比度随溶液折射率的增加而减小,与理论模拟一致。提出利用标准差解调方法对干涉谱进行分析,标准差解调方法具有更好的线性度和准确性,可靠性更高,便于编程实现自动化、快速的数据分析和溶液折射率的实时检测。 展开更多
关键词 导波光学 光纤传感器 法布里-珀罗干涉 折射率测量 解调方法
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基于掺铒光纤的微型光纤法布里-珀罗干涉传感器 被引量：2
10
作者 徐兵 饶云江 +1 位作者 冉曾令 张健 《光学与光电技术》 2009年第6期11-13,共3页
提出了一种化学腐蚀掺铒光纤制作微型光纤法布里-珀罗干涉传感器的方法。通过对掺铒光纤进行化学腐蚀,形成凹槽,再与单模光纤直接熔接制作而成。实验制作的微型法布里-珀罗干涉传感器干涉条纹光滑,对比度达到15 dB。对该微型光纤法布里... 提出了一种化学腐蚀掺铒光纤制作微型光纤法布里-珀罗干涉传感器的方法。通过对掺铒光纤进行化学腐蚀,形成凹槽,再与单模光纤直接熔接制作而成。实验制作的微型法布里-珀罗干涉传感器干涉条纹光滑,对比度达到15 dB。对该微型光纤法布里-珀罗干涉腔进行了应变和温度传感实验。实验结果表明,在0～600με内,波谷移动随应变改变的灵敏度达到1.7 pm/με,线性度为0.9998,从73～23℃,波谷移动随温度改变的灵敏度3.9 pm/℃,线性度为0.998 2。该方法制作的微型光纤法布里-珀罗传感器具有操作简单,一次成型,制作成本低的优点。 展开更多
关键词 光纤传感器 光纤法布里-珀罗干涉仪 化学腐蚀 掺铒光纤
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法布里-珀罗光纤温度传感器的理论模型与仿真 被引量：2
11
作者 王党树 王新霞 《仪表技术》 2014年第4期50-52,共3页
设计了一种新型F-P（Fabry—Perot）干涉腔式温度传感器，具有高灵敏度、电绝缘性及抗电磁干扰等优点，能够胜任极端恶劣环境下的温度测量。采用腔内端面的反射光数学模型，并考虑输出光功率的线性度，对F-P传感腔初始腔长日、光纤端面... 设计了一种新型F-P（Fabry—Perot）干涉腔式温度传感器，具有高灵敏度、电绝缘性及抗电磁干扰等优点，能够胜任极端恶劣环境下的温度测量。采用腔内端面的反射光数学模型，并考虑输出光功率的线性度，对F-P传感腔初始腔长日、光纤端面反射率r的选取进行了优化设计与分析。应用有限元分析软件ANSYS对传感器的理论模型进行仿真与验证，模拟结果显示，当待测温度的变化范围为0—100℃时，干涉腔腔长随温度近似于线性变化，相应的理论灵敏度为1．636nm／％，精度为±0．2℃。 展开更多
关键词 法布里-珀罗(F-P) ANSYS 初始腔长 光纤温度传感器
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椭球状非本征法布里-珀罗光纤探针的传感特性
12
作者 李恭烨 石胜辉 +3 位作者 罗彬彬 邹雪 陈建 赵明富 《光学精密工程》 CSCD 北大核心 2024年第24期3545-3553,共9页
针对微型复杂环境下的物理参数检测,尤其是涉及折射率(Refractive Index,RI)和温度检测需满足的高灵敏度、低成本、抗电磁干扰等要求,本文提出一种制备简单、结构新颖的椭球状非本征型法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)腔光纤探针传感器。... 针对微型复杂环境下的物理参数检测,尤其是涉及折射率(Refractive Index,RI)和温度检测需满足的高灵敏度、低成本、抗电磁干扰等要求,本文提出一种制备简单、结构新颖的椭球状非本征型法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)腔光纤探针传感器。首先将端面切平的单模光纤(Single Mode Fiber,SMF)插入陶瓷插芯,并在SMF端面依次固定UV胶和氧化石墨烯(Graphene Oxide,GO)构成端帽结构的椭球状双F-P腔光纤探针传感器。然后对该传感器的RI和温度特性进行了理论分析和实验研究。实验结果表明:在RI为1.3532~1.3912范围内,随着RI增加,该传感器的干涉光谱发生红移,RI灵敏度为119.1 nm/RIU,RI与波长偏移量的线性相关系数为0.99;在20~60℃范围内,传感器温度灵敏度为116 pm/℃。本文设计的探针传感器具有结构简单、抗干扰能力强、制作成本低、输出光谱稳定、检测区域小等优点。同时,GO独特的物理化学属性使其在抗原分子、细菌病毒等生物检测领域具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗腔 氧化石墨烯 折射率 温度
