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低Qm 压电振子机电耦合系数的标准计算方法的原理误差分析 被引量：3
1
作者 叶会英 马秀兰 +1 位作者 刘国栋 浦昭邦 《计量学报》 CSCD 北大核心 2000年第1期5-11,共7页
压电材料的机电耦合系数通常由谐振及反谐振频率之间的相对间隔确定。常用的ＩＥＥＥ标准计算公式，是由描述理想无损压电振子的电行为方程推导得出的。本文给出了压电材料的固有损耗产生的谐振及反谐振频率的偏移及由此引起的标准公式... 压电材料的机电耦合系数通常由谐振及反谐振频率之间的相对间隔确定。常用的ＩＥＥＥ标准计算公式，是由描述理想无损压电振子的电行为方程推导得出的。本文给出了压电材料的固有损耗产生的谐振及反谐振频率的偏移及由此引起的标准公式的误差。代替以往分析时常用的等效电路方法，本文采用把损耗考虑在内的严格的压电振子导纳或阻抗模型。分析结果表明：由测得的谐振及反谐振频率用标准公式得出的耦合系数小于材料的固有耦合系数；误差随固有损耗的增加及耦合的减弱而增加。文中给出了较为详细的分析结果。 展开更多
关键词 压电振子 参数测量 机电耦合系数 压电材料
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Tb-Dy-Fe超磁致伸缩合金的动态机电耦合系数 被引量：4
2
作者 白夏冰 蒋成保 宫声凯 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期607-610,共4页
用区熔定向凝固方法制备出成分为Tb_(0．3)Dy_(0．7)Fe_(1．90)的〈110〉和〈112〉取向的超磁致伸缩材料,研究了在900℃真空热处理后材料的动态机电耦合系数．结果表明,定向生长的〈110〉和〈112〉取向样品K_(33)值比铸态有明显的提高... 用区熔定向凝固方法制备出成分为Tb_(0．3)Dy_(0．7)Fe_(1．90)的〈110〉和〈112〉取向的超磁致伸缩材料,研究了在900℃真空热处理后材料的动态机电耦合系数．结果表明,定向生长的〈110〉和〈112〉取向样品K_(33)值比铸态有明显的提高；随着磁场的增大,K_(33)值先增大后又逐渐减小；外加压力从0MPa增大到10MPa,K_(33)值逐渐增大；继续增大压力,K_(33)值减小．适当的热处理使K_(33)值明显提高．热处理后样品K_(33)值的提高与样品磁畴结构的改变有关． 展开更多
关键词 金属材料 TbDyFe 超磁致伸缩材料 机电耦合系数(K33) 交流阻抗
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Fe_(81)Ga_(19)磁致伸缩合金的动态机电耦合系数 被引量：4
3
作者 白夏冰 蒋成保 宫声凯 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期413-416,共4页
采用区熔定向凝固的方法,制备目标成分为Fe_(81)Ga_(19)的磁致伸缩取向晶体,进行900℃保温真空热处理3 h后油淬．采用交流阻抗仪测定其阻抗谐振频率,求出机电耦合系数(K_(33))．结果表明,直流磁场强度从32．7 mT增加到48．1和63．6 mT时... 采用区熔定向凝固的方法,制备目标成分为Fe_(81)Ga_(19)的磁致伸缩取向晶体,进行900℃保温真空热处理3 h后油淬．采用交流阻抗仪测定其阻抗谐振频率,求出机电耦合系数(K_(33))．结果表明,直流磁场强度从32．7 mT增加到48．1和63．6 mT时,K_(33)值由0．126增加到0．129和0．133;压力从0增加到15 MPa,在32．7 mT磁场条件下K_(33)值与预加应力变化关系不明显,但在63．6 mT磁场及15 MPa下热处理样品的K_(33)值达到0．157;样品表面缺陷对交流阻抗曲线有直接影响,存在表面缺陷的样品很难测出K_(33)值． 展开更多
关键词 Fe81Ga19 磁致伸缩材料 机电耦合系数(K33) 交流阻抗曲线
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Fe_(72.5)Ga_(27.5)磁致伸缩合金动态机电耦合系数K_(33) 被引量：3
4
作者 朱小溪 张天丽 蒋成保 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期455-459,共5页
