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枕型二维位置敏感探测器的研制 被引量:6
1
作者 唐九耀 林进军 孙晓斌 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期233-236,共4页
 证明了枕型二维位置敏感探测器设计的基本原理———Gear定理,并推导了适用于枕型二维位置敏感探测器的位置计算公式,此外还提出了枕型二维位置敏感探测器的制作工艺和测试结果。采用集成电路工艺所研制的枕型二维位置敏感探测器(光...  证明了枕型二维位置敏感探测器设计的基本原理———Gear定理,并推导了适用于枕型二维位置敏感探测器的位置计算公式,此外还提出了枕型二维位置敏感探测器的制作工艺和测试结果。采用集成电路工艺所研制的枕型二维位置敏感探测器(光敏面为8 mm×8 mm)表现出良好的光电特性,当反偏为5 V时其暗电流约为15 nA,峰值时的光谱灵敏度超过了0.6 A/W。在所测量的 75%光敏区域内,均方根位置误差约为 0.135 mm,而以均方根位置误差表示的非线性度在1.1%左右,比四边形二维位置敏感探测器的位置线性度提高了近一个数量级。 展开更多
关键词 光学器件 位置敏感探测器 横向光电效应 枕型二维位置敏感探测器
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二维位置敏感探测器及信号处理器 被引量:14
2
作者 施隆照 黄梅珍 +1 位作者 杨小玲 郑明学 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第8期20-22,共3页
介绍一种基于单片机的数字式二维PSD信号处理器的设计、性能和测试结果。与模拟式二维PSD信号处理器相比 ,该处理器具有通用、直观、准确度高、易于实现接口和控制等特点。此外 ,该处理器还根据四边形结构PSD的非线性特征增加了非线性... 介绍一种基于单片机的数字式二维PSD信号处理器的设计、性能和测试结果。与模拟式二维PSD信号处理器相比 ,该处理器具有通用、直观、准确度高、易于实现接口和控制等特点。此外 ,该处理器还根据四边形结构PSD的非线性特征增加了非线性修正功能 ,使四边形结构PSD也具有相当高的线性度和位置测量准确度。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 PSD 信号处理 单片机 模拟式
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枕型二维位敏探测器的结构和性能研究 被引量:21
3
作者 唐九耀 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期735-738,共4页
本文从二维位敏探测器 ( PSD)的结构和性能的比较出发 ,对枕型结构 PSD的性能作了理论上的推导和分析 。
关键词 位敏探测器 横向光电效应 Gear定理
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大面积枕型二维位敏探测器的研制 被引量:2
4
作者 黄烈云 莫彦祎 向勇军 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期211-213,共3页
在简要分析二维位敏探测器工作原理的基础上,详细介绍了一种大面积枕型二维位敏探测器的结构设计和制作工艺。对器件响应度、暗电流、位置分辨率,以及位置线性度等性能参数进行了分析。测试结果显示,器件在峰值波长λp=930nm处的响应度... 在简要分析二维位敏探测器工作原理的基础上,详细介绍了一种大面积枕型二维位敏探测器的结构设计和制作工艺。对器件响应度、暗电流、位置分辨率,以及位置线性度等性能参数进行了分析。测试结果显示,器件在峰值波长λp=930nm处的响应度达0.63A/W,暗电流小于300nA(VR=10V),位置分辨率小于10μm,位置非线性度小于5%。 展开更多
关键词 位敏探测器 大面积 横向光电响应 Gear定理
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改进表面分流型二维PSD传感器及位置检测误差标定的研究 被引量:10
5
作者 袁江 孙玉海 《计量技术》 2004年第4期16-19,共4页
介绍了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路 ,针对传感器位置检测误差大的缺点 ,设计了实验标定系统 ,经修正处理后 ,在传感器A区的位置检测误差 <± 0 0 2mm。
关键词 位置敏感探测器 位置检测误差 标定 PSD传感器 激光准直 光学定位跟踪
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改进表面分流型二维PSD传感器线性度的实验研究
6
作者 袁江 《南通工学院学报(自然科学版)》 2004年第1期35-38,共4页
介绍了日本HAHAMATAU公司改进表面分流型二维PSD传感器S1880及专用信号处理电路C4674,对传 感器线性度进行了大量实验研究。实验结果表明,传感器在A区应用时其非线性度误差≤1%。
关键词 表面分流PSD传感器 线性度 信号处理电路 位置敏感探测器 光电效应
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基于PSD的二维定心激光扫描器摆角测量系统 被引量:3
7
作者 程继伟 巩马理 +3 位作者 贾维溥 刘兴占 闫平 张海涛 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第1期57-60,共4页
介绍了二维定心激光扫描器的工作原理和结构设计,描述了采用光电位置敏感探测器(PSD)实现的二维摆角测量系统,比较了两种不同测量方式的优劣,包括数学模型、计算公式和光学系统构造。给出了PSD信号处理电路框图,设计了消除暗电流和杂散... 介绍了二维定心激光扫描器的工作原理和结构设计,描述了采用光电位置敏感探测器(PSD)实现的二维摆角测量系统,比较了两种不同测量方式的优劣,包括数学模型、计算公式和光学系统构造。给出了PSD信号处理电路框图,设计了消除暗电流和杂散光干扰的采样-保持电路,并对系统位移做了标定。系统可以实现30°圆锥角的大范围二维摆角测量,角分辨率达0.01°,具有实时性强、工作稳定、抗环境干扰能力强等优点。 展开更多
