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机械加工表面微观形貌激光测量分析仪的设计 被引量:1
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作者 朱静 陈良海 +1 位作者 伏乃林 王林高 《南通工学院学报(自然科学版)》 2002年第3期74-76,共3页
提出了用于测量加工表面微观轮廓高度的高频亮度调制、同源频率合成、软件鉴相的激光相位微距测量方法 ,提出了开放式PC系统结构。介绍了机械加工表面微观形貌激光测量评价仪的原理、测量电路设计与数字信号处理软件设计。该方法具有分... 提出了用于测量加工表面微观轮廓高度的高频亮度调制、同源频率合成、软件鉴相的激光相位微距测量方法 ,提出了开放式PC系统结构。介绍了机械加工表面微观形貌激光测量评价仪的原理、测量电路设计与数字信号处理软件设计。该方法具有分辨率高、动态响应快、评价指标参数多样且可扩充等特点。 展开更多
关键词 机械加工表面微观形貌激光测量分析仪 设计 高频亮度调制 激光相应测距 数字信号处理 频率合成
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在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪 被引量:6
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作者 周肇飞 张涛 +1 位作者 周卫东 李文杰 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期7-10,共4页
介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于 0 .2 nm( Ra)。
关键词 激光轮廓仪 表面测量 在线检测 微观形貌检测
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表面形貌激光测量技术
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作者 许泓彧 周晨波 +2 位作者 于文英 冯建 王建新 《科技信息》 2006年第03X期41-42,共2页
随着现代工业的发展,对产品表面质量提出越来越高要求.表面粗糙度作为反映微观形貌的重要参数,对产品表面质量有很大影响.激光测量技术是一种非接触测量技术.详细介绍了四种激光测量技术的原理.阐述了其优缺点以厦激光测量技术的... 随着现代工业的发展,对产品表面质量提出越来越高要求.表面粗糙度作为反映微观形貌的重要参数,对产品表面质量有很大影响.激光测量技术是一种非接触测量技术.详细介绍了四种激光测量技术的原理.阐述了其优缺点以厦激光测量技术的应用领域和发展趋势. 展开更多
关键词 表面微观形貌 表面粗糙度 激光测量技术 产品表面质量
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表面粗糙度测量方法综述 被引量:83
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作者 刘斌 冯其波 匡萃方 《光学仪器》 2004年第5期54-58,共5页
表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌非常重要的一个参数,表面粗糙度测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分。综述了接触式和非接触式两类测量方法,着重介绍了非接触式测量中的几种测量方法的测量原理及其优缺点。
关键词 表面粗糙度测量 非接触式测量 机械加工 测量原理 精密 计量技术 参数 表面微观形貌 测量方法 描述
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基于三角测距系统的不同表面材质测量精度的研究 被引量:2
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作者 马路明 田敏 +2 位作者 谢勇 祁伟光 李良庭 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第3期120-122,126,共4页
研究不同被测表面材质对激光三角测距测量精度的影响,利用光线追迹方法,通过对不同表面材质成像光斑的光学模拟,同时利用MATLAB对得到的波形数据进行归一化处理并对光斑质心理论计算,得到影响三角测距测量精度的2个关键因素:表面反射率... 研究不同被测表面材质对激光三角测距测量精度的影响,利用光线追迹方法,通过对不同表面材质成像光斑的光学模拟,同时利用MATLAB对得到的波形数据进行归一化处理并对光斑质心理论计算,得到影响三角测距测量精度的2个关键因素:表面反射率分布和表面微观形貌。表面反射率越接近朗博体的目标物对应的检测误差越小;表面纹理越少,对应的检测误差越小。进而提出提高测量精度的方法并验证,结果表明:通过优化成像光斑的高斯分布和增加垂直于检测方向的激光宽度能够提高测量的精度。 展开更多
关键词 激光三角测距 测量精度 成像光斑 光学模拟 表面反射率 表面微观形貌
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激光光栅显微投影法表面微观形貌测量系统的研制 被引量:1
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作者 于复生 司书春 张国雄 《应用激光》 CSCD 北大核心 2004年第3期159-161,168,共4页
本文研制了基于激光光栅显微投影法的表面微观形貌测量系统。该系统由激光器 ,CCD ,两个显微物镜 ,图象采集卡 ,计算机和数据处理软件组成。两个显微物镜一个用来将光栅进行缩小投影到被测物体的表面上 ,形成被被测物体表面高度所调制... 本文研制了基于激光光栅显微投影法的表面微观形貌测量系统。该系统由激光器 ,CCD ,两个显微物镜 ,图象采集卡 ,计算机和数据处理软件组成。两个显微物镜一个用来将光栅进行缩小投影到被测物体的表面上 ,形成被被测物体表面高度所调制的条纹 ;另一只显微物镜则将被调制的条纹图像成像到CCD的靶面上 ,CCD采集的图像输入到计算机中进行相关计算而得出被测表面的微观形貌。本文介绍了该系统的测量范围和分辨率计算方法 ,并对实验数据进行了可靠性分析。结果分析表明 ,该系统能可靠地测量物体的表面微观形貌。 展开更多
关键词 激光光栅显微投影法 表面微观形貌 测量系统 图象采集卡 CCD
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非光学量测试与设备
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《中国光学》 EI CAS 2002年第2期92-94,共3页
TB92 2002021470基于投影栅相位法的透明体表面微观形貌测量=Mea-surement of transparence surface microtopographybased on phase - approaching of projected grating[刊,中]/司书春,王蕴珊,周灿林(山东工业大学数理系.山东,济南(25... TB92 2002021470基于投影栅相位法的透明体表面微观形貌测量=Mea-surement of transparence surface microtopographybased on phase - approaching of projected grating[刊,中]/司书春,王蕴珊,周灿林(山东工业大学数理系.山东,济南(250061))。 展开更多
关键词 山东工业大学 测量方法 投影栅相位法 光学技术 线结构激光 机器视觉 测量系统 表面微观形貌测量 华中科技大学 透明体
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光学测量与仪器
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《电子科技文摘》 1999年第8期101-102,共2页
9908271微机在光调制反射谱实验中的应用[刊]/李海涛//数据采集与处理.—1998,13(增刊).—101~107(V)介绍了计算机在光调制反射谱实验室中的应用。在自动控制系统中使用 GPIB 接口连接锁相放大器和直流万用表,用8255和8253芯片控制单... 9908271微机在光调制反射谱实验中的应用[刊]/李海涛//数据采集与处理.—1998,13(增刊).—101~107(V)介绍了计算机在光调制反射谱实验室中的应用。在自动控制系统中使用 GPIB 接口连接锁相放大器和直流万用表,用8255和8253芯片控制单色仪的步进电机。软件采用 Windows 图形界面,极大地提高了易用性。实验结果显示,自动控制系统精度高并且使用方便。 展开更多
关键词 技术与应用 单管式扫描器 分析仪 扫描探针显微镜 原子力显微镜 结构误差 表面形貌 光学测量 激光检测 振荡信号
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