采用区熔定向凝固法制备目标成分为Fe_(72.5)Ga_(27.5)的磁致伸缩定向生长试样.采用改进的交流阻抗法测定定向生长态及其淬火态(1000℃/3 h,W.Q.)试样的阻抗谐振频率谱,求出不同偏振磁场和预压力情况下的动态机电耦合系数K_(33).由于Fe... 采用区熔定向凝固法制备目标成分为Fe_(72.5)Ga_(27.5)的磁致伸缩定向生长试样.采用改进的交流阻抗法测定定向生长态及其淬火态(1000℃/3 h,W.Q.)试样的阻抗谐振频率谱,求出不同偏振磁场和预压力情况下的动态机电耦合系数K_(33).由于Fe-Ga合金的磁致伸缩性能比Tb-Dy-Fe巨磁致伸缩材料小一个数量级,原有的测试方法不易得Fe-Ga合金的K_(33).本实验在拾取信号时采用了四线并接接线方式并将交流激励信号输入水平调整到0.5 A,获得了稳定且明显的Fe-Ga合金阻抗谐振频率谱线.实验结果表明:定向生长试样在32.7 mT偏振磁场、无预压应力下K_(33)为0.103;淬火态试样在同样偏振磁场和无预压应力下K_(33)达到0.137.K_(33)随外加偏振磁场的增大而减小,随预压力的增大呈现先增大而后减小的趋势.淬火态试样的K_(33)较定向生长试样有明显提高.外加偏振磁场和预压力对淬火态试样的K_(33)的影响规律同定向生长试样一致. 展开更多
关键词 Fe72.5Ga27.5合金 磁致伸缩 动态机电耦合系数K33 交流阻抗谐振谱
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高基频高机电耦合系数晶体滤波器 被引量：2
5
作者 彭胜春 赵瑞星 +5 位作者 阳皓 邱泽林 李亚飞 温桎茹 唐平 董姝 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期761-764,共4页
采用离子刻蚀工艺对钽酸锂晶体材料进行刻蚀加工,得到了反台面结构晶片,其厚度约为31.3μm,可用于制作高基频晶体谐振器。应用该晶体谐振器,在电路上采用差接桥型电路,设计了一种高频宽带晶体滤波器,其中心频率为63 MHz,3 dB带宽为780 k... 采用离子刻蚀工艺对钽酸锂晶体材料进行刻蚀加工,得到了反台面结构晶片,其厚度约为31.3μm,可用于制作高基频晶体谐振器。应用该晶体谐振器,在电路上采用差接桥型电路,设计了一种高频宽带晶体滤波器,其中心频率为63 MHz,3 dB带宽为780 kHz,阻带衰耗大于75 dB,工作温度为-55^+95℃。结果表明,采用离子刻蚀工艺能极大地提高晶体滤波器的工作频率上限。 展开更多
关键词 晶体滤波器 离子刻蚀 钽酸锂 高基频 机电耦合系数
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压电元件机电耦合系数定义研究 被引量：4
6
作者 叶会英 张德辉 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第7期1-3,6,共4页
用作转换器的压电元件的一个重要特性是衡量其能量转换效率。常用来表征这一特征的参数是机电耦合系数。对于机电耦合系数这一参数,没有一个统一的定义,对目前常用的三种定义方式进行了分析,通过一个实例 — —长条片横向长度伸缩振动... 用作转换器的压电元件的一个重要特性是衡量其能量转换效率。常用来表征这一特征的参数是机电耦合系数。对于机电耦合系数这一参数,没有一个统一的定义,对目前常用的三种定义方式进行了分析,通过一个实例 — —长条片横向长度伸缩振动模式压电振子,比较了三种定义的联系、差别以及适用范围。分析结果表明:开路-短路计算方法是一种适用范围更广的方法。 展开更多
关键词 压电元件 转换效率 机电耦合系数
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基于ANSYS的压电换能器有效机电耦合系数的仿真分析 被引量：4
7
作者 魏胜 《深圳职业技术学院学报》 CAS 2012年第3期7-12,共6页
研究了双层压电悬臂梁的工作原理及其有效机电耦合系数,借助ANSYS软件并选用Solid5(压电材料),Solid45(中间金属层),Circu94(电阻)3种元素类型建立压电换能器的有限元模型,通过谐振仿真分别求出压电装置的短路和开路谐振频率,得到其有... 研究了双层压电悬臂梁的工作原理及其有效机电耦合系数,借助ANSYS软件并选用Solid5(压电材料),Solid45(中间金属层),Circu94(电阻)3种元素类型建立压电换能器的有限元模型,通过谐振仿真分别求出压电装置的短路和开路谐振频率,得到其有效机电耦合系数.仿真结果表明,压电装置的有效机电耦合系数要小于压电材料的耦合系数,且与理论计算结果基本一致,仿真方法可有效地评价压电换能器的工作性能,并为后续实验提供理论指导. 展开更多