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多腔型光纤法布里-珀罗传感器三波长动态解调技术 被引量：1
13
作者 任乾钰 贾平岗 +3 位作者 钱江 王军 刘文怡 熊继军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期188-197,共10页
针对在多腔型法布里-珀罗传感器中难以提取动态信号的问题,提出了一种用于多腔型法布里-珀罗传感器的三波长解调技术。该解调技术使用放大自发辐射光源和三个固定中心波长的宽带光纤滤波器,使干涉现象仅发生在多腔型光纤法布里-珀罗传... 针对在多腔型法布里-珀罗传感器中难以提取动态信号的问题,提出了一种用于多腔型法布里-珀罗传感器的三波长解调技术。该解调技术使用放大自发辐射光源和三个固定中心波长的宽带光纤滤波器,使干涉现象仅发生在多腔型光纤法布里-珀罗传感器的短腔中,以此提取较短腔的三个干涉信号。建立了校正算法和反正切算法来提取振动信号。实验结果表明,该解调技术成功提取了频率为1 kHz、峰峰值幅度为2.6μm的振动信号。解调速度为500 kHz,解调分辨率为0.25 nm。该解调技术具有系统紧凑、成本低、速度快、鲁棒性高等优点,在多腔型法布里-珀罗传感器方面有巨大的潜力。 展开更多
关键词 法布里-珀罗腔 光纤传感器 三波长解调算法 低相干干涉 腔长解调
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光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot)腔液位传感器 被引量：25
14
作者 阮驰 高应俊 +2 位作者 刘志麟 黄伟荣 郝爱花 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1170-1174,共5页
提出了一种用于测量液体容器液位高度的新型光纤F P(Fabry Perot)腔传感器 ,它灵敏度高 ,实现了全光传感和传输 ,特别适用于一些有害、易燃、易爆液体容器液位的测定 详细分析了该类传感器的传感原理 ,并给出了传感头参量设计方法 实... 提出了一种用于测量液体容器液位高度的新型光纤F P(Fabry Perot)腔传感器 ,它灵敏度高 ,实现了全光传感和传输 ,特别适用于一些有害、易燃、易爆液体容器液位的测定 详细分析了该类传感器的传感原理 ,并给出了传感头参量设计方法 实验结果表明 ,光纤F P腔传感器测量液位方法简单 ,并且可达到相当高的精度 文中分析了实验中的误差 ,探讨了传感器的稳定性及改进方法 ,是光纤法布里 展开更多
关键词 法布里-珀罗(Fabry-Pemt)腔 液位 光纤传感器
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一种基于光纤光栅法布里-珀罗腔的低频振动传感器 被引量：14
15
作者 成振龙 赵建林 +3 位作者 周王民 吕全超 潘子军 樊帆 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期47-52,共6页
提出了一种基于光纤光栅法布里-珀罗(F-P)腔的低频振动传感方案并进行了理论分析和实验研究。采用单频激光器作为光源,光纤光栅F-P腔通过两点涂胶方式粘接在等强度悬臂梁上,待测振动信号通过支架和悬臂梁将振动作用传至光纤光栅F-P腔,... 提出了一种基于光纤光栅法布里-珀罗(F-P)腔的低频振动传感方案并进行了理论分析和实验研究。采用单频激光器作为光源,光纤光栅F-P腔通过两点涂胶方式粘接在等强度悬臂梁上,待测振动信号通过支架和悬臂梁将振动作用传至光纤光栅F-P腔,引起腔长周期性变化,从而改变光纤光栅F-P腔的反射光谱特性,通过解调输出光信号的振荡频率和峰值,即可实现对振动信号频率和幅值的测量。利用压电陶瓷模拟的低频振动信号进行了实验验证,测量结果与理论分析相吻合。该传感器测量灵敏度高,特别适用于微弱振动信号的测量。 展开更多
关键词 振动传感器 光纤传感器 光纤布喇格光栅 法布里-珀罗腔
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光纤法布里-珀罗传感器腔长的傅里叶变换解调原理研究 被引量：14
16
作者 章鹏 朱永 陈伟民 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1449-1452,共4页
在宽带光源条件下对光纤法布里珀罗传感器腔长的傅里叶变换解调原理进行了详细的理论推导,在此基础上给出了具体的实现算法和仿真对比实验.仿真结果表明采用傅里叶变换可以有效地对光纤法布里珀罗传感器进行腔长解调.
