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紫外纳米压印模板表面修饰工艺研究
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作者 朱兆颖 顾长庚 +1 位作者 乌建中 刘彦伯 《机电一体化》 2007年第2期39-42,共4页
研究紫外纳米压印技术的模板表面修饰工艺,对经过表面修饰的模板与未经修饰的模板得到的不同压印结果,通过大量实验进行对比分析,验证模板表面修饰工艺是有效控制压印结果,确保压印复型精度的关键。
关键词 紫外纳米压印技术 模板表面修饰工艺 抗粘连层 集成电路
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