关键词 压电 仿真 机电耦合系数
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基于能量法的双晶压电悬臂梁发电装置机电耦合系数分析 被引量：1
8
作者 刘祥建 《机电工程》 CAS 2014年第6期775-778,共4页
针对双晶压电悬臂梁发电装置机电两类能量通过压电效应耦合强弱的问题,将能量法应用到双晶压电悬臂梁发电装置机电耦合系数的分析中。开展了双晶压电悬臂梁发电装置机电耦合系数的理论分析,并建立了其与双晶压电悬臂梁发电装置尺寸参数... 针对双晶压电悬臂梁发电装置机电两类能量通过压电效应耦合强弱的问题,将能量法应用到双晶压电悬臂梁发电装置机电耦合系数的分析中。开展了双晶压电悬臂梁发电装置机电耦合系数的理论分析,并建立了其与双晶压电悬臂梁发电装置尺寸参数和材料特性之间的关系,对双晶压电悬臂梁发电装置机电耦合系数与其尺寸参数和材料特性的关系模型进行了实验验证和数值模拟。研究结果表明,实验值与理论解有较好的一致性,且都在压电片厚度为0.25 mm时开路电压最大,验证了该理论模型的可靠性。此外,随着压电梁厚度比的不断增大,其机电耦合系数单调递增;同时,较大的弹性模量比有利于压电梁机电耦合系数的提高,且相对于钢弹性基片,铍青铜弹性基片更有利于压电梁机电耦合系数的提高。 展开更多
关键词 能量法 双晶 压电 悬臂梁 机电耦合系数
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PZT压电陶瓷机电耦合系数之间的关系 被引量：1
9
作者 王裕斌 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第4期339-343,共5页
基于压电方程组导出了厚度伸缩振动机电耦合系数K_1与其它振动模式机电耦合系数的关系式。在满足d_(31)/d_(32)(?)S_(13)~F/S_(32)~E的条件下得到了K_t与K_(?)、K_(?)之间的简单关系式。利用此式计算了PZT压电陶瓷的K_(?)与组成的关系... 基于压电方程组导出了厚度伸缩振动机电耦合系数K_1与其它振动模式机电耦合系数的关系式。在满足d_(31)/d_(32)(?)S_(13)~F/S_(32)~E的条件下得到了K_t与K_(?)、K_(?)之间的简单关系式。利用此式计算了PZT压电陶瓷的K_(?)与组成的关系。理论计算结果与实验结果基本相符。 展开更多
关键词 压电陶瓷 机电耦合系数 压电方程
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氮化铝薄膜作微波压电换能器的机电耦合系数测定 被引量：1
10
作者 刘付德 梁子南 《电子测量与仪器学报》 CSCD 1990年第1期37-42,62,共7页
本文报道用微波压电换能器的输入导纳测定AIN压电薄膜机电耦合系数的方法。在微波频率下测得横向受夹厚度模AIH压电薄膜的机电耦合系数为O.13。这个结果略小于块材AIN的值,可能是由于所生长的AIN薄膜微晶C轴方向有—定的分散性和C轴反... 本文报道用微波压电换能器的输入导纳测定AIN压电薄膜机电耦合系数的方法。在微波频率下测得横向受夹厚度模AIH压电薄膜的机电耦合系数为O.13。这个结果略小于块材AIN的值,可能是由于所生长的AIN薄膜微晶C轴方向有—定的分散性和C轴反向性所致。从导纳测定结果上表明:抉能器中有一等效的串联电阻,这个串联电阻可用于说明匹配和调谐换能器存在损耗的原因。 展开更多
关键词 压电换能器 机电耦合系数 氮化铝 输入导纳 串联电阻 微波频率 分散性 块材 谐振频率 压电材料
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高次泛音比法测定厚度振动机电耦合系数
11
作者 盖志刚 王矜奉 +3 位作者 杜鹃 任晓峰 臧国忠 明保全 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第4期466-468,471,共4页
