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题名热交换法中氦气循环利用的装置和方法研究
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作者
秦俊
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机构
江苏吉星新材料有限公司
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出处
《山西化工》
CAS
2024年第2期120-121,137,共3页
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文摘
可用于LED衬底的材料主要有硅、碳化硅、蓝宝石、氮化镓等。由于硅单晶和氮化镓晶格匹配太差无法商业化应用;碳化硅单晶成本价格较高,目前市价约是蓝宝石晶体的5倍以上;氮化镓单晶制备更困难,虽然同质外延质量最好,但价格是蓝宝石晶体的数百倍。综上所述,预计未来30年内,蓝宝石单晶还是LED衬底材料的理想选择。目前,蓝宝石的生长方法主要有提拉法(Cz)、导模法(EFG)、泡生法(Ky)、热交换法(HEM)等。本文介绍了各种蓝宝石长晶方法,并对其优缺点进行了分析。通过分析热交换法在生长大尺寸无缺陷晶体具有明显优势,结合热交换法原理开发了氦气管道,为降低热交换法生长蓝宝石成本提供了一种可行装置和方法。
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关键词
蓝宝石生长
热交换法
氦气循环利用装置
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Keywords
sapphire growth
heat exchange method
helium gas recycling device
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分类号
O78
[理学—晶体学]
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