关键词 定心激光扫描器 激光扫描器 位置敏感探测器 角测量 PSD 工作原理
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PSD精密测量中的二维表检索算法 被引量:4
8
作者 易亚星 李忠科 邓方林 《计算机测量与控制》 CSCD 2002年第5期284-285,共2页
根据PSD非线性失真特点,设计出二维表的两种快速检索算法。
关键词 能量重心光斑位置敏感探测器 PS 精密测量 表检索算法
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二维方框形结构PSD有限元分析 被引量:2
9
作者 黄梅珍 黄锦荣 +1 位作者 窦晓鸣 陈钰清 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期382-385,共4页
用有限元方法对二维方框形结构位置敏感探测器(position sensitive detector简称PSD)进行了计算和分析,讨论了结构参数、负载等对位置线性度的影响。得到的结论是:光敏区方块电阻与单位长度边框线电阻的比值ν决定了PSD的线性度,ν越大... 用有限元方法对二维方框形结构位置敏感探测器(position sensitive detector简称PSD)进行了计算和分析,讨论了结构参数、负载等对位置线性度的影响。得到的结论是:光敏区方块电阻与单位长度边框线电阻的比值ν决定了PSD的线性度,ν越大,器件的线性越好,比较适当的取值范围是1 0 <ν<2 0 ,PSD位置换算式中系数k的最佳取值不一定为器件长度之半,负载电阻的存在将导致附加位置误差。 展开更多
关键词 PSD 有限元分析 方框 位置敏感探测器 有限元方法 结构参数 单位长度 方块电阻 取值范围 位置误差 负载电阻 线性度 线电阻 光敏区 换算式 器件
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枕型PSD动态响应特性研究 被引量:3
10
作者 尚鸿雁 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第3期34-36,共3页
建立了S1880枕型位置敏感探测器(PSD)的有限元仿真模型,并对其动态响应特性进行了仿真,得到了3个扫描速度下的动态响应误差曲线,通过分析得出结论:PSD产生的动态响应误差随着扫描速度的增大而增大,在光敏面中心线上沿x轴方向匀速直线扫... 建立了S1880枕型位置敏感探测器(PSD)的有限元仿真模型,并对其动态响应特性进行了仿真,得到了3个扫描速度下的动态响应误差曲线,通过分析得出结论:PSD产生的动态响应误差随着扫描速度的增大而增大,在光敏面中心线上沿x轴方向匀速直线扫描时,PSD的动态响应误差最大值之比近似等于相应的光源扫描速度之比。仿真结果对枕型PSD的实际工程应用具有一定实用价值。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 有限元 动态响应特性 响应误差
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基于模糊神经网络的二维PSD非线性修正算法 被引量:3
11
作者 徐聪 佃松宜 杨杰超 《电子测量技术》 2017年第2期50-54,共5页
为了减小二维位置敏感探测器(2D-PSD)的非线性误差,研究了一种基于模糊神经网络的2D-PSD非线性修正算法。基于调制光源法采集到2D-PSD光敏面上可靠的光点位置信号后,采用T-S型模糊神经网络近似表示光点位置信号与光点位置坐标之间的映射... 为了减小二维位置敏感探测器(2D-PSD)的非线性误差,研究了一种基于模糊神经网络的2D-PSD非线性修正算法。基于调制光源法采集到2D-PSD光敏面上可靠的光点位置信号后,采用T-S型模糊神经网络近似表示光点位置信号与光点位置坐标之间的映射,将该映射嵌入到ARM处理器中实现2D-PSD的在线修正计算。采用该模糊神经网络非线性修正算法后,2D-PSD的非线性误差从±0.4mm减小到±0.15mm,实验结果表明基于模糊神经网络非线性修正算法对有效性。 展开更多
关键词 模糊神经网络 位置敏感探测器 非线性修正算法 调制光源法 ARM处理器
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光点位置测试装置
12
作者 苗静 《西安工业大学学报》 CAS 2007年第4期400-400,共1页
光点位置测试装置是由西安工业大学研制的,采用二维位敏探测器(PSD)作为测试元件,探测光点重心位置坐标的一套高精度光电测试设备.可根据PSD传感器芯片的大小,合理地选择光学镜头,可以在50mm×50mm到1000mm+1000mm的范围之... 光点位置测试装置是由西安工业大学研制的,采用二维位敏探测器(PSD)作为测试元件,探测光点重心位置坐标的一套高精度光电测试设备.可根据PSD传感器芯片的大小,合理地选择光学镜头,可以在50mm×50mm到1000mm+1000mm的范围之间探测光点重心.精度可以达到±25μm.PSD是一种新型的半导体位置敏感探测器,它除了具有光电二极管阵列和电荷耦合器件(CCD)器件所具有的定位性能外,还具有灵敏度高、分辨率高、响应速度快、电路简单的特点. 展开更多
关键词 位置坐标 测试装置 光点 位敏探测器 光电极管阵列 电荷耦合器件 位置敏感探测器 传感器芯片
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二维PSD的结构和性能分析 被引量:17
13
作者 唐九耀 黄梅珍 陈钰清 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第3期301-304,共4页
从二维PSD的结构和性能的比较出发,对枕型结构PSD的性能作了理论上的推导和分析,由此得到的结论和现有的实验结果相符。
关键词 PSD 横向光电效应 Gear定理 位置敏感探测器