压电振子低频振动模式的高次泛音易与厚度振动模式的基频相耦合,导致厚度振动的基音串联谐振频率不能精确测量(或无法测量),造成传统泛音比法测定压电振子的机电耦合系数的精度和一致性变差或无法进行测定。为了克服传统泛音比法的这一... 压电振子低频振动模式的高次泛音易与厚度振动模式的基频相耦合,导致厚度振动的基音串联谐振频率不能精确测量(或无法测量),造成传统泛音比法测定压电振子的机电耦合系数的精度和一致性变差或无法进行测定。为了克服传统泛音比法的这一弊端,提出了测定压电振子厚度振动机电耦合系数的高次泛音比法。此法通过测定3次和3次以上的高次串联谐振频率,用高次泛音比来测定压电振子厚度振动机电耦合系数。实验表明,与传统泛音比法相比,高次泛音比法具有精确度高和一致性好的明显优势。为了便于高次泛音比法的应用,提供了高次泛音比和机电耦合系数的对应表。 展开更多
关键词 机电耦合系数 基音串联谐振频率 泛音比法 高次泛音比法
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螺栓位置与换能器有效机电耦合系数的关系
12
作者 杨佳婷 李娜 +1 位作者 武婷婷 贺西平 《声学技术》 CSCD 北大核心 2018年第6期618-622,共5页
研究了螺栓在换能器中部或后部(后置)位置时,对有效机电耦合系数的影响。将螺栓等效为T型四端网络,利用换能器的机电等效电路,全面分析了其对应的有效机电耦合系数与螺栓长度之间的变化关系。结果表明,螺栓处于中部时,换能器的机电耦合... 研究了螺栓在换能器中部或后部(后置)位置时,对有效机电耦合系数的影响。将螺栓等效为T型四端网络,利用换能器的机电等效电路,全面分析了其对应的有效机电耦合系数与螺栓长度之间的变化关系。结果表明,螺栓处于中部时,换能器的机电耦合系数与螺栓长度呈正相关趋势;螺栓位于后端时,换能器的机电耦合系数与螺栓长度先呈正相关变化,随后呈负相关变化;相比于螺栓位于中部,后置螺栓长度的变化对有效机电耦合系数的波动比较大,但有机电耦合效率的系数数值均比中部位置螺栓的值小。这说明螺栓置于中部时机电耦合性能更好。 展开更多
关键词 换能器 螺栓 有效机电耦合系数
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FBAR有效机电耦合系数的影响因素分析 被引量：2
13
作者 赵坤丽 高杨 韩超 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期202-206,共5页
针对有效机电耦合系数(k2eff)的两种影响因素-薄膜体声波谐振器(FBAR)的电极/压电层厚度比与压电层薄膜的c轴取向,分别建立了厚度比可变与c轴取向可变的三层复合结构的FBAR三维仿真模型。以一个谐振频率为2.185GHz的FBAR谐振器作为分析... 针对有效机电耦合系数(k2eff)的两种影响因素-薄膜体声波谐振器(FBAR)的电极/压电层厚度比与压电层薄膜的c轴取向,分别建立了厚度比可变与c轴取向可变的三层复合结构的FBAR三维仿真模型。以一个谐振频率为2.185GHz的FBAR谐振器作为分析案例,通过仿真得出,设计得到的膜层厚度比为0.206时,虽然FBAR的k2eff略有下降,但此时Mo电极厚为0.247μm,AlN压电层厚为1.119 7μm,使得FBAR电学性能较好,工艺制备复杂度及时间降低。另外,c轴倾斜角度为3°时,会使FBAR的k2eff下降,同时FBAR阻抗特性曲线产生较强的寄生谐振,这会引起FBAR横向能量泄露,恶化FBAR滤波器的带内插损。因此,在制备AlN薄膜时应该严格把握各项工艺参数。此外,通过适当放宽FBAR谐振器谐振频率增量能使k2eff具有一定冗余量来弥补工艺制备引起的k2eff下降。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器(FBAR) 有效机电耦合系数 厚度比 C轴取向 寄生谐振 横向能量泄漏
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超大机电耦合系数声波谐振器的研究 被引量：1
14
作者 张小德 王华磊 +2 位作者 李儒章 钟慧 石玉 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第3期328-330,335,共4页
