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题名纳米压印技术
被引量：12
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作者
孙洪文
刘景全
陈迪
顾盼
杨春生
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机构
上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室
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出处
《电子工艺技术》
2004年第3期93-98,共6页
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基金
上海市科委纳米专项资助(No.0352nm010)。
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文摘
传统光学光刻技术的高成本促使科学家去开发新的非光学方法,以取代集成电路工厂目前所用的工艺。另外,微机电系统(MEMS)的成功启发科学家借用MEMS中的相关技术,将其使用到纳米科技中去,这是得到纳米结构的一种有效途经。纳米压印在过去的几年里受到了高度重视,因为它成功地证明了它有成本低、分辨率高的潜力。纳米压印技术主要包括热压印、紫外压印(含步进—闪光压印)和微接触印刷等。本文详细讨论纳米压印材料的制备及常用的三种工艺的工艺步骤和它们各自的优缺点。并对这三种工艺进行了比较。最后列举了一些典型应用,如微镜、金属氧化物半导体场效应管、光栅等。
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关键词
纳米压印
热压印
紫外压印
步进-闪光压印
微接触印刷
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Keywords
Nanoimprint lithography(NIL)
Hot embossing lithography(HEL)
Ultraviolet nanoimprint lithography (UV-NIL)
Step and flash imprint lithography(s-fil)
Microcontact printing (μCP)
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名紫外纳米压印技术的研究进展
被引量：7
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作者
殷敏琪
孙洪文
王海滨
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机构
河海大学物联网工程学院
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2017年第5期347-354,共8页
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基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2015B22514)
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文摘
传统的紫外纳米压印(UV-NIL)虽然不受曝光波长的限制,但是存在气泡残留、压印不均匀、模具寿命短等问题。为解决这些问题产生了各种新型UV-NIL工艺,针对这些工艺阐述了紫外纳米压印技术工艺要素的最新研究进展,包括模具、光刻胶的材料与制备技术的现状,并列举了步进-闪光压印光刻(S-FIL)、卷对卷式紫外纳米压印光刻(R2R-NIL)等工艺的流程及其特点。紫外纳米压印的图形质量目前仍受光刻胶填充、固化、脱模等物理行为影响。结合最近的实验研究,从理论方面概述了紫外纳米压印的基本原理,主要指出了光刻胶流动行为以及模具降解等问题。最后介绍了一些紫外纳米压印技术的尖端应用。
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关键词
紫外纳米压印光刻(UV-NIL)
抗蚀剂
热压印光刻(T-NIL)
步进-闪光压印光刻(s-fil)
卷对卷纳米压印光刻(R2R-NIL)
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Keywords
UV nanoimprint lithography（UV-NIL）
resist
thermal nanoimprint lithography（T-NIL）
step and flash imprint lithography（s-fil）
roll-to-roll nanoimprint lithography（R2R-NIL）
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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