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基于全光纤相干层析系统快速扫描探头的研制 被引量:3
14
作者 梁燕 刘铁根 +3 位作者 王佳佳 孟卓 兰寿锋 姚晓天 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1233-1236,共4页
提出并实现了应用于光学相干层析系统(OCT)的快速扫描探头结构。该探头利用带有自聚焦透镜的光纤悬臂的共振特性,通过对压电双晶片施加共振频率下的方波电压,实现光纤悬臂的一维线性扫描。利用二维位置敏感探测器,同步记录扫描轨迹。通... 提出并实现了应用于光学相干层析系统(OCT)的快速扫描探头结构。该探头利用带有自聚焦透镜的光纤悬臂的共振特性,通过对压电双晶片施加共振频率下的方波电压,实现光纤悬臂的一维线性扫描。利用二维位置敏感探测器,同步记录扫描轨迹。通过软件对光纤延迟线的非线性进行校正。并将扫描探头应用于OCT系统中的玻片实验,获得清晰玻片的二维图像。该探头具有结构简单、易于控制、成本较低、精度较高、速度较快等优点。 展开更多
关键词 光学相干层析 压电双晶片 自聚焦透镜 位置敏感探测器(PSD)
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基于PSD的轴系对中测试系统非线性校正方法研究 被引量:4
15
作者 李博 高艺 +1 位作者 曹国华 柳常清 《机电工程》 CAS 2013年第3期300-302,310,共4页
针对轴系对中测试系统的核心器件—位置敏感探测器(PSD)存在较大非线性误差、PSD输出坐标不能正确反映入射光点实际位置的问题,为提高对中的测试精度,设计了基于PI微位移平台的在线校定装置,提出了基于BP神经网络的非线性校正算法,进行... 针对轴系对中测试系统的核心器件—位置敏感探测器(PSD)存在较大非线性误差、PSD输出坐标不能正确反映入射光点实际位置的问题,为提高对中的测试精度,设计了基于PI微位移平台的在线校定装置,提出了基于BP神经网络的非线性校正算法,进行了数据采集和非线性校正实验,并对采集数据和校正后数据分别进行了Matlab仿真分析。研究结果表明,基于BP神经网络的算法实用高效,采用该算法校正后的PSD线性度误差均低于3.9μm,极大地减少了非线性的影响,使得B区的线性度和数据置信度得到了大幅改善,在不增加成本和设备复杂度的前提下,有效提高了整个对中系统的精度。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 非线性校正 人工神经网络 微位移平台
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一种具有多测量方法的双光束激光对中仪的研制
16
作者 马喜来 康戈文 《自动化信息》 2005年第5期17-19,共3页
介绍一种基于激光发射器和二维位置敏感探测器PSD的双光束激光对中仪的组成结构,给出对中仪3种测量原理,并由计算机计算测量结果。此激光对中仪既具有传统的4点法测量功能.又具有传统测量法所不能实现的2点、任意多点测量功能,具有... 介绍一种基于激光发射器和二维位置敏感探测器PSD的双光束激光对中仪的组成结构,给出对中仪3种测量原理,并由计算机计算测量结果。此激光对中仪既具有传统的4点法测量功能.又具有传统测量法所不能实现的2点、任意多点测量功能,具有更强的适用性。采用高精度PSD传感器,位置分辨率达到1.5μm。 展开更多
关键词 激光发射器 位置敏感探测器 双光束激光对中仪 测量方法 测量原理
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2-dimention Imaging Delay-line MCP-detect or for Ion-molecule Studies 被引量:1
17
作者 Zhu Xiaolong, Sha Shan, Ma Xinwen, Liu Huiping and Wang Zhenglin 《近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版》 2002年第1期109-109,共1页
In conventional ion-atom collision experimental investigations, the fragments produced in the reaction are projected to a simple detector by static electric field. This technique only gives time-of-flight of the fragm... In conventional ion-atom collision experimental investigations, the fragments produced in the reaction are projected to a simple detector by static electric field. This technique only gives time-of-flight of the fragments, consequently one obtains only one-dimension information of the fragment. In order to investigate the complete dynamics of ion-molecule collisions, it is necessary to develop a position-sensitive multi-hit detector system. The position information was obtained by using the wedge-and-strip anode with very good resolution. 展开更多
关键词 离子-分子碰撞 成像延迟线探测器 离子-原子碰撞 多体碰撞位置敏感探测系统
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