关键词 法布里-珀罗传感器 傅里叶变换 腔长 解调
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光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器研究进展 被引量：10
17
作者 李爱武 单天奇 +4 位作者 国旗 潘学鹏 刘善仁 陈超 于永森 《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期609-624,共16页
光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器具有体积小、制作简单、灵敏度高、耐高温和抗电磁干扰等优点,广泛应用于航空航天、能源工业及环境监测等领域。本文首先介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的传感原理、传感性能、传感特性和制备... 光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器具有体积小、制作简单、灵敏度高、耐高温和抗电磁干扰等优点,广泛应用于航空航天、能源工业及环境监测等领域。本文首先介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的传感原理、传感性能、传感特性和制备方法。然后对其温度、压力和应变的灵敏度和测量范围等特征参数进行了归纳。总结了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的国内外研究进展及性能参数。介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪传感器温度和压力的交叉敏感问题及解决方法和基于不同种类光纤的法布里-珀罗干涉仪高温传感特性。针对近几年光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的研究进展,介绍了多种用于双参数测量的光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器。最后对光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的未来发展趋势和前景进行了展望。 展开更多
关键词 光纤法布里-珀罗干涉仪 高温传感器 高温压力测量
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法布里-珀罗薄膜干涉的光纤温度传感器 被引量：19
18
作者 高晓丹 彭建坤 吕大娟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第1期242-246,共5页
为了研制结构简单、成本低、可批量生产的微型光纤温度传感器,分析了薄膜干涉型光纤温度传感器的原理,选用Zr O2和Al2O3两种介质薄膜材料,采用TFCalc膜系设计软件设计了薄膜干涉型光纤温度敏感探头的膜系,由南光ZZS1100-8/G箱式真空镀... 为了研制结构简单、成本低、可批量生产的微型光纤温度传感器,分析了薄膜干涉型光纤温度传感器的原理,选用Zr O2和Al2O3两种介质薄膜材料,采用TFCalc膜系设计软件设计了薄膜干涉型光纤温度敏感探头的膜系,由南光ZZS1100-8/G箱式真空镀膜系统采用电子束蒸发技术在普通多模光纤端面蒸镀介质薄膜,形成法布里-珀罗(Fabry-Perot)薄膜干涉,并搭建光纤温度传感测试系统,测试结果表明:在200~600℃范围内,所设计的干涉型光纤温度传感器的测试光谱随温度变化产生一定的波长漂移,且波长漂移的温度特性为线性,线性相关系数为99.7%,灵敏度为8.37×10-6/℃。基于法布里-珀罗干涉的薄膜型光纤温度传感器体积小,成本低,结构紧凑,可批量生产,适合安装位置狭小或对传感器集成化要求较高的场合。 展开更多
关键词 光纤温度传感器 薄膜干涉 法布里-珀罗 波长漂移
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同轴电缆法布里-珀罗传感器的性能测试与分析 被引量：4
19
作者 周智 焦彤 刘嘉 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第6期1-6,共6页
研究不同型号同轴电缆制作的法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)传感器的感知性能对推广其实际应用具有重要意义。首先阐述了同轴电缆F-P传感器的基本原理,然后选取具有代表性的9种型号同轴电缆制作成F-P传感器,进行了应变和温度感知性能测试... 研究不同型号同轴电缆制作的法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)传感器的感知性能对推广其实际应用具有重要意义。首先阐述了同轴电缆F-P传感器的基本原理,然后选取具有代表性的9种型号同轴电缆制作成F-P传感器,进行了应变和温度感知性能测试,通过对比分析各型号同轴电缆F-P传感器的感知性能指标,得到了一些具有实际工程应用价值的结论。 展开更多
关键词 同轴电缆 法布里-珀罗 传感器 不同型号电缆 应变和温度感知 性能测试
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芯内双微孔复合腔结构的光纤法布里-珀罗传感器研究 被引量：1
20
作者 张伟 刘颖刚 +3 位作者 张庭 刘鑫 傅海威 贾振安 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第20期359-367,共9页
提出了一种基于芯内双微孔复合结构的全光纤干涉传感器结构,建立了传感器反射光谱的理论模型,给出了反射光谱强度与微孔长度、孔内介质折射率、微孔端面反射与损耗系数以及光纤的特性参数间的关系,并模拟了传感器光谱对温度和折射率变... 提出了一种基于芯内双微孔复合结构的全光纤干涉传感器结构,建立了传感器反射光谱的理论模型,给出了反射光谱强度与微孔长度、孔内介质折射率、微孔端面反射与损耗系数以及光纤的特性参数间的关系,并模拟了传感器光谱对温度和折射率变化的响应特性.利用193 nm准分子激光器,在普通单模光纤上加工制作了具有复合腔结构的全光纤多参量传感器,进行了传感实验研究.结果表明,该传感器具有优于99%的温度、折射率线性响应度,对应两套温度和折射率灵敏度分别为-0.172 nm/℃,1050.700 nm/RIU和0.004 nm/℃,48.775 nm/RIU,不仅能够实现温度、折射率以及它们的区分测量,还能够应用于气体压力的测量,测量精度可达0.3 kPa. 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗干涉仪 温度 折射率
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