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微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定氧化铟锡靶材中13种痕量杂质元素 被引量:4
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作者 墨淑敏 王长华 +1 位作者 李娜 邱长丹 《冶金分析》 CAS 北大核心 2019年第4期15-19,共5页
氧化铟锡中杂质元素的含量是衡量其产品性能的重要参数。采用盐酸以微波消解法处理样品,以Cs为内标,氩气模式下测定^(24 )Mg、^(27 )Al、^(52)Cr、^(58 )Ni、^(63)Cu、^(64)Zn、^(90)Zr、^(208)Pb、^(205 )Tl、^(111 )Cd,氢气碰撞反应... 氧化铟锡中杂质元素的含量是衡量其产品性能的重要参数。采用盐酸以微波消解法处理样品,以Cs为内标,氩气模式下测定^(24 )Mg、^(27 )Al、^(52)Cr、^(58 )Ni、^(63)Cu、^(64)Zn、^(90)Zr、^(208)Pb、^(205 )Tl、^(111 )Cd,氢气碰撞反应池模式测定^(28)Si、^(40)Ca、^(56)Fe,实现了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)对氧化铟锡靶材(ITO)中镁、铝、硅、钙、铬、铁、铜、镍、锌、锆、镉、铅、铊等13种痕量杂质元素的测定。实验表明,当氧化铟锡基体质量浓度为1.00mg/mL时,基体效应可忽略;13种杂质元素在1.0~100ng/mL范围内线性良好,线性相关系数均大于0.9990。方法检出限为0.002~0.15μg/g,测定下限为0.007~0.50μg/g。将方法应用于氧化铟锡靶材样品中13种痕量杂质元素的分析,相对标准偏差(RSD,n=7)均小于5%,加标回收率为88%~114%。采用实验方法对氧化铟锡靶材样品进行分析,并与电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)进行比对,二者测定值基本一致。 展开更多
关键词 微波消解 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) 氧化铟锡靶材 杂质元素
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微波消解-电感耦合等离子体原子发射光谱法测定氧化铟锡靶材中11种痕量杂质元素 被引量:3
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作者 王志萍 孙洪涛 王巧 《冶金分析》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期60-65,共6页
使用盐酸并采用微波消解处理样品,选择Fe 238.204nm、Ca 317.933nm、Mg285.213nm、Al 396.152nm、Cd 214.438nm、Cr 267.716nm、Cu 324.754nm、Ni 221.647nm、Pb220.353nm、Si 251.611nm、Tl 190.856nm为分析谱线,采用基体匹配法绘制校... 使用盐酸并采用微波消解处理样品,选择Fe 238.204nm、Ca 317.933nm、Mg285.213nm、Al 396.152nm、Cd 214.438nm、Cr 267.716nm、Cu 324.754nm、Ni 221.647nm、Pb220.353nm、Si 251.611nm、Tl 190.856nm为分析谱线,采用基体匹配法绘制校准曲线消除基体效应的影响,使用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)同时测定铁、钙、镁、铝、镉、铬、铜、镍、铅、硅、铊,从而建立了氧化铟锡靶材中铁、钙、镁、铝、镉、铬、铜、镍、铅、硅、铊等痕量杂质元素的分析方法。各元素校准曲线线性相关系数均大于0.999 5;方法中各元素的测定下限为0.30~1.78μg/g。按照实验方法测定2个氧化铟锡靶材样品中铁、钙、镁、铝、镉、铬、铜、镍、铅、硅、铊,结果的相对标准偏差(RSD,n=11)为1.1%~8.2%,加标回收率为92%~108%。 展开更多
关键词 微波消解 电感耦合等离子体原子发射光谱法 氧化铟锡靶材 痕量杂质元素
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某液晶显示器生产企业接触氧化铟锡靶材岗位职业病危害调查 被引量:1
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作者 吴传栋 方四新 +1 位作者 张家祥 朱启星 《职业卫生与应急救援》 2023年第3期287-290,295,共5页
