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样品高度对XPS测试的影响 被引量:2
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作者 章小余 赵志娟 刘芬 《分析测试技术与仪器》 CAS 2013年第4期244-246,共3页
采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时,如果样品高度选择不好,会导致测得的光电子峰强度降低.而对于一些电子结合能较高的元素,其光电子峰会变宽,有时出现双峰.分析了该现象的原因是X射线光斑、电子中和枪中和区域以及光电子... 采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时,如果样品高度选择不好,会导致测得的光电子峰强度降低.而对于一些电子结合能较高的元素,其光电子峰会变宽,有时出现双峰.分析了该现象的原因是X射线光斑、电子中和枪中和区域以及光电子能量接收区域没有聚焦于同一点. 展开更多
关键词 样品高度 Al靶微聚焦单色器 X射线光电子能谱
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单原子台阶高度样品制备技术研究
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作者 李静 《计量与测试技术》 2024年第10期83-84,88,共3页
超大规模集成电路的台阶高度是集成芯片设计、研发和生产中的一个重要参数。其高度参数的快速精确测量是确保芯片质量、提高生产效率的重要手段。原子力显微镜(AFM)是一种具有原子级分辨率的常用新型显微测量工具,被广泛应用于纳米技术... 超大规模集成电路的台阶高度是集成芯片设计、研发和生产中的一个重要参数。其高度参数的快速精确测量是确保芯片质量、提高生产效率的重要手段。原子力显微镜(AFM)是一种具有原子级分辨率的常用新型显微测量工具,被广泛应用于纳米技术领域。由于原子台阶高度标准物质的研制可将其量值溯源至国际单位制单位,因此,研制单原子台阶高度样品,对确保该类测量仪器的量值的准确性和可靠性具有重要的意义。 展开更多
关键词 原子台阶 高度样品 制备方法 研究
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基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置
3
作者 李晓军 孙洁林 +1 位作者 胡钧 李民乾 《科技开发动态》 2004年第4期45-45,共1页
关键词 原子力显微镜 测量 样品高度 装置 函数发生器
原文传递
纳米高度标准样品的制备与标定
4
作者 周毅 周艳霞 +1 位作者 李伟 熊健 《广州化工》 CAS 2014年第15期89-91,121,共4页
研究以金属Cr为例进行。采用射频磁控溅射法,在Si/SiO2及玻璃基底上溅射制备了不同参数的Cr薄膜,研究了不同溅射功率、沉积气压、靶基距等参数对Cr膜的影响,以满足纳米台阶高度标准样品的制备需要,为标样的化学稳定性提供了保障。
关键词 纳米高度标准样品 Cr薄膜 平整度 磁控溅射
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XRD实验中样品台高度对测定晶格常数的影响 被引量:2
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作者 王弘德 孙莹 +1 位作者 袁秀良 安世海 《大学物理》 2022年第9期28-31,62,共5页
X射线衍射(XRD)实验是分析物质结构的重要手段,在物理学相关专业的教学中逐渐受到重视.本文对样品台高度变化Δz引起的测量误差进行了系统分析,发现样品台高度偏移Δz会使衍射峰位产生明显偏差Δ2θ,进而引起晶面间距和晶格常数的计算偏... X射线衍射(XRD)实验是分析物质结构的重要手段,在物理学相关专业的教学中逐渐受到重视.本文对样品台高度变化Δz引起的测量误差进行了系统分析,发现样品台高度偏移Δz会使衍射峰位产生明显偏差Δ2θ,进而引起晶面间距和晶格常数的计算偏差.数据拟合结果表明Si样品晶面间距偏差Δd/d和晶格常数偏差Δa/a与Δz近似线性相关.本文结合Bragg-Brentano衍射几何,对上述实验结果进行了理论分析.本文对XRD实验精确测定晶格常数提供了参考依据,也将为相关教学工作开展提供重要参考. 展开更多
关键词 X射线衍射 样品高度 晶格常数
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金相样品制备和分析中的技巧及方法 被引量:18
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作者 魏建忠 王国红 宗斌 《理化检验(物理分册)》 CAS 2006年第3期154-156,共3页
介绍了一般金相样品制备过程中样品高度对制样过程的影响,以及特殊的镶嵌技巧;同时涉及了镧镍储氢材料样品制备的方法、技巧及效果,以及微差干涉技术在无铅钎料研究中的实际应用。
关键词 样品高度 镶嵌 储氢材料 微差干涉技术(DIC)
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猪血和鸭血豆腐质构分析(TPA)几种测试条件的确定 被引量:14
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作者 李翔 《西南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2015年第11期36-42,共7页
为确定猪血豆腐和鸭血豆腐的质构(TPA)测试条件,该实验采用美国Brookfiled公司的CT3型质构仪,分析两种血豆腐样品高度、压缩形变量以及压缩速率对测试结果的影响.结果表明:猪血豆腐质构在10mm高度时发生破坏,两种血豆腐在20mm处各指标... 为确定猪血豆腐和鸭血豆腐的质构(TPA)测试条件,该实验采用美国Brookfiled公司的CT3型质构仪,分析两种血豆腐样品高度、压缩形变量以及压缩速率对测试结果的影响.结果表明:猪血豆腐质构在10mm高度时发生破坏,两种血豆腐在20mm处各指标的精确度均优于15mm;压缩程度对测试结果影响显著,40%的压缩程度为适宜条件;压缩速率对测试结果无显著影响.最终确定样品高度为20mm,压缩程度为40%,压缩速率为3mm/s. 展开更多
关键词 猪血豆腐 鸭血豆腐 质构分析(TPA) 样品高度 压缩程度 压缩速率
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