该文研究了Pb(In_(1/2)Nb_(1/2))O_(3)-Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_(3)-PbTiO_(3)(PIN-PMN-PT)基片上声表面波(SAW)的传播特性。利用COMSOL软件建立SAW谐振器三维模型并进行模拟仿真。通过优化谐振器参数,设计了一种具有超大机电耦合系数(K^... 该文研究了Pb(In_(1/2)Nb_(1/2))O_(3)-Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_(3)-PbTiO_(3)(PIN-PMN-PT)基片上声表面波(SAW)的传播特性。利用COMSOL软件建立SAW谐振器三维模型并进行模拟仿真。通过优化谐振器参数,设计了一种具有超大机电耦合系数(K^(2))的谐振器结构。结果表明,当欧拉角为(0°,-70°,0°)时,SH0模态的K^(2)可优化到约85%,且通带内无寄生响应。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) PIN-PMN-PT COMSOL SH_(0)模态 机电耦合系数
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螺栓对压电换能器有效机电耦合系数的影响 被引量：1
15
作者 杨佳婷 贺西平 +1 位作者 武婷婷 李娜 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 2018年第6期731-735,共5页
基于压电换能器的机电等效电路图,推导了其共振、反共振频率方程,用数值计算的方法得到了螺栓的几何尺寸及材料对换能器有效机电耦合系数的影响。研究结果表明,换能器的总长度保持不变,螺栓长度增加时,有效机电耦合系数随之增大;螺栓加... 基于压电换能器的机电等效电路图,推导了其共振、反共振频率方程,用数值计算的方法得到了螺栓的几何尺寸及材料对换能器有效机电耦合系数的影响。研究结果表明,换能器的总长度保持不变,螺栓长度增加时,有效机电耦合系数随之增大;螺栓加粗时,有效机电耦合系数随之减小。换能器的前后盖板均为45#钢,与钛、铜相比,45#钢作为螺栓材料时,换能器的有效机电耦合系数最低;当钛或铜作为螺栓材料、螺栓直径一定且螺栓长度较短时,换能器的有效机电耦合系数,前者小于后者;而螺栓长度较长时,换能器的有效机电耦合系数,前者大于后者,且随着螺栓长度的增加,有效机电耦合系数不断增大。 展开更多
关键词 换能器 螺栓 有效机电耦合系数 频率方程
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中空型超声电机定子的有效机电耦合系数分析
16
作者 汪红星 刘军 +1 位作者 朱华 潘政阳 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2022年第6期1212-1219,1250,共9页
为了提高中空型超声电机的输出效率,对电机定子的有效机电耦合系数进行了研究分析。首先,利用等效电路法分析了电机定子的压电阻抗特性,确定了有效机电耦合系数的计算方法;其次,通过ANSYS软件对电机定子的压电阻抗特性进行了有限元仿真... 为了提高中空型超声电机的输出效率,对电机定子的有效机电耦合系数进行了研究分析。首先,利用等效电路法分析了电机定子的压电阻抗特性,确定了有效机电耦合系数的计算方法;其次,通过ANSYS软件对电机定子的压电阻抗特性进行了有限元仿真,分析了定子的振动模态、金属弹性体和压电陶瓷的结构尺寸对有效机电耦合系数的影响;然后,根据仿真结果设计制作了4个不同的定子,并利用阻抗分析仪对4个定子进行了测试,实测值与仿真值进行对比,相对误差均小于10%,获得的阻抗特性曲线和仿真结果相吻合;最后,将4个定子装配成样机,并搭建了电机性能测试平台进行实验测试,4个样机均获得了较好的输出性能。实验结果表明,提高定子的有效机电耦合系数能获得较低的功耗,进而提高电机的输出效率,具有较高的工程应用价值。 展开更多
关键词 中空超声电机 压电阻抗特性 有限元分析 有效机电耦合系数 输出性能
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数字式压电振子厚度机电耦合系数测试仪
17
作者 王晓光 《仪器仪表学报》 EI CAS 1985年第2期115-121,共7页
本文根据脉冲响应电压测试压电振予厚度机电耦合系数k_i原理推导了新的计算公式,由于该公式较简单,仅需借助袖珍计算器即能计算,用这种方法对一些样品测试的结果与通常的方法比较非常相近。根据这种方法设计了数字式压电振子厚度机电耦... 本文根据脉冲响应电压测试压电振予厚度机电耦合系数k_i原理推导了新的计算公式,由于该公式较简单,仅需借助袖珍计算器即能计算,用这种方法对一些样品测试的结果与通常的方法比较非常相近。根据这种方法设计了数字式压电振子厚度机电耦合系数测试仪,它包括模拟取样电路和带可编程序计算器的数字电路,该测试仪器对样品要求较宽,测试迅速,而且其中数字控制电路可推广到其它测试仪器。 展开更多