目的了解液晶显示器生产企业接触氧化铟锡(indium tin oxide,ITO)靶材岗位职业病危害现状及相关从业人员的健康状况,以控制或消除职业病危害,保护劳动者健康。方法对安徽某液晶显示器生产企业进行现场调查,回顾性分析该企业2020年的职... 目的了解液晶显示器生产企业接触氧化铟锡(indium tin oxide,ITO)靶材岗位职业病危害现状及相关从业人员的健康状况,以控制或消除职业病危害,保护劳动者健康。方法对安徽某液晶显示器生产企业进行现场调查,回顾性分析该企业2020年的职业病危害因素检测资料、职业病防护设施等情况;选取2019年接触ITO靶材的123人作为接触组,选取上岗前体检的238名不曾接触任何职业病危害因素的员工作为对照组,比较两组人员体检结果。结果该公司生产过程中,接触ITO靶材岗位为阵列工序的溅射岗、干刻岗,彩膜工序的溅射岗,3个岗位生产运行中可能存在噪声、铟及其化合物粉尘以及金属粉尘等多种有害因素。经现场检测,职业病危害因素检测结果均未超过国家职业接触限值;2019年相关岗位未发现疑似职业病,发现职业禁忌证1名;与对照组相比,接触ITO靶材岗位从业人员肺功能、转氨酶、舒张压、血糖、血尿酸、腹部彩超、脂肪肝、肝内钙化、胆结石、前列腺钙化等异常检出率更高(P<0.05)。结论该液晶显示器生产企业职业卫生工作总体较好,但接触ITO靶材岗位工人仍表现出较高的体检异常结果。接触ITO靶材岗位工人应做好针对噪声和粉尘的防护;企业应做好工人健康教育工作。 展开更多
关键词 液晶显示器 职业病危害因素 职业健康监护 氧化铟锡靶材 ITO 铟及其化合物
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高密度氧化铟锡(ITO)靶材制备工艺的研究进展 被引量:13
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作者 王松 谢明 +2 位作者 王塞北 杨云峰 付作鑫 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2013年第1期207-210,220,共5页
ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一。综合评述了高密度ITO靶材的研究现状。介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共沉淀法、金属醇盐水解法、水热合成法等以及ITO靶材的制备工... ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一。综合评述了高密度ITO靶材的研究现状。介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共沉淀法、金属醇盐水解法、水热合成法等以及ITO靶材的制备工艺。比较和分析了ITO粉体和靶材各制备工艺的优缺点。最后提出了制备高品质ITO靶材的研究方向。 展开更多
关键词 氧化铟锡靶材 高密度 制备
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碘量法测定铟锡氧化物靶材废料中锡 被引量:7
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作者 何小虎 周素莲 +1 位作者 韦莉 黎羿合 《冶金分析》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期65-69,共5页
提出了一种测定铟锡氧化物(ITO)靶材废料中锡量的分析方法,并对ITO靶材废料样品的分解方法、还原酸度的范围、基体和共存元素的干扰进行了探讨。结果表明:采用过氧化钠熔融分解样品,以铁粉还原、过滤分离部分共存元素,还原酸度(V... 提出了一种测定铟锡氧化物(ITO)靶材废料中锡量的分析方法,并对ITO靶材废料样品的分解方法、还原酸度的范围、基体和共存元素的干扰进行了探讨。结果表明:采用过氧化钠熔融分解样品,以铁粉还原、过滤分离部分共存元素,还原酸度(V/V)控制在359/6~50%,在保护气氛下,用铝片将锡还原为二价锡,以淀粉为指示剂,碘量法测定锡时,效果较佳。采用方法对国内外6个ITO靶材废料代表试样进行分析,结果与电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP—AES)吻合,10次平行测定的相对标准偏差(RSD)为0.29%~1.5%,加标回收率在99%~100%之间。 展开更多
关键词 铟锡氧化物(ITO)废料 碘量法
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EDTA滴定法测定废铟锡氧化物靶材中铟 被引量:15
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作者 吴文启 黄煦 +1 位作者 李奋 廖红梅 《冶金分析》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期37-40,共4页
