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题名基于圆形四象限光电探测器的条纹形状识别方法研究
被引量：7
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作者
周浩
王选择
翟中生
杨练根
刘文超
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机构
湖北工业大学机械工程学院
湖北省现代制造质量工程重点实验室
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期181-187,共7页
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基金
国家自然科学基金(51175154
51005272)
+3 种基金
湖北省杰出青年人才基金(2010CDA088)
教育厅中青年项目(Q20101405
Q20101407)
湖北省科技厅项目(2010CDB03104)资助课题
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文摘
为了实现二维小角度的测量,采用压电陶瓷(PZT)驱动方式,获取运动的干涉条纹。利用数值积分法推导了理想干涉条纹下,条纹宽度、条纹方向角与光电探测器各象限信号相位的关系,解出了各象限相位等效点,并建立了激光光束夹角与条纹形状之间的模型。应用椭圆最小二乘拟合算法,实现了四象限探测器相位信息的有效提取,达到识别条纹宽度和方向角的目的。二维偏转角的测量实验结果表明,该方法能够满足对工作台角度偏转量等精密测量的要求,即使是在干涉条纹形状不规则、工作台运动频率不严格一致的环境下,对条纹形状的识别精度也很高,重复性好。
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关键词
测量
四象限光电探测器
条纹形状识别
数值积分
最小二乘椭圆拟合
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Keywords
measurement four-quadrant photoelectric detector
fringe shape recognition~ numerical integrationellipse least-squares fitting
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
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