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基于元学习的气体放电等离子体电子Boltzmann方程数值求解 被引量：2
1
作者 仲林林 吴冰钰 吴奇 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期3457-3466,共10页
在气体放电等离子体中,电子的输运行为可由Boltzmann方程精确描述,该方程的解是许多等离子体仿真模型的基础。物理信息神经网络作为一种求解Boltzmann方程的新型方法,虽克服了传统数值方法网格剖分和方程离散的缺陷,但其参数空间规模大... 在气体放电等离子体中,电子的输运行为可由Boltzmann方程精确描述,该方程的解是许多等离子体仿真模型的基础。物理信息神经网络作为一种求解Boltzmann方程的新型方法,虽克服了传统数值方法网格剖分和方程离散的缺陷,但其参数空间规模大,在求解多任务时训练效率较低。为此,该文构建了一种基于元学习的双循环物理信息神经网络,在内循环中对多个Boltzmann方程求解任务进行优化训练,得到各任务优化后的元损失函数,用于在外循环中进行网络参数更新,从而提高网络在求解新任务时的计算效率。计算结果表明,基于元学习的双循环物理信息神经网络在求解新的Boltzmann方程时,网络损失函数值和L2误差值的下降速度均显著快于普通的物理信息神经网络。此外,该文还研究了网络容量和内循环迭代次数对Boltzmann方程多任务求解效率的影响,结果显示计算效率并不随网络容量的增大而提高,且受内循环迭代次数影响较小。 展开更多
关键词 气体放电等离子体 BOLTZMANN方程 元学习 物理信息神经网络
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大气压气体放电等离子体流动控制概述 被引量：1
2
作者 齐晓华 雷济宇 +2 位作者 王海燕 金鸽 史冬梅 《渤海大学学报（自然科学版）》 CAS 2018年第1期31-39,共9页
等离子体与固体、液体、气体一样,是物质的一种存在形态,也被称之为物质的第四态.首先简要介绍了气体放电等离子体的基本特性、等离子体在空间中的广泛存在状态、等离子体的划分方法、产生方法以及气体放电等离子体研究的发展历程;其次... 等离子体与固体、液体、气体一样,是物质的一种存在形态,也被称之为物质的第四态.首先简要介绍了气体放电等离子体的基本特性、等离子体在空间中的广泛存在状态、等离子体的划分方法、产生方法以及气体放电等离子体研究的发展历程;其次进一步介绍了流动控制技术在航空航天领域的重要性、流动控制技术的分类、主动流动控制的技术优势以及流动控制技术的作用机理等;然后着重介绍了大气压气体放电等离子体流动控制技术在国内外的发展现状,并主要介绍了大气压介质阻挡放电等离子体流动控制技术的技术优势及其在流动控制领域中的研究现状;最后文章对大气压介质阻挡放电等离子体流动控制领域的研究工作进行了展望. 展开更多
关键词 气体放电等离子体 流动控制 大气压介质阻挡放电
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气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展
3
作者 赵红军 李昊罡 +1 位作者 颜亮 李川 《微型机与应用》 2016年第9期8-11,共4页
极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用。极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展。气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具... 极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用。极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展。气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备良好的应用前景。现有气体放电等离子体光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源、激光辅助等离子体极紫外光源、等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源等。近年来,极紫外光光刻技术工业化进展较快,该文对气体放电等离子体技术做了综述,掌握最新研究进展有助于推动我国相关领域研究。 展开更多
关键词 极紫外光源 气体放电等离子体 毛细管放电 激光辅助放电 等离子体聚焦 中空阴极触发等离子体箍缩
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气体放电等离子体中多重随机共振实验及数值研究
4
作者 王毅 刘万东 +4 位作者 杨洪波 郑坚 谢锦林 周静 俞昌旋 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期31-35,共5页
在气体放电等离子体随机共振实验中观察到了信噪比随噪声强度出现多次共振的现象。这种现象与动力学系统的多稳性质相关。通过对多稳动力学系统随机共振的数值模拟,获得了与实验现象类似的随机共振曲线。
关键词 气体放电等离子体 数值模拟 多重随机共振 实验研究
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大气压直流电晕放电等离子体激励器在气流控制领域中的应用概述
5
作者 齐晓华 雷济宇 史冬梅 《渤海大学学报（自然科学版）》 CAS 2020年第2期141-148,共8页
近些年,气流主动流动控制是一个快速发展的课题,特别是在航空学方面具有极其重要的应用.在所有的气流主动流动控制方法中,非热等离子体激励器基于其系统的简单性、低功耗、具有高频实时控制能力等技术优点获得了广泛的研究.本文将综述... 近些年,气流主动流动控制是一个快速发展的课题,特别是在航空学方面具有极其重要的应用.在所有的气流主动流动控制方法中,非热等离子体激励器基于其系统的简单性、低功耗、具有高频实时控制能力等技术优点获得了广泛的研究.本文将综述介绍直流电晕放电等离子体在气流控制领域的发展.首先简要介绍直流电晕放电的物理特性及发展历程,其次着重介绍几种典型的直流电晕放电等离子体激励器的结构,然后重点介绍直流电晕放电的电特性和机械特性,最后总结了文献中关于直流电晕放电的主要研究成果.目的是能够更好地了解直流电晕放电等离子体激励器的机械作用,以便今后有针对性地优化激励器的结构,从而能够更加有效地进行气流流动控制. 展开更多