提出了一种测定废铟锡氧化物(ITO)靶材中大量铟的方法。方法包括用盐酸溶样、盐酸-氢溴酸混合酸加热除锡,阳离子交换树脂分离杂质元素,最后用EDTA作滴定剂在PH2.3~2.5溶液中滴定铟。与铟共存的铁、锰、镁、铬、钙、锆、铪、钪、... 提出了一种测定废铟锡氧化物(ITO)靶材中大量铟的方法。方法包括用盐酸溶样、盐酸-氢溴酸混合酸加热除锡,阳离子交换树脂分离杂质元素,最后用EDTA作滴定剂在PH2.3~2.5溶液中滴定铟。与铟共存的铁、锰、镁、铬、钙、锆、铪、钪、钨、硅、铈,经离子交换树分离后对测定没有影响,大量锡经盐酸-氢溴酸混合酸加热后已除去,溶液中残留锡可用冰醋酸掩蔽。铋不能被离子交换分离,对测定有干扰。方法用于ITO靶材中铟的测定,相对标准偏差为0.15%,回收率在99.8%~100.2%之间。 展开更多
关键词 铟锡氧化 离子交换分离 滴定法 测定
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ITO靶材黑化物的X射线光电子能谱研究 被引量:8
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作者 刘黎明 杨培志 莫镜辉 《光学与光电技术》 2009年第5期84-86,共3页
利用X射线光电子能谱(XPS)分析了ITO靶材黑化物的化学组成,结果表明黑化物由In、Sn、O和C组成,相对原子百分含量In为34.35%,Sn为2.74%,O为52.65%,C为10.26%;In、Sn处于亚氧化状态;C有部分氧化。与原始靶材相比,黑化物的元素组成和化学... 利用X射线光电子能谱(XPS)分析了ITO靶材黑化物的化学组成,结果表明黑化物由In、Sn、O和C组成,相对原子百分含量In为34.35%,Sn为2.74%,O为52.65%,C为10.26%;In、Sn处于亚氧化状态;C有部分氧化。与原始靶材相比,黑化物的元素组成和化学状态发生了明显的变化。择优溅射最可能引起成分比例失常,真空残余的含C气体和泵油蒸汽被认为是污染C的直接来源。 展开更多
关键词 氧化铟锡靶材 黑化物 X射线光电子能谱
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ITO靶材的研究与发展 被引量:10
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作者 阮进 陈敬超 +1 位作者 于杰 杜晔平 《电工材料》 CAS 2008年第2期35-37,42,共4页
简要介绍了铟(In)的用途及国内铟产业的现状。重点介绍了国内外ITO(铟锡氧化物)靶材的研究现状、主要制备方法(热等静压法、热压法和烧结法)及发展趋势。
关键词 铟(In) ITO(铟锡氧化物) 制备方法
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原始粉BET,CIP压力与烧结温度对ITO靶材微观结构及结瘤情况的影响 被引量:2
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作者 杨硕 谢斌 +2 位作者 张大帅 王亚辉 王帅超 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期419-426,共8页
以不同比表面积(BET)气化In2O3和SnO2粉(In2O3/SnO2=9:1)为原料,使用模压辅助冷等静压(CIP)成型的方法制备出铟锡氧化物(ITO)坯体,又在不同温度条件下烧结制得ITO靶材。研究了原始粉BET,CIP压力与烧结温度对靶材微观结构及结瘤的影响,... 以不同比表面积(BET)气化In2O3和SnO2粉(In2O3/SnO2=9:1)为原料,使用模压辅助冷等静压(CIP)成型的方法制备出铟锡氧化物(ITO)坯体,又在不同温度条件下烧结制得ITO靶材。研究了原始粉BET,CIP压力与烧结温度对靶材微观结构及结瘤的影响,结果表明:BET更大的A配方粉末烧结活性更高,在较低的烧结温度即可致密,而微观结构致密性的提高有利于防止靶材结瘤;当CIP压力由285 MPa提高至400 MPa,坯体各方向收缩率明显增加,且相对密度由64.90%提高至70.23%,CIP压力继续提高至500 MPa,坯体密度不再继续增加,稳定在70%左右;在1540℃常压氧气氛烧结20 h后,CIP压力为285 MPa和400 MPa的靶材相对密度均超过99.8%,晶粒尺寸均在4~10μm,但前者含少量尺寸在2μm以下的微孔,而后者微观致密性更好、晶内小微粒尺寸更大,且溅射后未出现结瘤;在1575℃常压氧气氛烧结20 h后,CIP压力为285 MPa和400 MPa的靶材相对密度均超过99.8%,均未出现微孔缺陷,但靶材晶粒尺寸均偏大,范围大致在4~17μm,其中400 MPa靶材出现了更多数量的异常大晶粒;当CIP压力均为400 MPa时,1575℃烧结靶材结瘤偏多,而1540℃烧结靶材未出现结瘤。 展开更多
关键词 铟锡氧化物(ITO) 结瘤 微孔
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