关键词 机电耦合系数 压电振子 电压测试 袖珍计算器 取样电路 脉冲响应 振予 数字电路 原理推导 样品测试
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2-2结构压电复合材料的机电耦合系数研究 被引量：2
18
作者 水永安 薛强 《中国科学（E辑）》 CSCD 1996年第4期304-310,共7页
对2-2结构的压电复合材料提出一种动态模型,求解沿界面传播的平面波,获得这平面波传播的色散曲线.取换能器厚度为半波长或其奇数倍,换能器的谐振、反谐振频率及高次谐振频率的实验值与理论色散曲线相吻合.由动态模型可求得压电复合材料... 对2-2结构的压电复合材料提出一种动态模型,求解沿界面传播的平面波,获得这平面波传播的色散曲线.取换能器厚度为半波长或其奇数倍,换能器的谐振、反谐振频率及高次谐振频率的实验值与理论色散曲线相吻合.由动态模型可求得压电复合材料厚度振动的机电耦合系数随两相材料的宽厚比和体积比的变化.证明:当复合材料中厚度振动与侧向周期振动之间解耦时,复合材料的机电耦合系数达到最大,材料有最大的机电耦合系数和最宽的频带宽度. 展开更多
关键词 超声换能器 复合材料 机电耦合系数 压电陶瓷
原文传递
CMUTs机电耦合系数解析式及其对功耗的影响
19
作者 李支康 赵立波 +6 位作者 李杰 赵一鹤 徐廷中 罗国希 郭帅帅 刘子晨 蒋庄德 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第17期173-181,共9页
电容式微加工超声换能器(CMUTs)在便携式超声成像与治疗、家庭超声诊断系统、基于超声波的非接触式人机接口等领域具有极其可观的应用前景。实现低功耗、高机电耦合系数CMUTs的研发是解决上述应用需求的关键,而这就需要对CMUTs机电耦合... 电容式微加工超声换能器(CMUTs)在便携式超声成像与治疗、家庭超声诊断系统、基于超声波的非接触式人机接口等领域具有极其可观的应用前景。实现低功耗、高机电耦合系数CMUTs的研发是解决上述应用需求的关键,而这就需要对CMUTs机电耦合系数的变化规律及其对功耗的影响具有更深入的理解。针对圆形和方形薄膜CMUTs,利用基于固定电容和自由电容比值的原理建立了圆形和方形薄膜CMUTs的机电耦合系数解析式,同时利用有限元仿真和对已有CMUTs芯片机电耦合系数的试验测试来验证理论解析式的正确性;开展了机电耦合系数的参数化研究;建立了CMUTs功耗与偏置电压之间的函数关系。结果表明圆形和方形薄膜CMUTs的机电耦合系数解析式能在低于塌陷电压96%的偏置电压范围内准确分析不同偏置电压下的机电耦合系数。在相同偏置电压下,机电耦合系数随着空腔高度增加而降低,但随着薄膜半径增大而增加;在相同偏置电压/塌陷电压比下,具有不同结构参数的CMUTs机电耦合系数相同。此外,从功耗与机电耦合系数的内在关系研究中可知通过减小塌陷电压或提高在低偏置电压下的机电耦合系数则可实现低功耗和高机电耦合系数这两种相互制约的性能参数的协调设计。 展开更多
关键词 CMUTs 机电耦合系数 解析式 功耗
原文传递
压电双晶片动态机电耦合特性分析 被引量：2
20
作者 叶会英 禹延光 +1 位作者 姬建伟 浦昭邦 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期411-414,共4页
基于压电双晶片本构方程 ,采用机电耦合系数的一种新的、更为合理的定义方法 ,分析了动态情况下悬臂梁式双晶片执行器或换能器的机电耦合特性 ,仿真分析了机电耦合特性与器件材料、几何尺寸以及信号频率之间的关系。结果表明 ,机电耦合... 基于压电双晶片本构方程 ,采用机电耦合系数的一种新的、更为合理的定义方法 ,分析了动态情况下悬臂梁式双晶片执行器或换能器的机电耦合特性 ,仿真分析了机电耦合特性与器件材料、几何尺寸以及信号频率之间的关系。结果表明 ,机电耦合系数随双晶片几何尺寸及信号频率起伏变化 ,起伏幅度随信号频率的增大而减小 ,随双晶片长度厚度比的增大而减小。 展开更多
关键词 压电双晶片 机电耦合系数 微执行器 MEMS 微电子机械系统
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