关键词 气体放电等离子体 流动控制 直流电晕放电
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废水处理用等离子体窄脉冲电源的研制 被引量：6
6
作者 张祥龙 王毅 +1 位作者 胡小吐 田付强 《北京交通大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期69-73,共5页
主要论述了一种气体放电等离子体窄脉冲电源装置的构成及工作性能;尤其对自行研制的核心部件八电极旋转火花隙开关(RSGS)的大小,尺寸结构进行了说明.分析了电源主电路工作原理,对电路的动态工作进行数学建模和解析求解,为电源设计和元... 主要论述了一种气体放电等离子体窄脉冲电源装置的构成及工作性能;尤其对自行研制的核心部件八电极旋转火花隙开关(RSGS)的大小,尺寸结构进行了说明.分析了电源主电路工作原理,对电路的动态工作进行数学建模和解析求解,为电源设计和元件参数选取提供了依据.通过此套电源所产生出的高压脉冲波形,具有上升沿小于100 ns,脉宽不大于1μs,脉冲频率可调,脉冲功率大等特点.通过实验表明,该电源应用于产生等离子体进行废水净化等领域,具有良好的降解效果. 展开更多
关键词 窄脉冲电源 气体放电等离子体 高电压 旋转火花隙开关 废水处理
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极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究进展 被引量：1
7
作者 曾交龙 高城 袁建民 《物理》 CAS 北大核心 2007年第7期537-542,共6页
现代技术的飞速发展需要集成电路不断小型化,因而开发下一代光刻光源以满足小型化的要求成为当前的一项紧迫任务。目前工业界确定的下一代光刻光源是波长为13.5nm的极端远紫外(EUV)光源,它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸,氙和... 现代技术的飞速发展需要集成电路不断小型化,因而开发下一代光刻光源以满足小型化的要求成为当前的一项紧迫任务。目前工业界确定的下一代光刻光源是波长为13.5nm的极端远紫外(EUV)光源,它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸,氙和锑材料的等离子体光源被认为是这种光源的最佳候选者。文章在介绍EUV光刻原理和EUV光源基本概念的基础上,讨论了目前研究得最多、技术最成熟的激光产生的和气体放电产生的等离子体EUV光源,对EUV光源的初步应用进行了简单介绍,并着重对氙和锑材料产生的等离子体发射性质和吸收性质的实验与理论研究进展进行了详细介绍与讨论。目前的理论研究进展表明,统计物理模型还不能很好地预测氙和锑等离子体的发射与吸收光谱,因此迫切需要发展细致能级物理模型,以得到更为精确的等离子体光学性质参数,并用于指导实验设计,提高EUV转换效率。 展开更多
关键词 极端远紫外光刻(EUVL) EUV光源 激光、气体放电产生的等离子体EUV光源 EUV光源的发射与吸收性质
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基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究
8
作者 张良乐 韩晓泉 +5 位作者 谢婉露 吴晓斌 方旭晨 高梓翔 沙鹏飞 王魁波 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期196-202,共7页
基于使用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置,分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响,提出了一种能量归一化的反射率测试方法,并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结... 基于使用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置,分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响,提出了一种能量归一化的反射率测试方法,并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结果表明:在相同光源参数下,SXUV100型探测器的极紫外能量探测性能优于AXUV100G型;通过归一化使光能量波动对反射率测试光束的波动误差从6.2%降低到0.64%,多层膜反射镜的峰值反射率的测量重复性从4.34%提高到0.69%,与国外同等实验装置精度相当,实现了高精度反射率测试,可为极紫外光刻机的光学元件提供反射率测试。 展开更多
关键词 极紫外 气体放电等离子体光源 反射率 能量探测 归一化
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晶质石墨纯化技术研究现状与展望 被引量：9
9
作者 李金懋 宋春莲 +2 位作者 俞哲 路丹丹 程月 《炭素技术》 CAS 北大核心 2021年第6期15-19,共5页
综述了晶质石墨提纯技术的发展现状,讨论了湿法提纯法与火法提纯法的原理、技术特点和优缺点,指出利用低耗节能设备与环保无毒药剂对晶质石墨预处理,后续采用气体放电与放电等离子体技术对其进一步纯化是晶质石墨提纯、制备高纯石墨的... 综述了晶质石墨提纯技术的发展现状,讨论了湿法提纯法与火法提纯法的原理、技术特点和优缺点,指出利用低耗节能设备与环保无毒药剂对晶质石墨预处理,后续采用气体放电与放电等离子体技术对其进一步纯化是晶质石墨提纯、制备高纯石墨的有效技术途径之一。 展开更多
关键词 晶质石墨 提纯技术 湿法提纯法 火法提纯法 气体放电与等离子体技术
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